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湖南高精度雙光子聚合無掩光刻

來源: 發(fā)布時間:2025-02-17

    雙光子聚合技術(shù)是一種高精度、高效率的微納加工技術(shù),具有以下優(yōu)勢特點:高精度和高分辨率:雙光子聚合技術(shù)可以實現(xiàn)亞微米甚至納米級的分辨率,使得制造出的微納結(jié)構(gòu)更加精細。這是因為它利用雙光子吸收過程,將激光束聚焦到非常小的體積內(nèi),從而實現(xiàn)了高精度的加工。三維加工能力:由于雙光子聚合技術(shù)可以在聚合物體積內(nèi)部進行光刻,因此可以實現(xiàn)復雜的三維結(jié)構(gòu)制造,如微型光學元件、微流體芯片等。這一特點使得它在微納制造領域具有廣泛的應用前景。無需光掩膜:傳統(tǒng)的光刻技術(shù)需要使用光掩膜進行圖案轉(zhuǎn)移,而雙光子聚合技術(shù)可以直接通過計算機控制激光束的位置和強度來實現(xiàn)圖案的制造,無需光掩膜。這不僅降低了制造成本,還縮短了制造周期。材料多樣性:雙光子聚合技術(shù)可以使用各種不同類型的光敏樹脂作為加工材料,從而可以制造出各種不同性質(zhì)和功能的微納結(jié)構(gòu)。這為微納制造提供了更多的選擇和靈活性。高效加工速度:雙光子聚合技術(shù)具有較高的加工速度,可以在短時間內(nèi)制造出復雜的三維結(jié)構(gòu)。這使得它在工業(yè)生產(chǎn)中具有較高的效率和競爭力。易于控制和修改:雙光子聚合的加工環(huán)境和參數(shù)易于控制,可以輕松修改得到所需的結(jié)構(gòu)。 該無掩膜光刻系統(tǒng)適用于2D和2.5D拓撲結(jié)構(gòu)快速制造,例如微光學衍射以及折射元件等.湖南高精度雙光子聚合無掩光刻

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QuantumXshape作為理想的快速成型制作工具,可實現(xiàn)通過簡單工作流程進行高精度和高設計自由度的制作。作為2019年推出的頭一臺雙光子灰度光刻(2GL®)系統(tǒng)QuantumX的同系列產(chǎn)品,QuantumXshape提升了3D微納加工能力,即完美平衡精度和速度以實現(xiàn)高精度增材制造,以達到高水平的生產(chǎn)力和打印質(zhì)量??偠灾I(yè)級QuantumX打印系統(tǒng)系列提供了從納米到中觀尺寸結(jié)構(gòu)的非常先進的微制造工藝,適用于晶圓級批量加工。作為全球頭一臺雙光子灰度光刻激光直寫系統(tǒng),QuantumX可以打印出具有出色形狀精度和光學質(zhì)量表面的高精度微納光學聚合物母版,可適用于批量生產(chǎn)的流水線工業(yè)程序,例如注塑,熱壓花和納米壓印等加工流程,從而拓展微納加工工業(yè)領域的應用。內(nèi)蒙古納米雙光子聚合無掩光刻科學家們運用Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù),實現(xiàn)微流道母版制造和密閉通道系統(tǒng)內(nèi)部的芯片內(nèi)直接打印。

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QuantumXshape技術(shù)特點概要:快速原型制作,高精度,高設計自由度,簡易明了的工程流程;工業(yè)驗證的晶圓級批量生產(chǎn);200個標準結(jié)構(gòu)的通宵產(chǎn)量;通用及專門使用的打印材料;兼容自主及第三方打印材料QuantumXshape是Nanoscribe推出的全新高精度3D打印系統(tǒng),用于快速原型制作和晶圓級批量生產(chǎn),以充分挖掘3D微納加工在科研和工業(yè)生產(chǎn)領域的潛力。該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術(shù)(2PP)的專業(yè)激光直寫系統(tǒng),可為亞微米精度的2.5D和3D物體的微納加工提供極高的設計自由度。QuantumXshape可實現(xiàn)在6英寸的晶圓片上進行高精度3D微納加工。這種效率的提升對于晶圓級批量生產(chǎn)尤其重要,這對于科研和工業(yè)生產(chǎn)領域應用有著重大意義。歡迎咨詢

