有用于輸送半導體晶圓的機械手。具體地，該機械手將半導體晶圓插入到處理室（process chamber），或者將半導體晶圓從處理室中取出。傳送室（transfer chamber）連結于處理室。機械手配置在該傳送室內。利用機械手使半導體晶圓在傳送室與處理室之間移動。傳送室相當于小的無塵室。傳送室防止灰塵等雜質附著于半導體晶圓。在傳送室內保持空氣（或者氣體）清潔。另外，傳送室內有時被保持為真空。要求使在傳送室內工作的機械手不產生雜質的方法。有X移動，Y移動，Z移動，X轉動，Y轉動，Z轉動六個自由度組成。陽江新款晶圓運送機械吸臂設計

隨著機器人技術的發展，應用高速度、高精度、高負載自重比的機器人結構受到工業和航空航天領域的關注。由于運動過程中關節和連桿的柔性效應的增加，使結構發生變形從而使任務執行的精度降低。所以，機器人機械臂結構柔性特征必須予以考慮，實現柔性機械臂高精度有效控制也必須考慮系統動力學特性。柔性機械臂是一個非常復雜的動力學系統，其動力學方程具有非線性、強耦合、實變等特點。而進行柔性臂動力學問題的研究，其模型的建立是極其重要的。柔性機械臂不僅是一個剛柔耦合的非線性系統，而且也是系統動力學特性與控制特性相互耦合即機電耦合的非線性系統。動力學建模的目的是為控制系統描述及控制器設計提供依據。一般控制系統的描述（包括時域的狀態空間描述和頻域的傳遞函數描述）與傳感器/執行器的定位，從執行器到傳感器的信息傳遞以及機械臂的動力學特性密切相關。 清遠銷售晶圓運送機械吸臂新報價一般也都裝在手臂上。所以手臂的結構、工作范圍、承載能力和動作精度都直接影響機械手的工作性能。

    確定性主要分為兩種主要類型:結構(structured)不確定性和非結構(unstructured)不確定性,非結構不確定性主要是由于測量噪聲、外界干擾及計算中的采樣時滯和舍入誤差等非被控對象自身因素所引起的不確定性。結構不確定性和建模模型本身有關,可分為系統模型①參數不確定性如負載質量、連桿質量、長度及連桿質心等參數未知或部分已知。②未建模動態高頻未建模動態,如執行器動態或結構振動等;低頻未建模動態,如動/靜摩擦力等。模型不確定性給機械臂軌跡**的實現帶來影響,同時部分控制算法受限于一定的不確定性。應用于機械臂控制系統的設計方法主要包括PID控制、自適應控制和魯棒控制等,然而由于它們自身所存在的缺點,促使其與神經網絡、模糊控制等算法相結合,一些新的控制方法也在涌現,很多算法是彼此結合在一起的。

工業機械臂定義為“其操作機是自動控制的，可重復編程、多用途，并可以對3個以上軸進行編程。它可以是固定式或者移動式。在工業自動化應用中使用”。操作機又定義為“是一種機器，其機構通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構件所組成。它通常有幾個自由度，用以抓取或移動物體（工具或工件）。”所以對工業機械臂可能理解為：擬人手臂、手腕和手功能 的機械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態）的時變要求進行移動，從而完成某一工業生產的作業要求。 手臂自重輕，其啟動和停止的平穩性就好。

本發明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

為了解決上述技術問題，本發明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節，所述的伸展電機、所述的一級關節、所述的二級關節和所述的三級關節依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。 機械手臂應用場景多在制造業。陽江新款晶圓運送機械吸臂設計

該機械臂由用戶的頭腦完全控制，靈巧到足以拿起一個玻璃杯，在沒有其他人幫助的情況下喝掉一杯飲料。陽江新款晶圓運送機械吸臂設計

裝配機械人 ；這燈機械臂要有較高的位姿精度，手腕具有較大的柔性。目前大多用于機電產品的裝配作業。⒌專門用途的機械臂 如醫用護理機械臂、航天用機械臂、探海用機械臂以及排險作業機械臂等。三、按操作機的位置機構形式和自由度數量分類機械臂操作機的位置機構型式是機械臂重要的外形特征，按這一類標準，機械臂可分為直角坐標型，圓柱坐標型，球（極）坐標型、關節型機械臂（或擬人機械臂）。操作機本身的軸數（自由度數）最能反應機械臂的工作能力，也是分類的重要依據。按這一分類要求，機械臂可分為4軸（自由度）、5軸（自由度）、6軸（自由度）、7軸（自由度）等機械臂。還有其它多種分類方式。基本介紹工業設計工業機械人通常由六項基本元素所組成，包括：結構,臂端工具，電腦數碼控制器，驅動器，量度回輸系統和感應器。陽江新款晶圓運送機械吸臂設計

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