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熱風排膠氣氛爐

來源: 發布時間:2024-10-22

下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的用途和設計。一、產品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體,爐內抽真空,被處理工件放置在爐膛內,采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質量的目的。二、設計特點1.后門設計熱風電機2.降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內產生如圖所示的氣體流向3.通過氣體介質將隔熱層內與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的氣氛爐常見的用途有哪些?合肥真萍告訴您!熱風排膠氣氛爐

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密封性為了控制爐內的氣氛,維持爐內的壓力,爐內工作空間始終要與外界空氣隔絕,盡量避免漏氣和吸入空氣,故要求爐殼,砌體,爐門及所有外界連接零件如風扇,熱電偶,輻射管,推拉料機等采用密封裝置;加熱方法為了保證氣氛的穩定性,氣氛爐可分為馬弗爐和無馬弗爐兩種,馬弗爐的火焰在馬弗外,工件在馬弗內進行間接加熱;無馬弗爐采用各種火焰輻射管或者電輻射管,將火焰或者電熱體與爐氣隔開,以免破環爐內氣氛的穩定。防爆裝置還原氣體和空氣混合達到一定混合比,在一定溫度下易引起,故對爐子的前,后室,淬火室以及緩冷室等均設有防爆裝置,爐子供氣和排氣的控制系統也要有防爆措施。廈門氣氛爐圖片合肥真萍科技的氣氛爐是否耐用?

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中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類似產品的高溫燒結、熱處理,下面為大家介紹一下中溫氣氛箱式爐的系統配置。一、熱工系統1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區個數1個7.控溫點數2點8.熱偶K分度9.控溫穩定度1℃(恒溫平臺)10.爐膛溫度均勻度6℃(恒溫800℃,1h)二、氣氛系統1.爐膛氣氛,兩路氮氣,流量計量程為2~20L/min;每路流量可調節2.排氣系統在爐膛頂部設置一個排氣囪,用于廢氣排放,廢氣3.經過水封清洗后進入大氣中,減少對環境污染4.氧含量配氧含量分析儀分析氧含量:5.高溫狀態氧含量≤10ppm+氣源氧含量6.低溫狀態氧含量≤50ppm+氣源氧含量

下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的整機尺寸、真空腔體尺寸。1.內膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側加熱使的HMDS液進入箱體內不能完本轉成氣態)6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設定來降低process時間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產品所需而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間(因降溫時間為常規降溫)。合肥真萍科技-氣氛爐生產廠家。

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1、以硅碳棒為加熱元件,爐體采用雙層爐殼結構,雙層風冷系統,可以快速升降溫,爐殼表面溫度低;2、爐門、爐頂采用高溫硅橡膠密封,爐門配備水冷系統。爐體上有進氣口、出氣口、抽真空口;3、爐膛材料采用質量的進口氧化鋁多晶纖維真空吸附制成,節能50%,加熱元件采用硅碳棒;4、電爐溫度控制系統采用人工智能調節技術,具有PID調節、模糊控制、自整定能力并可編制各種升溫程序等功能,該控制系統溫度顯示精度為1℃,溫場穩定度±5℃,升溫速率1~20℃可任意置;5、可以通氫氣、氬氣、氮氣等其他氣體,并能預抽真空,真氛壓力可以達到0.1Mpa,爐體采用厚鋼板加工而成,安全可靠,符合國家標準。合肥真萍科技氣氛爐專業值得信賴。福建氣氛爐價格多少

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氣氛爐的結構,就是普通馬弗爐的一個改進版本,在馬弗爐的基礎上把箱體滿焊,再通過硅橡膠達到爐體的密封,爐門有冷卻水系統,爐體上有幾路進出氣閥門,有壓力表,有真空泵,客戶可以一邊進氣一邊出氣。同時也可以抽真空,可以沖正壓。但真空度是一定的,市場上生產的氣氛爐一般都是方型的,結構決定了它不能抽到很高的真空度。功率輸出穩定性,質量的電磁爐應具備輸出功率自動調整功能,這一功能可改善電源適應性和負載適應性的。熱風排膠氣氛爐

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