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鎖相微光顯微鏡工作原理

來源: 發布時間:2025-07-21

需要失效分析檢測樣品,我們一般會在提前做好前期的失效背景調查和電性能驗證工作,能夠為整個失效分析過程找準方向、提供依據,從而更高效、準確地找出芯片失效的原因。

1.失效背景調查收集芯片型號、應用場景、失效模式(如短路、漏電、功能異常等)、失效比例、使用環境(溫度、濕度、電壓)等。確認失效是否可復現,區分設計缺陷、制程問題或應用不當(如過壓、ESD)。

2.電性能驗證使用自動測試設備(ATE)或探針臺(ProbeStation)復現失效,記錄關鍵參數(如I-V曲線、漏電流、閾值電壓偏移)。對比良品與失效芯片的電特性差異,縮小失效區域(如特定功能模塊)。 半導體失效分析中,微光顯微鏡可偵測失效器件光子,定位如 P-N 接面漏電等故障點,助力改進工藝、提升質量。鎖相微光顯微鏡工作原理

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RTTLIT E20 微光顯微分析系統(EMMI)是專為半導體器件漏電缺陷檢測量身打造的高精度檢測設備,其系統搭載 -80℃制冷型 InGaAs 探測器與高分辨率顯微物鏡 ,構建起超高靈敏度檢測體系 —— 可準確捕捉器件在微弱漏電流下產生的極微弱微光信號,實現納米級缺陷的可視化成像。通過超高靈敏度成像技術,設備能快速定位漏電缺陷并完成深度分析,為工程師提供直觀的缺陷數據支撐,助力優化生產工藝、提升產品可靠性。從芯片研發到量產質控,RTTLIT E20 以穩定可靠的性能,為半導體器件全生命周期的質量保障提供科學解決方案,是半導體行業提升良率的關鍵檢測利器。國內微光顯微鏡售價晶體管和二極管短路或漏電時,微光顯微鏡依其光子信號判斷故障類型與位置,利于排查電路故障。

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對半導體研發工程師而言,排查的過程層層受阻。在逐一排除外圍電路異常、生產工藝制程損傷等潛在因素后,若仍未找到癥結,往往需要芯片原廠介入,通過剖片分析深入探究內核。

然而,受限于專業分析設備的缺乏,再加上芯片內部設計涉及機密,工程師難以深入了解其底層構造,這就導致他們在面對原廠出具的分析報告時,常常陷入 “被動接受” 的局面 —— 既無法完全驗證報告的細節,也難以基于自身判斷提出更具針對性的疑問或補充分析方向。



選擇國產 EMMI 微光顯微鏡,既是擁抱技術自主,更是搶占效率與成本的雙重優勢!致晟光電全本土化研發實力,與南京理工大學光電技術學院深度攜手,致力于光電技術研究和產業化應用,充分發揮其科研優勢,構建起產學研深度融合的技術研發體系。

憑借這一堅實后盾,我們的 EMMI 微光顯微鏡在性能上實現更佳突破:-80℃制冷型探測器搭配高分辨率物鏡,輕松捕捉極微弱漏電流光子信號,漏電缺陷定位精度與國際設備同步,讓每一個細微失效點無所遁形。 熱電子與晶格相互作用及閂鎖效應發生時也會產生光子,在顯微鏡下呈現亮點。

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微光顯微鏡技術特性差異

探測靈敏度方向:EMMI 追求對微弱光子的高靈敏度(可檢測單光子級別信號),需配合暗場環境減少干擾;熱紅外顯微鏡則強調溫度分辨率(部分設備可達 0.01℃),需抑制環境熱噪聲。

空間分辨率:EMMI 的分辨率受光學系統和光子波長限制,通常在微米級;熱紅外顯微鏡的分辨率與紅外波長、鏡頭數值孔徑相關,一般略低于 EMMI,但更注重大面積熱分布的快速成像。

樣品處理要求:EMMI 對部分遮蔽性失效(如金屬下方漏電)需采用背面觀測模式,可能需要減薄、拋光樣品;

處理要求:熱紅外顯微鏡可透過封裝材料(如陶瓷、塑料)探測,對樣品破壞性較小,更適合非侵入式初步篩查。 介電層漏電時,微光顯微鏡可檢測其光子定位位置,保障電子器件絕緣結構可靠,防止電路故障。無損微光顯微鏡按需定制

紅外成像可以不破壞芯片封裝,嘗試定位未開封芯片失效點并區分其在封裝還是 Die 內部,利于評估芯片質量。鎖相微光顯微鏡工作原理

在微光顯微鏡(EMMI) 操作過程中,當對樣品施加合適的電壓時,其失效點會由于載流子加速散射或電子-空穴對復合效應而發射特定波長的光子。這些光子經過采集和圖像處理后,可以形成一張信號圖。隨后,取消施加在樣品上的電壓,在未供電的狀態下采集一張背景圖。再通過將信號圖與背景圖進行疊加處理,就可以精確地定位發光點的位置,實現對失效點的精確定位。進一步地,為了提升定位的準確性,可采用多種圖像處理技術進行優化。例如,通過濾波算法去除背景噪聲,增強信號圖的信噪比;利用邊緣檢測技術,突出顯示發光點的邊緣特征,從而提高定位精度。鎖相微光顯微鏡工作原理

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