隨著人工智能、物聯網和自動化技術的快速發展，晶圓運送機械吸臂也呈現出智能化、自動化和網絡化的發展趨勢。智能化方面，吸臂將集成更多的智能傳感器和算法，實現自主感知、決策和控制。例如，通過機器學習算法對吸臂的運行數據進行分析和優化，能夠提前判斷預測潛在的故障風險，并自動調整運行參數，提高吸臂的性能和可靠性。同時，智能吸臂還可以根據晶圓的不同類型和加工工藝要求，自動調整搬運策略和參數，實現個性化的晶圓搬運服務。工業機械臂距離高精度的智能制造還有很長一段路要走。珠海進口晶圓運送機械吸臂價格優惠

與傳統的SCARA型搬運機械手相比，蛙腿型機械手的傳動機構更簡單，剛性更高，且工作效率更高。如上圖所示，蛙腿型機械手手臂為對稱雙連桿的并聯結構，包括1對大臂和2對小臂。2個直驅電機分別通過2個同軸的旋轉軸連接大臂，大臂末端通過4個旋轉軸連接尺寸相同的2對小臂，2對小臂的末端又通過2個旋轉軸連接晶圓托盤。 該機械手雖然只有3個電機，但水平連桿卻有10個旋轉關節，因此對整個真空機械手建立旋轉關節坐標與末端晶圓托盤坐標之間的函數關系是一個復雜的過程韶關原裝晶圓運送機械吸臂對于工業應用來說，有時并不需要機械手臂具有完整的六個自由度.

可選地，所述托板包括：

主板；

排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一側與所述主板固定連接；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠離所述主板的一端、所述第二支板遠離所述主板的一端均設置有所述絨毛墊。

可選地，所述表面為平面。

另外，本實用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置，其包括上述任一所述的機械手臂。

在本實用新型的技術方案中，機械手臂傳送晶圓時，晶圓放置在托板的表面，并與絨毛墊接觸，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力，晶圓被穩穩地附著在機械手臂上，不易發生平移，這樣不僅可以避免發生機械手臂碰傷，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產效率。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細描述，本實用新型的其它特征、方面及其優點將會變得清楚。

本發明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

為了解決上述技術問題，本發明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節，所述的伸展電機、所述的一級關節、所述的二級關節和所述的三級關節依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。

設備配備智能控制系統，可實現自動化操作。

本發明涉及一種半導體制造技術，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。

背景技術：

在半導體加工設備中，經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設備的產能就越大。隨著半導體工藝的發展，設備處理的工藝越來越復雜，對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。

技術實現要素：

本發明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

機械手是能模仿人手和臂的某些動作功能，用以按固定程序抓取、搬運物件或操作工具的自動操作裝置。汕頭本地晶圓運送機械吸臂廠商

有X移動，Y移動，Z移動，X轉動，Y轉動，Z轉動六個自由度組成。珠海進口晶圓運送機械吸臂價格優惠

年來全球硅晶圓供給不足，導致8英寸、12英寸硅晶圓訂單能見度分別已達2019上半年和年底。目前國內多個硅晶圓項目已經開始籌備，期望有朝一日能夠打破進口依賴，并有足夠的能力滿足市場需求。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中，硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長、晶圓成型。一，晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個溫度約為2000℃，并且有碳源存在的電弧熔爐中，在高溫下，碳和沙石中的二氧化硅進行化學反應（碳氧結合，得硅），提純得純度約為98%的純硅，又稱冶金級硅，這對微電子器件來說依然不夠純，因為半導體材料的電學特性對雜質的濃度相當的敏感，因而對冶金級硅作進一步提純：將粉碎的冶金級硅與氣態的氯化氫進行氯化反應，生成液態的硅烷，然后通過蒸餾和化學還原工藝，得到了高純度的多晶硅，其純度達99%，成為電子級硅。珠海進口晶圓運送機械吸臂價格優惠

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