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湖南如何分類BOE蝕刻液

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-06-12

    35kilogramos/centímetrocuadrado).IgualmenteserealizaráunapruebademedicióndieléáncertificadasporunOrganismodecontrolcompetentedebidamenteacreditado..DepósitodepláóónTécnicaComplementariaseentiendepordepósitosdeplásticoreforzadoaquellosdepósitoscilíndricos,deejecuciónhorizontalenplásticoreforzado,destinadosalalmacenamientodeproductospetrolíferos(incluidosproductosoxigenados),atemperaturaypresiónatmosférica,conunacapacidadigualosuperiora1,5metroscúíndricodeseccióóndelosdepósitosseemplearánresinassintéticasdepoliésteresinsaturadosuotrostiposderesinasconcaracterísticasanálogassegúáfibradevidrioocualquierotromaterialconresistenciaequivalente,queseincorporaalaresinaparamejorarsuscaracteríóósitosnodeberásersuperioraun3por100delacapacidadnominal,ó)Fondos:Losfondosseejecutaránporprocedimientomanual,moldeoporproyección,moldeoporinyección。BOE蝕刻液推薦蘇州博洋化學(xué)股份有限公司。湖南如何分類BOE蝕刻液

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    此處所描述的具體實(shí)施例用以解釋本實(shí)用新型,并不用于限定本實(shí)用新型。參照?qǐng)D1,本實(shí)用新型實(shí)施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)包括:電解槽1、射流器2、再生液調(diào)配缸3、液體泵4,其中,電解槽1具有一出液口和出氣口,且電解槽1中內(nèi)置有酸性蝕刻液,電解槽1對(duì)該酸性蝕刻液進(jìn)行電解提銅,產(chǎn)生氯氣,得到電解后液,并且,產(chǎn)生的氯氣通過(guò)位于上方的出氣口排出,電解后液通過(guò)位于下方的出液口排出。射流器2包括混氣室21和擴(kuò)散管22,混氣室21和擴(kuò)散管22之間為喉管,混氣室21具有進(jìn)氣口2a、進(jìn)液口2b、出液口2c,擴(kuò)散管22連接至出液口2c,進(jìn)氣口2a通過(guò)導(dǎo)氣管a與電解槽1的出氣口連接以接收氯氣,擴(kuò)散管22深入到再生液調(diào)配缸3中。再生液調(diào)配缸3具有進(jìn)液口和循環(huán)出液口,進(jìn)液口通過(guò)管道b與電解槽1的出液口連接以接收電解后液。液體泵4的一端通過(guò)管道b連接再生液調(diào)配缸3的循環(huán)出液口,另一端通過(guò)管道b連接射流器2的進(jìn)液口2b,用于將再生液調(diào)配缸3中的電解后液通過(guò)管道b抽取至射流器2的進(jìn)液口2b。電解槽1電解提銅后,陽(yáng)極產(chǎn)生的氯氣通過(guò)導(dǎo)氣管a進(jìn)入到射流裝置2的混氣室21內(nèi),電解后液通過(guò)液體泵4打入到射流裝置2的混氣室21,在混氣室21形成真空,在喉管處氯氣與電解后液劇烈混合。浙江如何分類BOE蝕刻液批量定制蘇州博洋化學(xué)股份專業(yè)生產(chǎn)BOE蝕刻液。

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    sedispondrándeanillosderefuerzoennúánenelinteriordelasvirolasalasqueestánfijadosporsoldaduraenángulodiscontinua,concosturasalternadassobrelosdosladosdelalma,conunainterrupciónenlageneratrizinferiorparadarpasoallíquido,áncubrirnitotalniparcialmentelassoldaduras,ánconarcoeléctricoyserealizaráétodoempleadoylapreparacióndelosbordesdebenpermitirconseguirunasoldadurasanaatodololargodelasjuntas,asíánconunprocedimientohomologadoqueasegureunapenetracióntotal,consoldaduraporambascaras,oconprocedimientoshomologadosqueconsigaigualmenteunapenetracióóándemaneraquenoesténenlaprolongaciónlasunasdelasotras,conunasseparacionesmínimasde100milíánenlamitadsuperiordelosdepósitos,simétricamente,aunoyotroladodelplanoverticaldesimetríáformadapormáón,etc.,deberáencontrarseamenosde50milíóósitosnodeberásersuperiorenun3por100alacapacidadnominal,ámenesenfabricacióó).aSobreespesoresnominalesdelaschapasydelosfondos:segúnUNE36-559。

