該系統為電子探針分析提供具有足夠高的入射能量，足夠大的束流和在樣品表面轟擊殿處束斑直徑近可能小的電子束，作為X射線的激發源。為此，一般也采用鎢絲熱發射電子槍和2-3個聚光鏡的結構。 為了提高X射線的信號強度，電子探針必須采用較掃描電鏡更高的入射電子束流（在10-9-10-7A范圍），常用的加速電壓為10-30 KV，束斑直徑約為0.5μm。電子探針在鏡筒部分與掃描電鏡明顯不同之處是由光學顯微鏡。它的作用是選擇和確定分析點。其方法是，先利用能發出熒光的材料（如ZrO2）置于電子束轟擊下，這是就能觀察到電子束轟擊點的位置，通過樣品移動裝置把它調到光學顯微鏡目鏡十字線交叉點上，這樣就能保證電子束正好轟擊在分析點上，同時也保證了分析點處于X射線分光譜儀的正確位置上。在電子探針上大多使用的光學顯微鏡是同軸反射式物鏡，其優點是光學觀察和X射線分析可同時進行。放大倍數為100-500倍。電子探針和掃描電鏡在電子光學系統的構造基本相同，它們常常組合成單一的儀器。閔行區特制探針品牌

在不損耗試樣的情況下，電子探針通常能分析直徑和深度不小于1微米范圍內、原子序數4以上的所有元素；但是對原子序數小于12的元素，其靈敏度較差。常規分析的典型檢測相對靈敏度為萬分之一，在有些情況下可達十萬分之一。檢測的***靈敏度因元素而異，一般為10-14～10-16克。用這種方法可以方便地進行點、線、面上的元素分析，并獲得元素分布的圖象。對原子序數高于10、濃度高于10%的元素，定量分析的相對精度優于±2%。電子探針儀是 X射線光譜學與電子光學技術相結合而產生的。1948年法國的R.卡斯坦制造了***臺電子探針儀。1958年法國首先制造出商品儀器。電子探針儀與掃描電子顯微鏡在結構上有許多共同處。70年代以來生產的電子探針儀上一般都帶有掃描電子顯微鏡功能，有的還附加另一些附件，使之除作微區成分分析外，還能觀察和研究微觀形貌、晶體結構等。嘉定區質量探針現價利用探針盒子獲取他人手機號等隱私信息的行為涉嫌侵犯他人隱私，可能面臨民事侵權責任及治安管理處罰責任。

電子探針儀（圖1）主要包括：探針形成系統 (電子槍、加速和聚焦部件等)、X射線信號檢測系統和顯示、記錄系統、樣品室、高壓電源和掃描系統以及真空系統。電子探針的**早應用領域是金屬學。對合金中各組成相、夾雜物等可作定性和定量分析，直觀而方便，還能較準確地測定元素的擴散和偏析情況。此外，它還可用于研究金屬材料的氧化和腐蝕問題，測定薄膜、滲層或鍍層的厚度和成分等，是機械構件失效分析、生產工藝的選擇、特殊用材的剖析等的重要手段。圖2為鎂合金中稀土氧化物在晶界析出的電子探針分析照片。

2、能譜儀來自樣品的X光子通過鈹窗口進入鋰漂移硅固態檢測器。每個X光子能量被硅晶體吸收將在晶體內產生電子空穴對。不同能量的X光子將產生不同的電子空穴對數。例如，Fe的Kα輻射可產生1685個電子空穴對，而Cu為2110。知道了電子空穴對數就可以求出相應的電荷量以及在固定電容（1μμF）上的電壓脈沖。多道脈沖高度分析器中的數模轉換器首先把脈沖信號轉換成數字信號，建立起電壓脈沖幅值與道址的對應關系（道址號與X光子能量間存在對應關系）。通過鑒別其特征波長或特征能量就可以確定所分析的元素。

利用電子探針分析方法可以探知材料樣品的化學組成以及各元素的重量百分數。分析前要根據試驗目的制備樣品，樣品表面要清潔。用波譜儀分析樣品時要求樣品平整，否則會降低測得的X射線強度。定性分析1 點分析用于測定樣品上某個指定點的化學成分。下圖是用能譜儀得到的某鋼定點分析結果。能譜儀中的多道分析器可使樣品中所有元素的特征X射線信號同時檢測和顯示。不像波譜儀那樣要做全部譜掃描，甚至還要更換分光晶體。2 線分析用于測定某種元素沿給定直線分布的情況。方法是將X射線譜儀（波譜儀或能譜儀）固定在所要測量的某元素特征X射線信號（波長或能量）的位置上，把電子束沿著指定的方向做直線軌跡掃描，便可得到該元素沿直線特征X射線強度的變化，從而反映了該元素沿直線的濃度分布情況。改變譜儀的位置，便可得到另一元素的X射線強度分布。下圖為50CrNiMo鋼中夾雜Al2O3的線分析像。可見，在Al2O3夾雜存在的地方，Al的X射線峰較強。探針卡是IC制造中對制造成本影響相當大的重要制程之一。徐匯區挑選探針現價

近年形成了掃描電鏡-顯微分析儀的聯合裝置，可在觀察微區形貌的同時逐點分析試樣的化學成分及結構。閔行區特制探針品牌

特異性探針有三種形式——cDNA、RNA、寡核苷酸。cDNA和寡核苷酸是**常采用的探針。RNA探針用途很廣，也容易獲得，但其不穩定性限制了其商業用途。cDNA探針的獲得是，將特定的基因片段裝載到質粒或噬菌體中，經過擴增、酶切、純化等復雜的步驟，才能得到一定長度的cDNA探針。這一過程比較復雜，有相應條件的實驗室才能做到。寡核苷酸探針是在已知基因序列的情況下，由核酸合成儀來完成，可廉價獲得大量的此類探針。質量也相對來說更為穩定。由于cDNA探針長度通常為數百至數千個堿基，所以有良好的信號放大作用，但其滲透性比較差。寡核苷酸探針一般為十數個至數十個堿基，滲透性強，但信號放大作用則較差，合成的多相寡核苷酸探針，敏感性可以達到cDNA探針水平。閔行區特制探針品牌

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