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蘇州半導(dǎo)體濕法工藝

來源: 發(fā)布時間:2024-01-09

光伏電池濕法制絨設(shè)備,與多種主流工藝如PERC、TOPCON、HPBC等相匹配,在設(shè)備結(jié)構(gòu)、功能、產(chǎn)能和安全性等方面進行了升級。其作用是對太陽能電池用硅片進行清洗制絨處理,從而提升電池的質(zhì)量和效率。進風離子風扇和去靜電環(huán)提供雙重保護,加熱部件則采用多重相異方式保護,從而降低了安全風險。大功率工業(yè)熱水機可以加快配槽速度,通過優(yōu)化程序?qū)崿F(xiàn)能耗平衡。階梯節(jié)水和新型工藝槽換熱進水加溫結(jié)構(gòu),有效降低了能耗,從而降低了電池生產(chǎn)成本。光伏電池濕法制絨設(shè)備(HJT工藝)機械手分配合理,有效避免藥液交叉污染和槽體反應(yīng)超時。蘇州半導(dǎo)體濕法工藝

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電池濕法設(shè)備主要是對太陽能電池用硅片進行清洗處理,2022年成功研發(fā)雙六道大產(chǎn)能去PSG清洗設(shè)備,并實現(xiàn)量產(chǎn),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性、產(chǎn)能、安全性升級。去PSG工藝首先將繞擴層PSG進行去除,利用背面PSG保護,在槽式清洗中完成去繞度工藝。為尋求更為穩(wěn)定的硅片傳輸,整機設(shè)計為雙五道/雙六道分布結(jié)構(gòu),料臺歸正寬度可調(diào),兼容更多規(guī)格的硅片,并為后續(xù)18X硅片更大產(chǎn)能改造提供了預(yù)留窗口;去PSG設(shè)備布局前后通透,給設(shè)備使用者提供了便捷性;上料臺搭配了大流量全新滴液泵;。山東智能濕法設(shè)備電池濕法設(shè)備擁有多種型號,滿足不同規(guī)格硅片、各種類型電池片制造的需求,靈活性高。

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電池濕法設(shè)備HJT工藝功能是去除切割損傷層和表面臟污l使用強堿腐蝕晶體硅表面形成規(guī)則金字塔狀絨面,增加硅片對太陽光的吸收,降低反射率l增加硅片表面積,進而PN結(jié)面積也相應(yīng)增加。設(shè)備優(yōu)勢是進口PLC控制,兼容MES,UPS和RFID功能。機械手分配合理,有效避免藥液交叉污染和槽體反應(yīng)超時。工藝槽采用經(jīng)典的內(nèi)外槽的循環(huán)模式,能快速有效的將新添加藥水以及添加劑充分攪拌均勻,槽內(nèi)控溫精度誤差<±1℃。所有與液體接觸的材料均采用進口材質(zhì),避免材料雜質(zhì)析出;引進半導(dǎo)體清洗工藝,保證硅片表面的潔凈度。斜拉式慢提拉結(jié)構(gòu),有效提升脫水能力,匹配高效電池發(fā)展趨勢。采用低溫烘干技術(shù),保證槽內(nèi)的潔凈度和溫度均勻性。

電池濕法設(shè)備的能源效率可以通過以下幾個方面進行評估:1.電池濕法設(shè)備的能耗:通過測量設(shè)備的電力消耗,可以計算出設(shè)備的能耗。這可以通過監(jiān)測設(shè)備的電流和電壓來實現(xiàn)。2.電池濕法設(shè)備的產(chǎn)出:通過測量設(shè)備的產(chǎn)出量,可以計算出設(shè)備的能源效率。這可以通過監(jiān)測設(shè)備的產(chǎn)出量來實現(xiàn)。3.設(shè)備的維護和運行成本:設(shè)備的維護和運行成本也是評估能源效率的重要因素。這包括設(shè)備的維護費用、運行費用和人工費用等。4.設(shè)備的壽命:設(shè)備的壽命也是評估能源效率的重要因素。如果設(shè)備的壽命較短,那么它的能源效率就會降低。5.設(shè)備的環(huán)境影響:設(shè)備的環(huán)境影響也是評估能源效率的重要因素。如果設(shè)備對環(huán)境的影響較大,那么它的能源效率就會降低。綜上所述,評估電池濕法設(shè)備的能源效率需要考慮多個因素,包括設(shè)備的能耗、產(chǎn)出、維護和運行成本、壽命以及環(huán)境影響等。通過綜合考慮這些因素,可以得出一個較為準確的能源效率評估結(jié)果。電池濕法設(shè)備在制造過程中注重工藝流程的優(yōu)化和改進,不斷提高產(chǎn)品質(zhì)量和性能。

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電池濕法設(shè)備Topcon工藝RCA槽式清洗設(shè)備主要功能去除多晶硅沉積的正面(LPCVD)PECVD繞鍍層,去除表面剩余的BSG。優(yōu)勢:閉環(huán)運動控制系統(tǒng),保證輸送機構(gòu)運動平穩(wěn)性。l拋光槽:上表面采用水膜保護及輥輪帶液方式,完整的保護正面的同時,對背面作拋光處理。l烘干槽:采用高壓風機+高效過濾器的方式,l進口PLC控制,穩(wěn)步提升設(shè)備的產(chǎn)能。l采用機械臂慢提方式,設(shè)備滿足干濕分離,匹配高效電池發(fā)展趨勢l工藝槽采用經(jīng)典的內(nèi)外槽的循環(huán)模式,能快速有效的將新添加藥水以及添加劑充分攪拌均勻,槽內(nèi)控溫精度誤差<±1℃l引進半導(dǎo)體清洗工藝,保證硅片表面的潔凈度。光伏電池濕法制絨設(shè)備,與多種主流工藝如PERC、TOPCON、HPBC等相匹配,在設(shè)備結(jié)構(gòu)、功能、產(chǎn)能和安全性等方面進行了升級。濕法刻蝕設(shè)備(Perc 工藝)拋光槽:上表面采用水膜保護及輥輪帶液方式,完整的保護正面的同時。蘇州半導(dǎo)體濕法工藝

濕法制絨設(shè)備能快速有效的將新添加藥水以及添加劑充分攪拌均勻。蘇州半導(dǎo)體濕法工藝

光伏電池濕法設(shè)備Topcon工藝,使用強堿腐蝕在硅片背面拋光形成近似鏡面的絨面結(jié)構(gòu),提高硅片對長波的吸收2.增加背鈍化膜的膜厚均勻性3.降低了背面的表面積,提升了少子壽命,降低背面復(fù)合速率。進口PLC控制,穩(wěn)步提升設(shè)備的產(chǎn)能。l慢提拉采用機械臂慢提方式,設(shè)備滿足干濕分離,匹配高效電池發(fā)展趨勢。l可配套無金屬化制程設(shè)備,提高設(shè)備潔凈度。工藝槽采用經(jīng)典的內(nèi)外槽的循環(huán)模式,能快速有效的將新添加藥水以及添加劑充分攪拌均勻,槽內(nèi)控溫精度誤差<±1℃。蘇州半導(dǎo)體濕法工藝

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