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半導體制造中，氧化退火爐的溫度控制精度為何如此重要？

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賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司2025-06-17

溫度偏差會導致?lián)诫s離子激的活率不一致，影響晶體管閾值電壓（Vth）一致性，甚至造成 PN 結漏電。例如，離子注入后退火溫度每偏差 5℃，器件漏電流可能波動 10% 以上。

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賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司
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簡介：賽瑞達成立于2021年，專注于半導體設備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。公司位于無錫，致力于提供定制化解決方案。
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企業(yè)信息

賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司

聯(lián)系人： 盧華俊

手   機： 13401355060

網(wǎng)   址： http://www.sunred.cn/

地   址：
江蘇省無錫市錫山區(qū)無錫市錫山區(qū)精密機械產(chǎn)業(yè)園4號廠房一層南側(cè)廠房及辦公場地(一照多址)
賽瑞達致力于半導體設備研發(fā)與制造。
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