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半導體微光顯微鏡與光學顯微鏡對比

來源: 發布時間:2025-07-19

定位短路故障點短路是造成芯片失效的關鍵誘因之一。

當芯片內部電路發生短路時,短路區域會形成異常電流通路,引發局部溫度驟升,并伴隨特定波長的光發射現象。EMMI(微光顯微鏡)憑借其超高靈敏度,能夠捕捉這些由短路產生的微弱光信號,再通過對光信號的強度分布、空間位置等特征進行綜合分析,可實現對短路故障點的精確定位。

以一款高性能微處理器芯片為例,其在測試中出現不明原因的功耗激增問題,技術人員初步判斷為內部電路存在短路隱患。通過EMMI對芯片進行全域掃描檢測,在極短時間內便在芯片的某一特定功能模塊區域發現了光發射信號。結合該芯片的電路設計圖紙和版圖信息進行深入分析,終鎖定故障點為兩條相鄰的鋁金屬布線之間因絕緣層破損而發生的短路。這一定位為后續的故障修復和工藝改進提供了直接依據。 我司微光顯微鏡可檢測 TFT LCD 面板及 PCB/PCBA 金屬線路缺陷和短路點,為質量控制與維修提供高效準確方法。半導體微光顯微鏡與光學顯微鏡對比

半導體微光顯微鏡與光學顯微鏡對比,微光顯微鏡

致晟光電作為專注于微光顯微鏡與熱紅外顯微鏡應用的技術團隊,設備在微小目標定位、熱分布成像等場景中具備高分辨率優勢,可廣泛應用于芯片、PCB板、顯示屏等消費電子元器件的檢測環節,為您提供客觀的物理位置或熱分布定位數據。

為讓您更直觀了解設備的定位精度與適用性,我們誠摯邀請貴單位參與樣品測試合作:若您有需要進行微光定位(如細微結構位置標記、表面瑕疵定位)或熱紅外定位(如元器件發熱點分布、溫度梯度成像)的樣品,可郵寄至我方實驗室。我們將提供專業檢測服務,輸出包含圖像、坐標、數值等在內的定位數據報告(注:報告呈現客觀檢測結果,不做定性或定量結論判斷)。測試過程中,我們會根據您的需求調整檢測參數,確保定位數據貼合實際應用場景。若您對設備的定位效果認可,可進一步洽談設備采購或長期檢測服務合作。 半導體微光顯微鏡與光學顯微鏡對比針對納米級半導體器件,搭配超高倍物鏡,能分辨納米尺度的缺陷發光,推動納米電子學研究。

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EMMI 微光顯微鏡作為集成電路失效分析的重要設備,其漏電定位功能對于失效分析工程師而言是不可或缺的工具。在集成電路領域,對芯片的可靠性有著極高的要求。在芯片運行過程中,微小漏電現象較為常見,且在特定條件下,這些微弱的漏電可能會被放大,導致芯片乃至整個控制系統的失效。因此,芯片微漏電現象在集成電路失效分析中占據著至關重要的地位。此外,考慮到大多數集成電路的工作電壓范圍在3.3V至20V之間,工作電流即便是微安或毫安級別的漏電流也足以表明芯片已經出現失效。因此,準確判斷漏流位置對于確定芯片失效的根本原因至關重要。

OBIRCH與EMMI技術在集成電路失效分析領域中扮演著互補的角色,其主要差異體現在檢測原理及應用領域。具體而言,EMMI技術通過光子檢測手段來精確定位漏電或發光故障點,而OBIRCH技術則依賴于激光誘導電阻變化來識別短路或阻值異常區域。這兩種技術通常被整合于同一檢測系統(即PEM系統)中,其中EMMI技術在探測光子發射類缺陷,如漏電流方面表現出色,而OBIRCH技術則對金屬層遮蔽下的短路現象具有更高的敏感度。例如,EMMI技術能夠有效檢測未開封芯片中的失效點,而OBIRCH技術則能有效解決低阻抗(<10 ohm)短路問題。其搭載的圖像增強算法,能強化微弱光子信號,減少噪聲干擾,使故障點成像更鮮明,便于識別。

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在半導體芯片的精密檢測領域,微光顯微鏡與熱紅外顯微鏡如同兩把功能各異的 “利劍”,各自憑借獨特的技術原理與應用優勢,在芯片質量管控與失效分析中發揮著不可替代的作用。二者雖同服務于芯片檢測,但在邏輯與適用場景上的差異,使其成為互補而非替代的檢測組合。從技術原理來看,兩者的 “探測語言” 截然不同。

微光顯微鏡是 “光子的捕捉者”,其重心在于高靈敏度的光子傳感器,能夠捕捉芯片內部因電性能異常釋放的微弱光信號 —— 這些信號可能來自 PN 結漏電時的電子躍遷,或是柵氧擊穿瞬間的能量釋放,波長多集中在可見光至近紅外范圍。


支持自定義檢測參數,測試人員可根據特殊樣品特性調整設置,獲得較為準確的檢測結果。無損微光顯微鏡探測器

其低噪聲電纜連接設計,減少信號傳輸過程中的損耗,確保微弱光子信號完整傳遞至探測器。半導體微光顯微鏡與光學顯微鏡對比

考慮到部分客戶的特殊應用場景,我們還提供Thermal&EMMI的個性化定制服務。無論是設備的功能模塊調整、性能參數優化,還是外觀結構適配,我們都能根據您的具體需求進行專屬設計與研發。憑借高效的研發團隊和成熟的生產體系,定制項目通常在 2-3 個月內即可完成交付,在保證定制靈活性的同時,充分兼顧了交付效率,讓您的特殊需求得到及時且滿意的答案。致晟光電始終致力于為客戶提供更可靠、更貼心的服務,期待與您攜手共進,共創佳績。半導體微光顯微鏡與光學顯微鏡對比

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