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SiC晶圓磨削砂輪對(duì)比

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-05-26

江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,憑借其高性能陶瓷結(jié)合劑和“Dmix+”制程工藝,在第三代半導(dǎo)體材料加工領(lǐng)域樹立了新的目標(biāo)。這種獨(dú)特的結(jié)合劑配方不只賦予了砂輪強(qiáng)度高和韌性,還通過多孔顯微組織的設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了高研削性能和良好的散熱效果。在實(shí)際應(yīng)用中,無論是粗磨還是精磨,優(yōu)普納的砂輪都能保持穩(wěn)定的性能,減少振動(dòng)和損傷,確保加工后的晶圓表面質(zhì)量?jī)?yōu)異。這種技術(shù)優(yōu)勢(shì)不只滿足了半導(dǎo)體制造的需求,還為國產(chǎn)化替代提供了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)支持。在實(shí)際案例中,優(yōu)普納砂輪于DISCO-DFG8640減薄機(jī)上對(duì)8吋SiC線割片進(jìn)行精磨,磨耗比200% Ra≤3nm TTV≤2μm。SiC晶圓磨削砂輪對(duì)比

SiC晶圓磨削砂輪對(duì)比,砂輪

在半導(dǎo)體加工領(lǐng)域,精度是衡量產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵指標(biāo)。江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,憑借其專研的強(qiáng)度高微晶增韌陶瓷結(jié)合劑和多孔顯微組織調(diào)控技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)極高的加工精度。在東京精密-HRG200X減薄機(jī)的實(shí)際應(yīng)用中,無論是6吋還是8吋的SiC線割片,加工后的表面粗糙度Ra值均能達(dá)到納米級(jí)別,總厚度變化TTV控制在微米級(jí)別以內(nèi)。這種高精度的加工能力,不只滿足了半導(dǎo)體制造的需求,還為優(yōu)普納在國產(chǎn)碳化硅減薄砂輪市場(chǎng)奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ),使其成為高精度加工的代名詞。進(jìn)口砂輪實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)通過與國內(nèi)外主流減薄設(shè)備的完美適配,優(yōu)普納砂輪為客戶提供靈活加工解決方案,提升生產(chǎn)效率降低綜合成本。

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襯底粗磨減薄砂輪的應(yīng)用工序主要包括背面減薄和正面磨削的粗磨加工。在背面減薄過程中,砂輪需要與晶圓保持恒定的接觸面積,以確保磨削力的穩(wěn)定,避免晶圓出現(xiàn)破片或亞表面損傷。江蘇優(yōu)普納科技有限公司的襯底粗磨減薄砂輪經(jīng)過精心設(shè)計(jì)和制造,具有優(yōu)異的端面跳動(dòng)和外圓跳動(dòng)控制,能夠在高轉(zhuǎn)速下保持穩(wěn)定的磨削性能。此外,我們的砂輪還具有良好的散熱性能,能夠有效降低磨削過程中產(chǎn)生的熱量,保護(hù)晶圓不受熱損傷。歡迎您的隨時(shí)致電咨詢~

激光改質(zhì)技術(shù)是利用高能激光束對(duì)材料表面進(jìn)行局部加熱和熔化,從而改變其物理和化學(xué)性質(zhì)的過程。在激光改質(zhì)層減薄砂輪的生產(chǎn)中,激光束能夠精確控制加熱區(qū)域,使得砂輪表面形成一層致密的改質(zhì)層。這一改質(zhì)層不僅提高了砂輪的硬度和耐磨性,還增強(qiáng)了其抗熱疲勞和抗氧化能力。與傳統(tǒng)的砂輪相比,激光改質(zhì)層減薄砂輪在磨削過程中產(chǎn)生的磨損更少,能夠有效降低砂輪的更換頻率,提升生產(chǎn)效率。此外,激光改質(zhì)技術(shù)的應(yīng)用還使得砂輪的加工精度和表面質(zhì)量得到了明顯提升,滿足了現(xiàn)代制造業(yè)對(duì)高精度、高效率的需求。優(yōu)普納砂輪于東京精密-HRG200X減薄機(jī)上,對(duì)8吋SiC線割片進(jìn)行粗磨,磨耗比35%,Ra≤30nm,TTV≤3μm。

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江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,以其低損耗特性成為半導(dǎo)體加工領(lǐng)域的理想選擇。其獨(dú)特的多孔顯微組織調(diào)控技術(shù),使得砂輪在高磨削效率的同時(shí),磨耗比極低。在東京精密-HRG200X減薄機(jī)的實(shí)際應(yīng)用中,6吋SiC線割片的磨耗比只為15%,而8吋SiC線割片的磨耗比也只為35%。這意味著在長(zhǎng)時(shí)間的加工過程中,砂輪的磨損極小,使用壽命更長(zhǎng),為客戶節(jié)省了大量的成本。低損耗不只體現(xiàn)在砂輪本身的使用壽命上,還體現(xiàn)在加工后的晶圓表面質(zhì)量上,損傷極小,進(jìn)一步提升了產(chǎn)品的性價(jià)比,助力優(yōu)普納在國產(chǎn)化替代進(jìn)程中占據(jù)優(yōu)勢(shì)。從材料特性到設(shè)備適配,優(yōu)普納砂輪提供全方面解決方案,確保加工過程的高效性和穩(wěn)定性。氮化鎵砂輪工藝

砂輪適配國內(nèi)外主流減薄設(shè)備,根據(jù)不同材料和尺寸定制 滿足多元化加工需求 推動(dòng)國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控發(fā)展。SiC晶圓磨削砂輪對(duì)比

江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,以其優(yōu)越的**低損耗特性**,為客戶節(jié)省了大量的成本。其獨(dú)特的多孔顯微組織調(diào)控技術(shù),使得砂輪在高磨削效率的同時(shí),磨耗比極低。在實(shí)際應(yīng)用中,6吋SiC線割片的磨耗比只為15%,而8吋SiC線割片的磨耗比也只為35%。這意味著在長(zhǎng)時(shí)間的加工過程中,砂輪的磨損極小,使用壽命更長(zhǎng)。低損耗不只體現(xiàn)在砂輪本身的使用壽命上,還體現(xiàn)在加工后的晶圓表面質(zhì)量上,損傷極小,進(jìn)一步提升了產(chǎn)品的性價(jià)比,助力優(yōu)普納在國產(chǎn)化替代進(jìn)程中占據(jù)優(yōu)勢(shì)。SiC晶圓磨削砂輪對(duì)比

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