微孔陶瓷簡介

性能

(1)氣孔率高。多孔陶瓷的重要特征是具有中較多的均勻可控的氣孔。氣孔有開口氣孔和閉口氣孔之分，開口氣孔具有過濾、吸收、吸附、消除回聲等作用，而閉口氣孔則有利于阻隔熱量、聲音以及液體與固體微粒傳遞。

(2)強度高。多孔陶瓷材料一般由金屬氧化物、二氧化硅、碳化硅等經過高溫煅燒而成，這些材料本身具有較高的強度，煅燒過程中原料顆粒邊界部分發生融化而粘結，形成了具有較高強度的陶瓷。

(3)物理和化學性質穩定。多孔陶瓷材料可以耐酸、堿腐蝕，也能夠承受高溫、高壓，自身潔凈狀態好，不會造成二次污染，是一種綠色環保的功能材料。

(4)過濾精度高，再生性能好。用作過濾材料的多孔陶瓷材料具有較窄的孔徑分布范圍和較高的氣孔率與比表面積，被過濾物與陶瓷材料充分接觸，其中的懸浮物、膠體物及微生物等污染物質被阻截在過濾介質表面或內部，過濾效果良好。多孔陶瓷過濾材料

材質

(1)高硅質硅酸鹽材料，它主要以硬質瓷渣、耐酸陶瓷渣及其他耐酸的合成陶瓷顆粒為骨料，具有耐水性、耐酸性，使用溫度達700℃。

(2)鋁硅酸鹽材料，它以耐火粘土熟料、燒礬土、硅線石和合成莫來石顆粒為骨料。具有耐酸性和耐弱堿性，使用溫度達1 000℃。

(3)精陶質材料，它以多種粘土熟料顆粒與粘土等混合燒結，得到微孔陶瓷材料。

(4)硅藻土質材料，它主要以精選硅藻土為原料，加粘土燒結而成。用于精濾水和酸性介質。

(5)純炭質材料，它以低灰分煤或石油瀝青焦顆粒為原料，或加入部分石墨，用稀焦油粘結燒制而成，用于耐水、冷熱強酸、冷熱強堿介質以及空氣的消毒和過濾等。

(6)剛玉和金剛砂材料，它以不同型號的電熔剛玉和碳化硅顆粒為骨料，具有耐強酸、耐高溫的特性 韶關原裝微孔陶瓷真空吸盤賣價微孔真空陶瓷工作盤是各種半導體片生產過程中用于吸附及承載的專用工具.

    高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤)，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺，廣泛應用半導體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸，裝置應用***用于平坦，無孔表面的工作平臺。使用者通常是機器操作員。在金屬加工領域，這是一項安全可靠的工件傳輸。自動化搬運、對象吸取、定位、精密網板印刷用工作臺，利用孔洞透氣性陶瓷(氧化鋁或碳化硅)接上真空吸力，將工作物（包括晶圓、玻璃、PET膜或其他薄型工作物）放置陶瓷工作吸盤上，利用真空吸力使工作物固定，進行清洗、切割、研磨、網版印刷及其他加工程序。微孔真空陶瓷工作盤是各種半導體片生產過程中用于吸附及承載的專用工具，應用于減薄、劃片、清洗、搬運等工序。Fountyl公司生產的工作盤可以和日本、德國、以色列、美國及國產的設備配套使用，具有優越的性能價格比。

種微孔真空吸盤工作臺的制作方法

【技術領域】

[0001]本實用新型涉及一種微孔真空吸盤工作臺，屬于機械設備領域。

【背景技術】

[0002]劃片刀用于精密加工，由于它的損耗速度非常快，因此需求量非常大。生產劃片刀需要使用晶圓劃片機，目前我國僅有少數的幾家工廠擁有這種設備，在生產過程中發現，現有技術的晶圓劃片機的工作臺壽命較短，由于其結構的不合理通常I?6個月即會變形，在生產過程中，隨溫度變化也會變形加快。

【實用新型內容】

[0003]本實用新型的目的在于，提供一種微孔真空吸盤工作臺，它能夠解決現有技術的不足，提供一種結構更合理，使用壽命更長的工作臺。 微孔陶瓷真空吸盤的著眼點及產品特點.

高純型氧化鋁陶瓷系Al2O3含量在99．9%以上的陶瓷材料，由于其燒結溫度高達1650—1990℃，透射波長為1～6μm，在電子工業中可用作集成電路基板與高頻絕緣材料。

 氧化鋯陶瓷呈白色，含雜質時呈黃色或灰色，一般含有HfO2，不易分離。在常壓下純ZrO2共有三種晶態。氧化鋯陶瓷的生產要求制備高純、分散性能好、粒子超細、粒度分布窄的粉體，氧化鋯超細粉末的制備方法很多，氧化鋯的提純主要有氯化和熱分解法、堿金屬氧化分解法、石灰熔融法、等離子弧法、沉淀法、膠體法、水解法、噴霧熱解法等。 特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米.中山官方微孔陶瓷真空吸盤價格優惠

平面度、平行度好、**致密均勻、強度高、通透性好、吸附力均勻、易于修整。中山官方微孔陶瓷真空吸盤價格優惠

水熱－熱靜壓工藝

該工藝通過水作為壓力傳遞介質制備各種孔徑多孔陶瓷。其簡單制備步驟為：硅凝膠和10%(質量百分數)的水混合，置于高壓釜中(壓力10—15MPa，溫度300℃)，通過水蒸汽的揮發而制成多孔陶瓷。水熱－熱靜壓工藝中，反應時間一般為10—180 min。在25MPa下處理60min，制得的多孔陶瓷材料體積密度為0.88 g/cm，孔體積為0.59cm/g，孔尺寸分布范圍為30~50nm，抗壓強度高達80MPa。多孔陶瓷水熱－熱靜壓工藝具有以下優點：制得的多孔陶瓷材料抗壓強度高、性能穩定、孔徑分布范圍廣。 中山官方微孔陶瓷真空吸盤價格優惠

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