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晶片磨削砂輪研究報(bào)告

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-06-12

襯底粗磨減薄砂輪是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵工具,尤其在晶圓襯底減薄工藝中發(fā)揮著不可替代的作用。隨著新能源汽車(chē)、軌道交通、消費(fèi)電子等行業(yè)的快速發(fā)展,市場(chǎng)對(duì)于芯片和功率器件的性能要求越來(lái)越高,這直接推動(dòng)了襯底粗磨減薄砂輪技術(shù)的不斷進(jìn)步。在江蘇優(yōu)普納科技有限公司,我們專(zhuān)注于研發(fā)和生產(chǎn)品質(zhì)高的襯底粗磨減薄砂輪,以滿(mǎn)足客戶(hù)日益增長(zhǎng)的需求。我們的砂輪采用先進(jìn)的金剛石磨料和品質(zhì)高結(jié)合劑,確保在粗磨過(guò)程中具有出色的磨削效率和穩(wěn)定性,同時(shí)能更大限度地減少晶圓表面的損傷,提高芯片良率。在實(shí)際案例中,優(yōu)普納砂輪于DISCO-DFG8640減薄機(jī)上對(duì)8吋SiC線割片進(jìn)行精磨,磨耗比200% Ra≤3nm TTV≤2μm。晶片磨削砂輪研究報(bào)告

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針對(duì)不同磨床特性,優(yōu)普納提供基體優(yōu)化設(shè)計(jì)服務(wù),通過(guò)調(diào)整砂輪結(jié)構(gòu)(如孔徑、厚度、溝槽)增強(qiáng)與設(shè)備的匹配度。例如,為適配DISCO-DFG8640高速減薄機(jī),優(yōu)普納開(kāi)發(fā)了增強(qiáng)型冷卻流道砂輪,使8吋SiC晶圓加工效率提升25%,磨耗比控制在30%以?xún)?nèi)。客戶(hù)可根據(jù)自身設(shè)備型號(hào)、晶圓尺寸(4吋/6吋/8吋)及工藝階段(粗磨/精磨)靈活選擇砂輪方案,實(shí)現(xiàn)“一機(jī)一策”的精確適配。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質(zhì)有保證,歡迎您的隨時(shí)致電咨詢(xún),為您提供滿(mǎn)意的產(chǎn)品以及方案。上海砂輪優(yōu)普納碳化硅晶圓減薄砂輪在性能和質(zhì)量上不斷突破,為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體加工設(shè)備及耗材的自主可控發(fā)展貢獻(xiàn)力量。

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江蘇優(yōu)普納科技有限公司的精磨減薄砂輪具備一系列優(yōu)越的產(chǎn)品特性,使其在市場(chǎng)中脫穎而出。首先是高耐磨性,砂輪所選用的磨粒,如針對(duì)第三代半導(dǎo)體材料的金剛石磨粒,具有極高的硬度和化學(xué)穩(wěn)定性,能夠在長(zhǎng)時(shí)間、強(qiáng)度高的磨削過(guò)程中保持磨粒的形狀和鋒利度,明顯延長(zhǎng)了砂輪的使用壽命。以SiC晶圓減薄為例,相比傳統(tǒng)砂輪,優(yōu)普納的產(chǎn)品可明顯降低砂輪的更換頻率,提高生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本。其次是高精度磨削能力,通過(guò)精確控制磨粒粒度分布和結(jié)合劑性能,砂輪能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)別的磨削精度,確保加工后的晶圓表面粗糙度極低,平面度極高,滿(mǎn)足半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域?qū)ぜ砻尜|(zhì)量的嚴(yán)格要求。再者,砂輪具有良好的自銳性,在磨削過(guò)程中,當(dāng)磨粒磨損到一定程度時(shí),結(jié)合劑能及時(shí)釋放磨粒,新的鋒利磨粒迅速參與磨削,保證了磨削效率的穩(wěn)定性,避免因磨粒鈍化導(dǎo)致的加工質(zhì)量下降和效率降低。同時(shí),優(yōu)普納的精磨減薄砂輪還具備出色的散熱性能,在高速磨削過(guò)程中,能有效將磨削產(chǎn)生的熱量帶走,減少因熱變形對(duì)工件精度的影響,全方面保障了加工過(guò)程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性。

激光改質(zhì)技術(shù)是利用高能激光束對(duì)材料表面進(jìn)行局部加熱和熔化,從而改變其物理和化學(xué)性質(zhì)的過(guò)程。在激光改質(zhì)層減薄砂輪的生產(chǎn)中,激光束能夠精確控制加熱區(qū)域,使得砂輪表面形成一層致密的改質(zhì)層。這一改質(zhì)層不僅提高了砂輪的硬度和耐磨性,還增強(qiáng)了其抗熱疲勞和抗氧化能力。與傳統(tǒng)的砂輪相比,激光改質(zhì)層減薄砂輪在磨削過(guò)程中產(chǎn)生的磨損更少,能夠有效降低砂輪的更換頻率,提升生產(chǎn)效率。此外,激光改質(zhì)技術(shù)的應(yīng)用還使得砂輪的加工精度和表面質(zhì)量得到了明顯提升,滿(mǎn)足了現(xiàn)代制造業(yè)對(duì)高精度、高效率的需求。在東京精密-HRG200X減薄機(jī)上,優(yōu)普納砂輪加工6吋SiC線割片,磨耗比為15%,Ra≤30nm,TTV≤3μm。

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在全球市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)日益激烈的背景下,江蘇優(yōu)普納科技有限公司始終堅(jiān)持以客戶(hù)為中心,不斷提升產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)水平。我們的襯底粗磨減薄砂輪已經(jīng)在國(guó)內(nèi)外的半導(dǎo)體制造企業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用和認(rèn)可。未來(lái),我們將繼續(xù)加大研發(fā)投入和技術(shù)創(chuàng)新力度,為客戶(hù)提供更加品質(zhì)高、高效的砂輪產(chǎn)品和服務(wù),推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)的持續(xù)發(fā)展和進(jìn)步。同時(shí),我們也期待與更多的合作伙伴攜手共進(jìn),共同開(kāi)創(chuàng)半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的美好未來(lái)。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質(zhì)有保證,歡迎您的隨時(shí)致電咨詢(xún),為您提供滿(mǎn)意的產(chǎn)品以及方案。砂輪適配國(guó)內(nèi)外主流減薄設(shè)備,根據(jù)不同材料和尺寸定制 滿(mǎn)足多元化加工需求 推動(dòng)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控發(fā)展。晶片磨削砂輪創(chuàng)新

優(yōu)普納砂輪采用的多孔顯微組織調(diào)控技術(shù),不僅提升研削性能,還確保散熱良好,避免加工過(guò)程中的熱損傷。晶片磨削砂輪研究報(bào)告

江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,憑借其高性能陶瓷結(jié)合劑和“Dmix+”制程工藝,在第三代半導(dǎo)體材料加工領(lǐng)域樹(shù)立了新的目標(biāo)。這種獨(dú)特的結(jié)合劑配方不只賦予了砂輪強(qiáng)度高和韌性,還通過(guò)多孔顯微組織的設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了高研削性能和良好的散熱效果。在實(shí)際應(yīng)用中,無(wú)論是粗磨還是精磨,優(yōu)普納的砂輪都能保持穩(wěn)定的性能,減少振動(dòng)和損傷,確保加工后的晶圓表面質(zhì)量?jī)?yōu)異。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質(zhì)有保證,歡迎您的隨時(shí)致電咨詢(xún),為您提供滿(mǎn)意的產(chǎn)品以及方案。晶片磨削砂輪研究報(bào)告

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