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水浸超聲掃描儀器如何進行對焦?

來源: 發布時間:2025-06-24

一、水浸超聲掃描對焦的原理

水浸超聲掃描的對焦本質,是通過調整探頭與工件之間的水層厚度(水距)及聲束聚焦參數,使超聲波能量集中于目標檢測區域,從而提升缺陷信號的信噪比。
關鍵參數包括:

  • 水距(Water Path):探頭表面到工件表面的垂直距離。

  • 焦點深度(Focal Depth):聲束能量 集中的位置。

  • 頻率與晶片尺寸:影響聲束擴散角與分辨率。

二、對焦操作三步法:從理論到實踐

1. 第一步:確定水距與焦點深度

  • 水距計算

    • 根據探頭頻率、晶片尺寸及工件材質,通過公式或儀器預設參數計算初始水距。

    • 示例:使用5MHz聚焦探頭檢測20mm厚鋁合金工件,初始水距建議設置為15-20mm(具體需參考探頭說明書)。

  • 焦點深度匹配

    • 確保焦點深度覆蓋工件缺陷可能存在的區域。

    • 可調聚焦探頭(如杭州芯紀源XJY-WS系列)支持焦點深度在5-100mm范圍內連續調節,適配不同厚度工件。

2. 第二步:機械與軟件協同調焦

  • 機械調焦

    • 通過精密升降臺或Z軸電機調整探頭高度,使水距達到計算值。

    • 亮點:杭州芯紀源設備配備激光定位系統,實時顯示水距數值,誤差≤0.01mm。

  • 軟件調焦

    • 在超聲檢測軟件中設置焦點深度、增益等參數,通過C掃描成像驗證焦點位置。

    • 技巧:使用“單點測試”功能,在工件表面移動探頭,觀察信號幅值變化,找到  幅值點即為  焦點。

3. 第三步:動態優化與驗證

  • 聲束覆蓋驗證

    • 對曲面或異形工件,需通過多角度掃描三維成像驗證聲束是否完全覆蓋檢測區域。

  • 分辨率測試

    • 使用標準試塊(如平底孔試塊)檢測 小可分辨缺陷尺寸,確保對焦精度滿足要求。

    • 杭州芯紀源方案:提供AI輔助對焦算法,自動優化水距與焦點參數,分辨率提升30%。

三、對焦優化策略:四大場景應對方案

1. 薄壁工件(<5mm)

  • 挑戰:水距過小易導致近場干擾,過大則降低分辨率。

  • 方案

    • 選擇高頻小晶片探頭(如10MHz,Φ6mm),減小近場區長度。

    • 水距設置為晶片直徑的1-2倍,配合點聚焦模式提升精度。

2. 厚壁工件(>50mm)

  • 挑戰:聲束擴散導致能量衰減,焦點深度難以覆蓋全厚度。

  • 方案

    • 使用線聚焦探頭,通過聲束匯聚延長有效檢測深度。

    • 分層掃描時,動態調整焦點深度,確保每層均處于  聚焦狀態。

3. 曲面工件(如管材、渦輪葉片)

  • 挑戰:水距隨曲率變化,需實時補償。

  • 方案

    • 配備水浸耦合補償系統,自動調整探頭角度與水距。

    • 采用相控陣探頭,通過電子束偏轉實現曲面全覆蓋。

4. 微小缺陷檢測(<0.1mm)

  • 挑戰:需極高分辨率與信噪比。

  • 方案

    • 使用納米級聚焦探頭(如杭州芯紀源XJY-Nano系列),焦點尺寸≤0.1mm。

    • 結合脈沖反相技術,抑制噪聲干擾,提升缺陷信號對比度。

四、行業應用案例:從對焦到增效

案例1:航空發動機葉片檢測

  • 需求:檢測渦輪葉片內部微裂紋(尺寸<0.05mm)。

  • 方案

    • 采用XJY-Nano納米聚焦探頭(頻率20MHz,焦點尺寸0.08mm),水距精確至0.02mm。

    • 配合AI輔助對焦算法,檢測效率提升50%,漏檢率降至0.5%。

案例2:半導體封裝缺陷檢測

  • 需求:識別0.1mm厚晶圓中的分層與空洞。

  • 方案

    • 使用線聚焦水浸探頭(頻率15MHz),通過三維C掃描成像實現缺陷可視化。

    • 對焦精度優化后,檢測分辨率達0.02mm,滿足半導體行業嚴苛標準。

五、選型建議:選擇對焦性能  的設備

  • 硬件配置:優先選擇支持高精度Z軸電機、激光定位多軸聯動的設備。

  • 軟件功能:關注AI輔助對焦實時聲束模擬自動化檢測流程。

  • 品牌保障:杭州芯紀源半導體設備有限公司提供全系列水浸超聲掃描儀,支持定制化對焦方案,已服務全球500+企業。

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