熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI) 作為一種能夠捕捉微觀尺度熱輻射信號(hào)的精密儀器，其優(yōu)勢(shì)在于對(duì)材料、器件局部溫度分布的高空間分辨率觀測。

然而，在面對(duì)微弱熱信號(hào)（如納米尺度結(jié)構(gòu)的熱輻射、低功耗器件的散熱特性等）時(shí)，傳統(tǒng)熱成像方法易受環(huán)境噪聲、背景輻射的干擾，難以實(shí)現(xiàn)精細(xì)測量。鎖相熱成像技術(shù)的引入，為熱紅外顯微鏡突破這一局限提供了關(guān)鍵解決方案。通過鎖相熱成像技術(shù)的賦能，熱紅外顯微鏡從 “可見” 微觀熱分布升級(jí)為 “可測” 納米級(jí)熱特性，為微觀尺度熱科學(xué)研究與工業(yè)檢測提供了不可或缺的工具。 熱紅外顯微鏡幫助工程師分析電子設(shè)備過熱的根本原因 。半導(dǎo)體失效分析熱紅外顯微鏡按需定制

熱紅外顯微鏡和紅外顯微鏡并非同一事物，二者是包含與被包含的關(guān)系。紅外顯微鏡是個(gè)廣義概念，涵蓋利用0.75-1000微米紅外光進(jìn)行分析的設(shè)備，依波長分近、中、遠(yuǎn)紅外等，通過樣品對(duì)紅外光的吸收、反射等特性分析化學(xué)成分，比如識(shí)別材料中的官能團(tuán)，應(yīng)用于材料科學(xué)、生物學(xué)等領(lǐng)域。而熱紅外顯微鏡是其分支，專注7-14微米的熱紅外波段，無需外部光源，直接探測樣品自身的熱輻射，依據(jù)黑體輻射定律生成溫度分布圖像，主要用于研究溫度分布與熱特性，像定位電子芯片的熱點(diǎn)、分析復(fù)合材料熱傳導(dǎo)均勻性等。前者側(cè)重成分分析，后者聚焦熱特性研究。顯微熱紅外顯微鏡成像熱紅外顯微鏡的動(dòng)態(tài)功耗分析功能，同步記錄 100MHz 高頻信號(hào)下的熱響應(yīng)曲線。

RTTLITP20 熱紅外顯微鏡憑借多元光學(xué)物鏡配置，構(gòu)建從宏觀到納米級(jí)的全尺度熱分析能力，靈活適配多樣檢測需求。Micro廣角鏡頭可快速覆蓋大尺寸樣品整體熱分布，如整塊電路板、大型模組的散熱趨勢(shì)，高效完成初步篩查；0.13~0.3x變焦鏡頭通過連續(xù)倍率調(diào)節(jié)，適配芯片封裝體、傳感器陣列等中等尺度器件熱分析，兼顧整體熱場與局部細(xì)節(jié)；0.65X～0.75X變焦鏡頭提升分辨率，解析芯片內(nèi)部功能單元熱交互，助力定位封裝散熱瓶頸；3x～4x變焦鏡頭深入微米級(jí)結(jié)構(gòu)，呈現(xiàn)晶體管陣列、引線鍵合點(diǎn)等細(xì)微部位熱分布；8X～13X變焦鏡頭聚焦納米尺度，捕捉微小短路點(diǎn)、漏電流區(qū)域等納米級(jí)熱點(diǎn)的微弱熱信號(hào)，滿足先進(jìn)制程半導(dǎo)體高精度分析需求。

多段變焦與固定倍率結(jié)合的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)宏觀到微觀熱分析平滑切換，無需頻繁更換配件，大幅提升半導(dǎo)體失效分析、新材料熱特性研究等領(lǐng)域的檢測效率與精細(xì)度。

