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安徽哪些新型BOE蝕刻液私人定做

來源: 發布時間:2025-06-17

    所述的磷酸濃度為82-87%。進一步地,本發明涉及上述蝕刻液,醇醚類的含量為%。進一步地,本發明涉及上述蝕刻液,表面活性劑的含量為%。進一步地,本發明涉及上述蝕刻液,所述的醇醚類為選自二乙二醇單甲醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇乙醚、三丙二醇單甲醚、三甘醇單丁醚等中的至少一種;表面活性劑為選自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、壬基酚聚氧乙烯醚np-10、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸鈉、月桂酰氨乙基硫酸鈉、醇醚羧酸鹽等中的至少一種。進一步地,在使用本發明的蝕刻液進行氮化硅層蝕刻時,蝕刻溫度為152-165℃,蝕刻時間為5-60min。通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,改善了磷酸的浸潤性和表面張力,明顯提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕和蝕刻均勻性。為了便于驗證氮化硅薄膜層的蝕刻均勻性,本發明使用淀積了氮化硅薄膜的晶圓樣片(初始厚度約為)。蝕刻液配制完成后,先使用表面張力儀檢測該蝕刻液的表面張力;然后將氮化硅晶圓片切割成1cm*3cm的小樣片,采用超純水清洗和氮氣吹干后,使用接觸角測量儀檢測蝕刻液對氮化硅層的接觸角大小。在蝕刻前,使用橢圓偏振光譜儀對氮化硅樣片取不同位置共6個點進行厚度的測量。歡迎光臨蘇州博洋化學股份有限公司。安徽哪些新型BOE蝕刻液私人定做

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    其擴散管深入到所述再生液調配缸中;液體泵,其一端通過管道連接所述再生液調配缸的循環出液口,另一端通過管道連接所述射流器的進液口,用于將所述再生液調配缸中的電解后液通過所述管道抽取至所述射流器的進液口。進一步地,所述酸性蝕刻液電解后液處理系統還包括:曝氣裝置,用于向所述再生液調配缸中的電解后液輸送氣體以進行攪拌。進一步地,所述酸性蝕刻液電解后液處理系統還包括:后續處理系統,用于向經過所述再生液調配缸處理過的電解后液中加入氯化鈉、鹽酸并攪拌均勻。更進一步地,所述電解槽的陽極為石墨電極,陰極為鈦或鈦合金板狀電極。更進一步地,所述電解槽中陰極與陽極之間的距離為55mm。更進一步地,所述電解槽的電流密度為300a/m2。本實用新型所提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統通過簡單的結構實現了電解后廢液的再生利用,可節約能耗和藥品,提高經濟效益。附圖說明圖1是本實用新型實施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統的結構圖;圖2是本實用新型第二實施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統的結構圖。具體實施方式為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白,以下結合附圖及實施例,對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解。

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    然后將裝有蝕刻液的石英燒瓶放入加熱套中加熱,待加熱到確定溫度后,放入氮化硅樣片進行蝕刻;蝕刻完后,取出樣片采用熱超純水清洗和氮氣吹干后,使用橢圓偏振光譜儀對蝕刻前所取位置的6個點的厚度進行測量,計算蝕刻前后6個取點的厚度差值,對比6個點之間的厚度差值的差異。與現有的使用磷酸作為蝕刻液相比,本發明的有益效果是:醇醚類和表面活性劑的添加能明顯改善磷酸溶液的浸潤性和降低磷酸溶液的表面張力,有效提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕性和蝕刻均勻性。具體實施方式下面結合具體實施例,進一步闡述本發明,對本發明做進一步詳細的說明,但不限于這些實施例。本發明的蝕刻液配制時選擇的磷酸濃度為85%,蝕刻溫度為160℃,蝕刻時間為10min。先對所配制蝕刻液的表面張力進行檢測,然后將氮化硅樣片使用超純水清洗和氮氣吹干后,進行接觸角的測量;蝕刻前使用超純水清洗和氮氣吹干氮化硅樣片后,在氮化硅樣片上取6個不同位置的點對其厚度進行測量;蝕刻完成后使用熱超純水清洗和氮氣吹干氮化硅樣片后,取與蝕刻前相同位置的6個點進行厚度測量。實施例1本發明的實施例按蝕刻液總質量為400g進行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中。安徽哪些新型BOE蝕刻液私人定做

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