    本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,通過(guò)在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,來(lái)改善磷酸的浸潤(rùn)性和表面張力,使之均勻蝕刻氮化硅。背景技術(shù):氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料,氫氟酸和熱磷酸能對(duì)氮化硅進(jìn)行緩慢地腐蝕。在半導(dǎo)體制造工藝中,一般是采用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻,一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來(lái)蝕刻氮化硅。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展,器件的特征尺寸越來(lái)越小,集成度越來(lái)越高,對(duì)制造工藝中的各工藝節(jié)點(diǎn)要求也越來(lái)越高,如蝕刻工藝中對(duì)蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求。在使用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻時(shí),晶圓表面會(huì)出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象,體現(xiàn)于在蝕刻前后進(jìn)行相同位置取點(diǎn)的厚度測(cè)量時(shí),檢測(cè)點(diǎn)之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問(wèn)題,通過(guò)在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實(shí)現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,所述蝕刻液的組成包括:占蝕刻液總重量≥88%的磷酸、%的醇醚類、%的表面活性劑。進(jìn)一步地,本發(fā)明涉及上述蝕刻液。歡迎詢價(jià),蘇州博洋化學(xué)股份有限公司。

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    添加劑為二乙二醇單甲醚、三乙二醇乙醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,添加量分別為%、%、%。實(shí)施例6本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中,該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、月桂酰氨乙基硫酸鈉,添加量分別為總質(zhì)量的%、%、%。對(duì)照例對(duì)照例中所含成分顯示于表1,并采用與實(shí)施例相同的方法進(jìn)行處理。對(duì)照例1為純磷酸,總質(zhì)量為400g。對(duì)照例2為磷酸、丙二醇丁醚,其中丙二醇丁醚的添加量為總質(zhì)量的%。對(duì)照例3為磷酸、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,其中脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p的添加量為總質(zhì)量的%。結(jié)果如表2所示,與對(duì)照例蝕刻液相比,實(shí)施例蝕刻液有更低的表面張力和接觸角,并且氮化硅層蝕刻后顯示出良好的均勻性。表1表2顯然,上述實(shí)施例和對(duì)照例是為了清楚地說(shuō)明所作的實(shí)例,而并非對(duì)實(shí)施方式的限制。對(duì)于所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō),在上述說(shuō)明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動(dòng),這里無(wú)需也無(wú)法對(duì)所有的實(shí)施方式予以窮舉。而因此所引申的顯而易見(jiàn)的變化或變動(dòng)仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍之內(nèi)。BOE蝕刻液公司的聯(lián)系方式。湖北無(wú)機(jī)BOE蝕刻液批量定制

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    asícomoeldeinstalaciónypruebasdelosmismos,deacuerdoconunasnormasycóásustituirseporotrodehomologació)Normasdeaplicación:Enlosplanosseindicaránlasnormasdeaplicaciónutilizadasparalaclasificacióndelosemplazamientosasícomolaseleccióndelosmaterialeseléctricos,ándecobre,conaislamientodePVCycubiertaexternadePVCresistentealoshidrocarburosynopropagadoradelallama,segúónylasintensidadesmáximasestaráónmecánica,oquedispongandearmaduraabasedehilosdeacerogalvanizado,susecciónmínimapodráserde2,5milímetroscuadrados,paraalimentacionesdefuerza;paraalumbradoycontrol,tendránunasecciónmínimadeunmilíálculodelaseccióndeloscables,laintensidadadmisibledelosconductoresdeberádisminuirseenun15por100,ademásdeaplicarlosfactoresdecorreccióndependiendodelascaracterísticasdelainstalacióándisponerdeunaproteccióncontracortocircuitosycontrasobrecargassiéánconconductordeproteccióásicas,tresfasesyconductordeprotección,encircuitosmonofásicos,fase。湖南如何分類BOE蝕刻液

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