在微觀熱信號(hào)檢測領(lǐng)域，熱發(fā)射顯微鏡作為經(jīng)典失效分析工具，為半導(dǎo)體與材料研究提供了基礎(chǔ)支撐。致晟光電的熱紅外顯微鏡，并非簡單的名稱更迭，而是由技術(shù)工程師團(tuán)隊(duì)在傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡原理上，歷經(jīng)多代技術(shù)創(chuàng)新與功能迭代逐步演變進(jìn)化而來。這一過程中，團(tuán)隊(duì)針對(duì)傳統(tǒng)設(shè)備在視野局限、信號(hào)靈敏度、分析尺度等方面的痛點(diǎn)，通過光學(xué)系統(tǒng)重構(gòu)、信號(hào)處理算法升級(jí)、檢測維度拓展等創(chuàng)新，重新定義、形成了更適應(yīng)現(xiàn)代微觀熱分析需求的技術(shù)體系。熱紅外顯微鏡通過熱輻射相位差算法，三維定位 3D 封裝中 Z 軸方向的失效層。

致晟光電熱紅外顯微鏡的軟件算法優(yōu)化，信號(hào)處理邏輯也是其競爭力之一。

其搭載的自適應(yīng)降噪算法，能通過多幀信號(hào)累積與特征學(xué)習(xí)，精細(xì)識(shí)別背景噪聲的頻譜特征 —— 無論是環(huán)境溫度波動(dòng)產(chǎn)生的低頻干擾，還是電子元件的隨機(jī)噪聲，都能被針對(duì)性濾除，使信噪比提升 2-3 個(gè)數(shù)量級(jí)。

針對(duì)微弱熱信號(hào)提取，算法內(nèi)置動(dòng)態(tài)閾值調(diào)節(jié)機(jī)制，結(jié)合熱信號(hào)的時(shí)域相關(guān)性與空間分布特征，可從噪聲中剝離 0.05mK 級(jí)的微小溫度變化，即使納米尺度結(jié)構(gòu)的隱性感熱信號(hào)也能被清晰捕捉。同時(shí)，軟件支持熱分布三維建模、溫度梯度曲線分析、多區(qū)域熱演化對(duì)比等多元功能，通過直觀的可視化界面呈現(xiàn)數(shù)據(jù) —— 從熱點(diǎn)定位的微米級(jí)標(biāo)記到熱傳導(dǎo)路徑的動(dòng)態(tài)模擬，為用戶提供從信號(hào)提取到深度分析的全流程支持，大幅提升微觀熱分析效率。 熱紅外顯微鏡對(duì)電子元件進(jìn)行無損熱檢測，保障元件完整性 。科研用熱紅外顯微鏡成像

在半導(dǎo)體制造中，通過逐點(diǎn)熱掃描篩選熱特性不一致的晶圓，提升良率。半導(dǎo)體失效分析熱紅外顯微鏡按需定制

熱點(diǎn)區(qū)域?qū)?yīng)高溫部位，可能是發(fā)熱源或故障點(diǎn)；等溫線連接溫度相同點(diǎn)，能直觀呈現(xiàn)溫度梯度與熱量傳導(dǎo)規(guī)律。目前市面上多數(shù)設(shè)備受紅外波長及探測器性能限制，普遍存在熱點(diǎn)分散、噪點(diǎn)多的問題，導(dǎo)致發(fā)熱區(qū)域定位不準(zhǔn)，圖像對(duì)比度和清晰度下降，影響溫度分布判斷的準(zhǔn)確性。

而我方設(shè)備優(yōu)勢(shì)是設(shè)備抗干擾能力強(qiáng)，可有效減少外界環(huán)境及內(nèi)部器件噪聲影響，保障圖像穩(wěn)定可靠；等溫線明顯，能清晰展現(xiàn)溫度相同區(qū)域，便于快速掌握溫度梯度與熱傳導(dǎo)情況，提升熱特性分析精度；成像效果大幅提升，具備更高的空間分辨率、溫度分辨率及對(duì)比度，可清晰呈現(xiàn)細(xì)微細(xì)節(jié)，為分析提供高質(zhì)量的圖像支持。 半導(dǎo)體失效分析熱紅外顯微鏡按需定制