微光顯微鏡的原理是探測光子發射。它通過高靈敏度的光學系統捕捉芯片內部因電子 - 空穴對(EHP)復合產生的微弱光子(如 P-N 結漏電、熱電子效應等過程中的發光),進而定位失效點。其探測對象是光信號,且多針對可見光至近紅外波段的光子。熱紅外顯微鏡則基于紅外輻射測溫原理工作。芯片運行時,失效區域(如短路、漏電點)會因能量損耗異常產生局部升溫,其釋放的紅外輻射強度與溫度正相關。設備通過檢測不同區域的紅外輻射差異,生成溫度分布圖像,以此定位發熱異常點,探測對象是熱信號(紅外波段輻射)。靜電放電破壞半導體器件時,微光顯微鏡偵測其光子可定位故障點,助分析原因程度。檢測用微光顯微鏡規格尺寸
我司專注于微弱信號處理技術的深度開發與場景化應用,憑借深厚的技術積累,已成功推出多系列失效分析檢測設備及智能化解決方案。更懂本土半導體產業的需求,軟件界面貼合工程師操作習慣,無需額外適配成本即可快速融入產線流程。
性價比優勢直擊痛點:相比進口設備,采購成本降低 30% 以上,且本土化售后團隊實現 24 小時響應、48 小時現場維護,備件供應周期縮短至 1 周內,徹底擺脫進口設備 “維護慢、成本高” 的困境。用國產微光顯微鏡,為芯片質量把關,讓失效分析更高效、更經濟、更可控! 直銷微光顯微鏡用戶體驗支持自定義檢測參數,測試人員可根據特殊樣品特性調整設置,獲得較為準確的檢測結果。
需要失效分析檢測樣品,我們一般會在提前做好前期的失效背景調查和電性能驗證工作,能夠為整個失效分析過程找準方向、提供依據,從而更高效、準確地找出芯片失效的原因。
1.失效背景調查收集芯片型號、應用場景、失效模式(如短路、漏電、功能異常等)、失效比例、使用環境(溫度、濕度、電壓)等。確認失效是否可復現,區分設計缺陷、制程問題或應用不當(如過壓、ESD)。
2.電性能驗證使用自動測試設備(ATE)或探針臺(ProbeStation)復現失效,記錄關鍵參數(如I-V曲線、漏電流、閾值電壓偏移)。對比良品與失效芯片的電特性差異,縮小失效區域(如特定功能模塊)。
相較于傳統微光顯微鏡,InGaAs(銦鎵砷)微光顯微鏡在檢測先進制程組件微小尺寸組件的缺陷方面具有更高的適用性。其原因在于,較小尺寸的組件通常需要較低的操作電壓,這導致熱載子激發的光波長增長。InGaAs微光顯微鏡特別適合于檢測先進制程產品中的亮點和熱點(HotSpot)定位。InGaAs微光顯微鏡與傳統EMMI在應用上具有相似性,但InGaAs微光顯微鏡在以下方面展現出優勢:
1.偵測到缺陷所需時間為傳統EMMI的1/5~1/10;
2.能夠偵測到微弱電流及先進制程中的缺陷;
3.能夠偵測到較輕微的MetalBridge缺陷;
4.針對芯片背面(Back-Side)的定位分析中,紅外光對硅基板具有較高的穿透率。 熱電子與晶格相互作用及閂鎖效應發生時也會產生光子,在顯微鏡下呈現亮點。
對半導體研發工程師而言,排查的過程層層受阻。在逐一排除外圍電路異常、生產工藝制程損傷等潛在因素后,若仍未找到癥結,往往需要芯片原廠介入,通過剖片分析深入探究內核。
然而,受限于專業分析設備的缺乏,再加上芯片內部設計涉及機密,工程師難以深入了解其底層構造,這就導致他們在面對原廠出具的分析報告時,常常陷入 “被動接受” 的局面 —— 既無法完全驗證報告的細節,也難以基于自身判斷提出更具針對性的疑問或補充分析方向。 針對納米級半導體器件,搭配超高倍物鏡,能分辨納米尺度的缺陷發光,推動納米電子學研究。半導體失效分析微光顯微鏡市場價
微光顯微鏡能檢測半導體器件微小缺陷和失效點,及時發現隱患,保障設備可靠運行、提升通信質量。檢測用微光顯微鏡規格尺寸
考慮到部分客戶的特殊應用場景,我們還提供Thermal&EMMI的個性化定制服務。無論是設備的功能模塊調整、性能參數優化,還是外觀結構適配,我們都能根據您的具體需求進行專屬設計與研發。憑借高效的研發團隊和成熟的生產體系,定制項目通常在 2-3 個月內即可完成交付,在保證定制靈活性的同時,充分兼顧了交付效率,讓您的特殊需求得到及時且滿意的答案。致晟光電始終致力于為客戶提供更可靠、更貼心的服務,期待與您攜手共進,共創佳績。檢測用微光顯微鏡規格尺寸