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四川平衡磁控濺射方案

來源: 發布時間:2023-02-01

PVD技術特征:在真空室內充入放電所需要的惰性氣體,在高壓電場作用下氣體分子因電離而產生大量正離子。帶電離子被強電場加速,便形成高能量的離子流轟擊蒸發源材料。在離子轟擊下,蒸發源材料的原子將離開固體表面,以高速度濺射到基片上并沉積成薄膜。RF濺射:RF濺射使用的頻率約為13.56MHz,它不需要熱陰極,能在較低的氣壓和較低的電壓下進行濺射。RF濺射不只可以沉積金屬膜,而且可以沉積多種材料的絕緣介質膜,因而使用范圍較廣。電弧離子鍍:陰極弧技術是在真空條件下,通過低電壓和高電流將靶材離化成離子狀態,從而完成薄膜材料的沉積,該技術材料的離化率更高,薄膜性能更加優異。磁控濺射涂層有很好的牢固性,濺射薄膜與基板,機械強度得到了改善,更好的附著力。四川平衡磁控濺射方案

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非平衡磁控濺射的磁場有邊緣強,也有中部強,導致濺射靶表面磁場的“非平衡”。磁控濺射靶的非平衡磁場不只有通過改變內外磁體的大小和強度的永磁體獲得,也有由兩組電磁線圈產生,或采用電磁線圈與永磁體混合結構,還有在陰極和基體之間增加附加的螺線管,用來改變陰極和基體之間的磁場,并以它來控制沉積過程中離子和原子的比例。非平衡磁控濺射系統有兩種結構,一種是其芯部磁場強度比外環高,磁力線沒有閉合,被引向真空室壁,基體表面的等離子體密度低,因此該方式很少被采用。另一種是外環磁場強度高于芯部磁場強度,磁力線沒有完全形成閉合回路,部分外環的磁力線延伸到基體表面,使得部分二次電子能夠沿著磁力線逃逸出靶材表面區域,同時再與中性粒子發生碰撞電離,等離子體不再被完全限制在靶材表面區域,而是能夠到達基體表面,進一步增加鍍膜區域的離子濃度,使襯底離子束流密度提高,通常可達5mA/cm2以上。這樣濺射源同時又是轟擊基體表面的離子源,基體離子束流密度與靶材電流密度成正比,靶材電流密度提高,沉積速率提高,同時基體離子束流密度提高,對沉積膜層表面起到一定的轟擊作用。湖南磁控濺射流程物相沉積技術普遍應用于航空航天、電子、光學、機械、建筑、輕工、冶金、材料等領域。

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高能脈沖磁控濺射技術介紹及特點:高能脈沖磁控濺射技術是利用較高的脈沖峰值功率和較低的脈沖占空比來產生高濺射金屬離化率的一種磁控濺射技術。力學所引進德國電源,與等離子體淹沒離子注入沉積方法相結合,形成一種新穎的成膜過程與質量調控技術,是可應用于大型矩形靶的離化率可控磁控濺射新技術,填補了國內在該方向的研究空白。將高能沖擊磁控濺射與高壓脈沖偏壓技術復合,利用其高離化率和淹沒性的特點,通過成膜過程中入射粒子能量與分布的有效操控,實現高膜基結合力、高質量、高均勻性薄膜的制備。同時結合全新的粒子能量與成膜過程反饋控制系統,開展高離化率等離子體發生、等離子體的時空演變及荷能粒子成膜物理過程控制等方面的研究與工程應用。其中心技術具有自主知識產權,已申請相關發明專利兩項。該項技術對實現PVD沉積關鍵瓶頸問題的突破具有重大意義,有助于提升我國在表面工程加工領域的國際競爭力。如在交通領域,該技術用于汽車發動機三部件,可降低摩擦25%,減少油耗3%;機械加工領域,沉積先進鍍層可使刀具壽命提高2~10倍,加工速度提高30-70%。

