致晟光電的熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI）系列 ——RTTLIT P10 實時瞬態鎖相熱分析系統，搭載非制冷型熱紅外成像探測器，采用鎖相熱成像（Lock-In Thermography）技術，通過調制電信號大幅提升特征分辨率與檢測靈敏度，具備高靈敏度、高性價比的突出優勢。該系統鎖相靈敏度可達 0.001℃，顯微分辨率可達 5μm，分析速度快且檢測精度高，重點應用于電路板失效分析領域，可多用于適配 PCB、PCBA、大尺寸主板、分立元器件、MLCC 等產品的維修檢測場景。 熱紅外顯微鏡對集成電路進行熱檢測，排查內部隱藏故障 。國內熱紅外顯微鏡貨源充足

當電子設備中的某個元件發生故障或異常時，常常伴隨局部溫度升高。熱紅外顯微鏡通過高靈敏度的紅外探測器，能夠捕捉到極其微弱的熱輻射信號。這些探測器通常采用量子級聯激光器等先進技術，或其他高性能紅外傳感方案，具備寬溫區、高分辨率的成像能力。通過對熱輻射信號的精細探測與分析，熱紅外顯微鏡能夠將電子設備表面的溫度分布以高對比度的熱圖像形式呈現，直觀展現熱點區域的位置、尺寸及溫度變化趨勢，從而幫助工程師快速鎖定潛在的故障點，實現高效可靠的故障排查。顯微熱紅外顯微鏡原理熱紅外顯微鏡利用其高分辨率，觀察半導體制造過程中的熱工藝缺陷 。

熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI）技術，作為半導體失效分析領域的關鍵手段，通過捕捉器件內部產生的熱輻射，實現失效點的精細定位。它憑借對微觀熱信號的高靈敏度探測，成為解析半導體故障的 “火眼金睛”。然而，隨著半導體技術不斷升級，器件正朝著超精細圖案制程與低供電電壓方向快速演進：線寬進入納米級，供電電壓降至 1V 以下。這使得失效點（如微小短路、漏電流區域）產生的熱量急劇減少，其輻射的紅外線信號強度降至傳統檢測閾值邊緣，疊加芯片復雜結構的背景輻射干擾，信號提取難度呈指數級上升。

在電子領域，所有器件都會在不同程度上產生熱量。器件散發一定熱量屬于正常現象，但某些類型的缺陷會增加功耗，進而導致發熱量上升。

在失效分析中，這種額外的熱量能夠為定位缺陷本身提供有用線索。熱紅外顯微鏡可以借助內置攝像系統來測量可見光或近紅外光的實用技術。該相機對波長在3至10微米范圍內的光子十分敏感，而這些波長與熱量相對應，因此相機獲取的圖像可轉化為被測器件的熱分布圖。通常，會先對斷電狀態下的樣品器件進行熱成像，以此建立基準線；隨后通電再次成像。得到的圖像直觀呈現了器件的功耗情況，可用于隔離失效問題。許多不同的缺陷在通電時會因消耗額外電流而產生過多熱量。例如短路、性能不良的晶體管、損壞的靜電放電保護二極管等，通過熱紅外顯微鏡觀察時會顯現出來，從而使我們能夠精細定位存在缺陷的損壞部位。 熱紅外顯微鏡結合自研算法，對微弱熱信號進行定位分析，鎖定潛在缺陷 。

致晟光電熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI）系列中的 RTTLIT P20 實時瞬態鎖相熱分析系統，采用鎖相熱成像（Lock-inThermography）技術，通過調制電信號提升特征分辨率與靈敏度，并結合軟件算法優化信噪比，實現顯微成像下超高靈敏度的熱信號測量。RTTLIT P20搭載100Hz高頻深制冷型超高靈敏度顯微熱紅外成像探測器，測溫靈敏度達0.1mK，顯微分辨率低至2μm，具備良好的檢測靈敏度與測試效能。該系統重點應用于對測溫精度和顯微分辨率要求嚴苛的場景，包括半導體器件、晶圓、集成電路、IGBT、功率模塊、第三代半導體、LED及microLED等的失效分析，是電子集成電路與半導體器件失效分析及缺陷定位領域的關鍵工具。定位芯片內部微短路、漏電、焊點虛接等導致的熱異常點。制冷熱紅外顯微鏡應用

熱紅外顯微鏡通過熱成像技術，快速定位 PCB 板上的短路熱點 。國內熱紅外顯微鏡貨源充足

相較于宏觀熱像儀（空間分辨率約50-100μm），熱紅外顯微鏡通過顯微光學系統將分辨率提升至1-10μm，且支持動態電激勵與鎖相分析，能深入揭示微觀尺度的熱-電耦合失效機理。例如，傳統熱像儀能檢測PCB表面的整體熱分布，而熱紅外顯微鏡可定位某一焊點內部的微裂紋導致的局部過熱。技術發展趨勢當前，熱紅外顯微鏡正朝著更高靈敏度（如量子點探測器提升光子捕捉能力）、多模態融合（集成EMMI光子探測、OBIRCH電阻分析）及智能化方向發展，部分設備已內置AI算法自動標記異常熱點，為半導體良率提升、新能源汽車電驅系統熱管理等應用提供更高效的解決方案。國內熱紅外顯微鏡貨源充足