Nanoscribe公司PhotonicProfessionalGT2高速3D打印系統(tǒng)制作的高精度器件圖登上了剛發(fā)布的商業(yè)微納制造雜志“CommercialMicroManufacturingmagazine”(CMM)。文章中介紹了高精度3D打印,并重點講解了先進的打印材料是如何讓雙光子聚合技術(shù)應用錦上添花的。Nanoscribe公司的PhotonicProfessionalGT2系統(tǒng)把雙光子聚合技術(shù)融入強大了3D打印工作流程,實現(xiàn)了各種不同的打印方案。雙光子聚合技術(shù)用于3D微納結(jié)構(gòu)的增材制造,可以通過激光直寫而避免使用昂貴的掩模版和復雜的光刻步驟來創(chuàng)建3D和2.5D微結(jié)構(gòu)制作。Nanoscribe的雙光子灰度光刻激光直寫技術(shù)(2GL®)可用于工業(yè)領域2.5D微納米結(jié)構(gòu)原型母版制作。2GL通過創(chuàng)新的設計重新定義了典型復雜結(jié)構(gòu)微納光學元件的微納加工制造。該技術(shù)結(jié)合了灰度光刻的出色性能,以及雙光子聚合的亞微米級分辨率和靈活性


Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司帶您一起揭秘什么是雙光子聚合技術(shù)。

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科學家們基于Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)(2PP),發(fā)明了GRIN光學微納制造工藝。這種新的制造技術(shù)實現(xiàn)了簡單一步操作即可同時控制幾何形狀和折射率來打印自由曲面光學元件。憑借這種全新的制造工藝,科學家們完成了令人印象深刻的展示制作,打印了世界上特別小的可聚焦可見光的龍勃透鏡(15μm直徑)。相似于人類眼睛晶狀體的梯度,這種球面晶狀體的折射率向中心逐漸增加,使其具有獨特的聚光特性。Nanoscribe的PhotonicProfessional打印系統(tǒng)可用于將不同折射率的龍勃透鏡和其他自由形狀的光學組件打印于微孔支架材料上(例如孔狀硅材及二氧化硅)。突出特點是不再像常規(guī)的雙光子聚合(2PP)那樣在基體表面進行直寫,而是在孔型支架內(nèi)。如何讓雙光子聚合技術(shù)應用錦上添花,請咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司。內(nèi)蒙古納米雙光子聚合無掩光刻

雙光子聚合技術(shù)的更多知識,請致電Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司。湖南高精度雙光子聚合無掩光刻

QuantumXshape是Nanoscribe推出的全新高精度3D打印系統(tǒng),用于快速原型制作和晶圓級批量生產(chǎn),以充分挖掘3D微納加工在科研和工業(yè)生產(chǎn)領域的潛力。該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術(shù)(2PP)的專業(yè)激光直寫系統(tǒng),可為亞微米精度的2.5D和3D物體的微納加工提供極高的設計自由度。QuantumXshape可實現(xiàn)在6英寸的晶圓片上進行高精度3D微納加工。這種效率的提升對于晶圓級批量生產(chǎn)尤其重要,這對于科研和工業(yè)生產(chǎn)領域應用有著重大意義??偠灾?,該系統(tǒng)拓寬了3D微納加工在多個科研領域和工業(yè)行業(yè)應用的更多可能性(如生命科學、材料工程、微流體、微納光學、微機械和微電子機械系統(tǒng)(MEMS)等)。全新QuantumXshape作為Nanoscribe工業(yè)級無掩膜光刻系統(tǒng)QuantumX產(chǎn)品系列的第二臺設備,可實現(xiàn)在25cm2面積內(nèi)打印任何結(jié)構(gòu),很大程度推動了生命科學,微流體,材料工程學中復雜應用的快速原型制作。湖南高精度雙光子聚合無掩光刻

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