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立式爐支持哪些氣體工藝？氣體流量控制精度如何？

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廣東華芯半導體技術有限公司2025-05-29

支持氮氣、氧氣、氬氣、氫氣等多種氣體的單一或混合通入，氣體流量控制精度達 ±1% FS。廣東華芯半導體技術有限公司的設備配備質量流量控制器（MFC）和氣體混配系統，可根據工藝需求實時調整氣體成分，滿足氧化、退火、擴散等多種工藝場景。

本回答由 廣東華芯半導體技術有限公司 提供

廣東華芯半導體技術有限公司
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簡介：廣東華芯半導體技術有限公司主營真空固晶回流焊、熱風氮氣焊接設備及無氧銀漿烤箱等設備。
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廣東華芯半導體技術有限公司

聯系人： 周小姐

手   機： 19022368597

網   址： http://www.hxvaet.com/

地   址：
廣東省東莞市市轄區廣東省東莞市松山湖園區中集產城數字科技產業園中區2棟3單元
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