上海哲海壹天電子系統工程有限公司2025-04-05

為實現大面積高解析度的液晶顯示，通常需要采用低阻抗金屬材料、高性能開關元件以及高精細加工技術等手段。在低阻抗金屬制作 TFT 總線上，研究和使用較多的材料是鋁。通過圍繞解決鋁易形成小丘、化學腐蝕以及氧化等問題，先后報道了合金法 （如 Al- Cu、Al- Si、Al- Nd以及 Al- Ti 等） 和夾層法 （如 Mo/Al/Mo、Cr/Al/Cr以及 Ti/Al/Ti 等），合金法在工藝上相對比較簡單，但材料的電阻率較高 。1998 年5 月，IBM 利用Al- Nd 合金作為柵電極，開發出 16 . 3 英寸超高解析度（200ppi）a- Si TFT 顯示器，并已實現批量生產 。1999 年4月， 東 芝 推 出 的 20.8 英寸16- SVGA（3 , 200 ×2 , 400）a- Si TFT- LCD，可謂是象征了 a- Si TFT- LCD 在高解析度和高容量方面的比較高水平。

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