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浙江專業BOE蝕刻液批量定制

來源: 發布時間:2024-01-22

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    所述的磷酸濃度為82-87%。進一步地,本發明涉及上述蝕刻液,醇醚類的含量為%。進一步地,本發明涉及上述蝕刻液,表面活性劑的含量為%。進一步地,本發明涉及上述蝕刻液,所述的醇醚類為選自二乙二醇單甲醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇乙醚、三丙二醇單甲醚、三甘醇單丁醚等中的至少一種;表面活性劑為選自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、壬基酚聚氧乙烯醚np-10、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸鈉、月桂酰氨乙基硫酸鈉、醇醚羧酸鹽等中的至少一種。進一步地,在使用本發明的蝕刻液進行氮化硅層蝕刻時,蝕刻溫度為152-165℃,蝕刻時間為5-60min。通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,改善了磷酸的浸潤性和表面張力,明顯提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕和蝕刻均勻性。為了便于驗證氮化硅薄膜層的蝕刻均勻性,本發明使用淀積了氮化硅薄膜的晶圓樣片(初始厚度約為)。蝕刻液配制完成后,先使用表面張力儀檢測該蝕刻液的表面張力;然后將氮化硅晶圓片切割成1cm*3cm的小樣片,采用超純水清洗和氮氣吹干后,使用接觸角測量儀檢測蝕刻液對氮化硅層的接觸角大小。在蝕刻前,使用橢圓偏振光譜儀對氮化硅樣片取不同位置共6個點進行厚度的測量。安徽BOE蝕刻液商家哪家公司的BOE蝕刻液的是口碑推薦?

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    形成氣液混合體,從擴散管22排出又進入到再生液調配缸3。電解再生某線路板生產線蝕刻廢液,蝕刻廢液量1000m3/d,相比沒有使用本實用新型所提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統,能耗節約40%,節約使用藥品100kg/d,經濟效益提高30%。作為本實施例的一個示例,電解槽1的陽極可選用石墨電極,陰極可選用鈦或鈦合金板狀電極,電解槽1中陰極與陽極之間的距離為55mm,電解槽1的電流密度為300a/m2。與實施例相結合,圖2示出了本實用新型第二實施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統的結構,在實施例的基礎上,第二實施例進一步包括曝氣裝置5,曝氣裝置5通過管道深入到再生液調配缸3的液體中,用于向再生液調配缸3中的電解后液輸送氣體以進行攪拌,以提高整個系統的工作效率。進一步地,與上述、第二實施例相結合,酸性蝕刻液電解后液處理系統還可以包括一后續處理系統,用于向經過再生液調配缸3處理過的電解后液中加入氯化鈉、鹽酸并攪拌均勻,然后再打入到子液桶,實現再生液循環利用。以上所述為本實用新型的較佳實施例而已,并不用以限制本實用新型,凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等,均應包含在本實用新型的保護范圍之內。浙江專業BOE蝕刻液批量定制

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