磁控濺射的工藝研究:1、傳動速度:玻璃基片在陰極下的移動是通過傳動來進行的。低傳動速度使玻璃在陰極范圍內經過的時間更長,這樣就可以沉積出更厚的膜層。不過,為了保證膜層的均勻性,傳動速度必須保持恒定。鍍膜區內一般的傳動速度范圍為每分鐘0~600英寸之間。根據鍍膜材料、功率、陰極的數量以及膜層的種類的不同,通常的運行范圍是每分鐘90~400英寸之間。2、距離與速度及附著力:為了得到較大的沉積速率并提高膜層的附著力,在保證不會破壞輝光放電自身的前提下,基片應當盡可能放置在離陰極較近的地方。濺射粒子和氣體分子的平均自由程也會在其中發揮作用。當增加基片與陰極之間的距離,碰撞的幾率也會增加,這樣濺射粒子到達基片時所具有的能力就會減少。所以,為了得到較大的沉積速率和較好的附著力,基片必須盡可能地放置在靠近陰極的位置上。在微電子領域作為一種非熱式鍍膜技術,主要應用在化學氣相沉積或金屬有機。

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磁控濺射的基本原理是利用Ar一O2混合氣體中的等離子體在電場和交變磁場的作用下,被加速的高能粒子轟擊靶材表面,能量交換后,靶材表面的原子脫離原晶格而逸出,轉移到基體表面而成膜。磁控濺射的特點是成膜速率高,基片溫度低,膜的粘附性好,可實現大面積鍍膜。該技術可以分為直流磁控濺射法和射頻磁控濺射法。磁控濺射是70年代迅速發展起來的一種“高速低溫濺射技術”。磁控濺射是在陰極靶的表面上方形成一個正交電磁場。當濺射產生的二次電子在陰極位降區內被加速為高能電子后,并不直接飛向陽極,而是在正交電磁場作用下作來回振蕩的近似擺線的運動。高能電子不斷與氣體分子發生碰撞并向后者轉移能量,使之電離而本身變成低能電子。這些低能電子較終沿磁力線漂移到陰極附近而被吸收,避免高能電子對極板的強烈轟擊,消除了二極濺射中極板被轟擊加熱和被電子輻照引起的損傷,體現出磁控濺射中極板“低溫”的特點。由于外加磁場的存在,電子的復雜運動增加了電離率,實現了高速濺射。磁控濺射的技術特點是要在陰極靶面附件產生與電場方向垂直的磁場,一般采用永久磁鐵實現。非平衡磁控濺射的磁場有邊緣強,也有中部強,導致濺射靶表面磁場的“非平衡”。上海智能磁控濺射用處

真空磁控濺射涂層技術不同于真空蒸發涂層技術。四川平衡磁控濺射方案

電子元器件制造業是電子信息產業的重要組成部分,是通信、計算機及網絡、數字音視頻等系統和終端產品發展的基礎,其技術水平和生產能力直接影響整個行業的發展,對于電子信息產業的技術創新和做大做強有著重要的支撐作用。電子元器件應用領域十分寬泛,幾乎涉及到國民經濟各個工業部門和社會生活各個方面,既包括電力、機械、礦冶、交通、化工、輕紡等傳統工業,也涵蓋航天、激光、通信、高速軌道交通、機器人、電動汽車、新能源等戰略性新興產業。5G時代天線、射頻前端和電感等電子元件需求將明顯提升,相關微納加工技術服務,真空鍍膜技術服務,紫外光刻技術服務,材料刻蝕技術服務公司如信維通信、碩貝德、順絡電子等值的關注。提升傳統消費電子產品中高級供給體系質量,增強產業重點競爭力:在傳統消費電子產品智能手機和計算機產品上,中國消費電子企業在產業全球化趨勢下作為關鍵供應鏈和主要市場的地位已經確立,未來供應體系向中高級端產品傾斜有利于增強企業贏利能力。電子元器件行業位于產業鏈的中游,介于電子整機行業和電子原材料行業之間,其發展得快慢,所達到的技術水平和生產規模,不但直接影響著整個電子信息產業的發展,而且對發展信息技術,改造傳統產業,提高現代化裝備水平,促進科技進步都具有重要意義。四川平衡磁控濺射方案

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