OBIRCH與EMMI技術在集成電路失效分析領域中扮演著互補的角色,其主要差異體現在檢測原理及應用領域。具體而言,EMMI技術通過光子檢測手段來精確定位漏電或發光故障點,而OBIRCH技術則依賴于激光誘導電阻變化來識別短路或阻值異常區域。這兩種技術通常被整合于同一檢測系統(即PEM系統)中,其中EMMI技術在探測光子發射類缺陷,如漏電流方面表現出色,而OBIRCH技術則對金屬層遮蔽下的短路現象具有更高的敏感度。例如,EMMI技術能夠有效檢測未開封芯片中的失效點,而OBIRCH技術則能有效解決低阻抗(<10 ohm)短路問題。當二極管處于正向偏置或反向擊穿狀態時,會有強烈的光子發射,形成明顯亮點。工業檢測微光顯微鏡功能
InGaAs微光顯微鏡與傳統微光顯微鏡在原理和功能上具有相似之處,均依賴于電子-空穴對復合產生的光子及熱載流子作為探測信號源。然而,InGaAs微光顯微鏡相較于傳統微光顯微鏡,呈現出更高的探測靈敏度,并且其探測波長范圍擴展至900nm至1700nm,而傳統微光顯微鏡的探測波長范圍限于350nm至1100nm。這一特性使得InGaAs微光顯微鏡具備更更好的波長檢測能力,從而拓寬了其應用領域。進一步而言,InGaAs微光顯微鏡的這一優勢使其在多個科研與工業領域展現出獨特價值。在半導體材料研究中,InGaAs微光顯微鏡能夠探測到更長的波長,這對于分析材料的缺陷、雜質以及能帶結構等方面具有重要意義。工業檢測微光顯微鏡功能針對接面漏電,我司微光顯微鏡能偵測其光子定位位置,利于篩選不良品,為改進半導體制造工藝提供數據。
此外,可靠的產品質量是企業贏得客戶信任、鞏固市場份額的基礎。通過微光顯微鏡(EMMI)的嚴格檢測,企業能確保交付給客戶的芯片具備穩定的性能和較高的可靠性,減少因產品故障導致的客戶投訴和返工或者退貨風險。這種對質量的堅守,會逐漸積累成企業的品牌口碑,使客戶在選擇供應商時更傾向于信賴具備完善檢測能力的企業,從而增強企業的市場競爭力。
微光顯微鏡不僅是一種檢測工具,更是半導體企業提升產品質量、加快研發進度、筑牢品牌根基的戰略資產。在全球半導體產業競爭日趨白熱化的當今,配備先進的微光顯微鏡設備,將幫助企業在技術創新與市場爭奪中持續領跑,構筑起難以復制的核心競爭力。
在半導體 MEMS 器件檢測領域,微光顯微鏡憑借其超靈敏的感知能力,展現出不可替代的技術價值。MEMS 器件的結構往往以微米級尺度存在,這些微小部件在運行過程中會產生極其微弱的紅外輻射變化 —— 這種信號強度常低于常規檢測設備的感知閾值,卻能被微光顯微鏡及時捕捉。通過先進的光電轉換與信號放大技術,微光設備將捕捉到的紅外輻射信號轉化為直觀的動態圖像。通過圖像分析工具,可量化提取結構的位移幅度、振動頻率等關鍵參數。這種檢測方式突破了傳統接觸式測量對微結構的干擾問題。但歐姆接觸和部分金屬互聯短路時,產生的光子十分微弱,難以被微光顯微鏡偵測到,借助近紅外光進行檢測。。
微光顯微鏡無法檢測不產生光子的失效(如歐姆接觸、金屬短路),且易受強光環境干擾;熱紅外顯微鏡則難以識別無明顯溫度變化的失效(如輕微漏電但功耗極低的缺陷),且溫度信號可能受環境熱傳導影響。
實際分析中,二者常結合使用,通過 “光 - 熱” 信號交叉驗證,提升失效定位的準確性。致晟光電在技術創新的征程中,實現了一項突破性成果 —— 將熱紅外顯微鏡與微光顯微鏡集可以集成于一臺設備,只需一次采購,便可以節省了重復的硬件投入。 微光顯微鏡的快速預熱功能,可縮短設備啟動至正常工作的時間,提高檢測效率。工業檢測微光顯微鏡功能
在超導芯片檢測中,可捕捉超導態向正常態轉變時的異常發光,助力超導器件的性能優化。工業檢測微光顯微鏡功能
致晟光電在推動產學研一體化進程中,積極開展校企合作。公司依托南京理工大學光電技術學院,專注開發基于微弱光電信號分析的產品及應用。雙方聯合攻克技術難題,不斷優化實時瞬態鎖相紅外熱分析系統(RTTLIT),使該系統溫度靈敏度可達0.0001℃,功率檢測限低至1uW,部分功能及參數優于進口設備。此外,致晟光電還與其他高校建立合作關系,搭建起學業-就業貫通式人才孵化平臺。為學生提供涵蓋研發設計、生產實踐、項目管理全鏈條的育人平臺,輸送了大量實踐能力強的專業人才,為企業持續創新注入活力。通過建立科研成果產業孵化綠色通道,高校的前沿科研成果得以快速轉化為實際生產力,實現了高校科研資源與企業市場轉化能力的優勢互補。工業檢測微光顯微鏡功能