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來源: 發布時間:2025-06-10

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    所述的磷酸濃度為82-87%。進一步地,本發明涉及上述蝕刻液,醇醚類的含量為%。進一步地,本發明涉及上述蝕刻液,表面活性劑的含量為%。進一步地,本發明涉及上述蝕刻液,所述的醇醚類為選自二乙二醇單甲醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇乙醚、三丙二醇單甲醚、三甘醇單丁醚等中的至少一種;表面活性劑為選自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、壬基酚聚氧乙烯醚np-10、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸鈉、月桂酰氨乙基硫酸鈉、醇醚羧酸鹽等中的至少一種。進一步地,在使用本發明的蝕刻液進行氮化硅層蝕刻時,蝕刻溫度為152-165℃,蝕刻時間為5-60min。通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,改善了磷酸的浸潤性和表面張力,明顯提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕和蝕刻均勻性。為了便于驗證氮化硅薄膜層的蝕刻均勻性,本發明使用淀積了氮化硅薄膜的晶圓樣片(初始厚度約為)。蝕刻液配制完成后,先使用表面張力儀檢測該蝕刻液的表面張力;然后將氮化硅晶圓片切割成1cm*3cm的小樣片,采用超純水清洗和氮氣吹干后,使用接觸角測量儀檢測蝕刻液對氮化硅層的接觸角大小。在蝕刻前,使用橢圓偏振光譜儀對氮化硅樣片取不同位置共6個點進行厚度的測量。蘇州博洋生產BOE蝕刻液。

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    這是除去固體顆粒、電子流、水、或者或多或少具有極性的油脂污染的要求。在精細清洗中,經常存在裝有凹槽、肋條或盲孔的非常復雜的部件,必須用溶劑對其進行潤濕,以使溶劑在這些難洗位置發揮作用。氟化溶劑來自提供表面的可能性的潤濕的溶劑類型,其中,所述表面的可能性的潤濕以非常低的表面張力表示(例如,相對于,HCFC141b為)。高潤濕的另一優點是得到基底的較快干燥。在幾乎相同的分子量下,氟化溶劑具有較低的沸點和較高的蒸氣壓。因此,HCFC141b在32°C下沸騰而氯仿在61°C下沸騰。這兩種性質(低沸點和高蒸氣壓)有利于這些溶劑在利用蒸氣相操作的常規工業機器中的應用,使得能夠進行部件的漂洗和干燥,而且使得被連續蒸餾的溶劑能夠再生。這些機器裝有用于通過冷凝而使蒸氣在盤管上冷卻的大功率(heavy-duty)系統,這些機器的操作方法使得所用高蒸氣壓的缺點小化。工業家們期望可用于他們的現有機器存貨的替代解決方案。此外,氫氟烴地用于制冷和傳熱過程。本發明提供具有低GWP且具有可生物降解的優點的組合物。根據本發明的組合物含甲基四氫呋喃和至少一種式C4F90R的九氟丁基烷基醚,其中R具有14個碳原子的線型或支化的飽和烷基鏈。有利地。BOE 蝕刻液(Buffered Oxide Etch)是一種在微加工和半導體制造過程中常用的蝕刻溶液。安徽無機BOE蝕刻液訂做價格

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