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楊浦區巴頓C1608X205Y32分子泵軸承

來源: 發布時間:2025-07-20

新巴頓分子泵軸承采用先進的復合材質體系,主要部件陶瓷球選用氧化鋯(ZrO?)材料,其硬度高達 HRA85,抗彎強度達到 230GPa,相比傳統軸承鋼材質,耐磨性提升了 3 倍以上。不銹鋼套圈采用真空除氣處理的 AISI 440C 不銹鋼,在 10??Pa 的超高真空環境下,水汽釋放率為 5×10??Pa?m3/s,極大降低了出氣對真空系統的影響。某半導體蝕刻設備在采用新巴頓陶瓷軸承后,運行壽命從原本的 8 個月延長至 28 個月,設備因軸承故障導致的停機時間減少了 75%,明顯提升了生產效率,同時因材料出氣率低,芯片的良品率提高了 4% ,有效降低了生產成本。新巴頓分子泵軸承結構模塊化,適用于渦輪、復合分子泵等多種機械類型。楊浦區巴頓C1608X205Y32分子泵軸承

分子泵軸承

新巴頓分子泵軸承采用多道密封結構設計,以滿足機械行業對真空系統的防泄漏要求。主密封采用迷宮式密封與骨架油封組合,迷宮間隙控制在 0.1-0.3mm,配合真空泵油形成液封,泄漏率≤1×10??Pa?m3/s。在半導體薄膜沉積設備中,這種密封系統可防止工藝氣體(如 NF?、Cl?)滲入軸承腔,避免潤滑劑失效。輔助密封采用 O 型圈(材質為氟橡膠 Viton),耐溫范圍 - 20℃至 + 200℃,在機械啟停的溫度波動中保持彈性,確保密封面的貼合壓力≥0.5MPa。密封系統的整體設計使分子泵軸承在 10??Pa 高真空環境下仍能維持穩定的密封性能,為機械工藝的真空度提供可靠保障。上海VAC6000AC004分子泵軸承適配含腐蝕性氣體環境,新巴頓分子泵軸承為半導體機械提供可靠真空保障。

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新巴頓自主研發的微量油氣潤滑系統,將潤滑油以 0.03ml/h 的精確流量與壓縮空氣混合形成油霧,相比傳統脂潤滑,摩擦功耗降低了 65%,且有效避免了積碳問題的產生。針對半導體行業的潔凈需求,推出全氟聚醚(PFPE)潤滑脂,其揮發分含量低于 0.08%,滿足 ISO 14644-1 Class 5 級潔凈標準,即便在 10??Pa 的超高真空環境下,依然能保持穩定的潤滑性能。某半導體 MOCVD 設備使用該潤滑方案后,軸承的維護周期從 3 個月延長至 14 個月,每年可節省設備維護成本約 120 萬元,同時減少了因潤滑問題導致的設備停機風險。

分子泵軸承的動態平衡技術:高速分子泵的軸承組件需進行高精度動平衡,新巴頓采用雙面平衡機(精度等級 G0.4)對軸承 - 轉子系統進行整體平衡,殘余不平衡量控制在 0.5g?mm/kg 以下。對于 10kg 轉子,該精度可使高速運轉時的離心力波動≤5N,避免軸承異常磨損。平衡過程中通過激光去重技術(去除量精度 ±0.1mg)對轉子配重塊進行微調,某真空鍍膜設備采用該技術后,軸承的振動加速度從 12m/s2 降至 3m/s2,達到 ISO 2372 機械振動等級 1 級標準。創新技術推動,新巴頓分子泵軸承帶領紡織機械高效發展。

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針對機械行業多樣化的工況,新巴頓分子泵軸承采用模塊化結構設計。深溝球軸承結構適用于低載荷高速場景(如實驗室小型分子泵),其游隙控制在 C2 級,保證轉速達 50000rpm 時的運轉精度;角接觸軸承則用于需要承受軸向載荷的機械系統(如大型真空冶煉設備),通過配對使用可承受雙向軸向力,軸向剛度提升 30% 以上。在磁懸浮分子泵中,軸承與磁懸浮系統的配合間隙控制在 5-10μm,既滿足機械支撐需求,又避免電磁干擾。這種結構設計使軸承在機械行業的真空泵啟動階段(0-3000rpm 加速過程)能有效抑制振動,振幅控制在 50μm 以內,保障設備運行平穩性。新巴頓分子泵軸承動態平衡等級 G1.0,有效抑制機械運行振動。靜安區巴頓YCA1750SSW85分子泵軸承

巴頓分子泵軸承:高剛度設計,提高系統穩定性。楊浦區巴頓C1608X205Y32分子泵軸承

新巴頓為機械行業用戶提供全周期售后服務與技術支持。在接到軸承故障反饋后,4 小時內提供初步解決方案;對于重大故障,工程師可在 24 小時內到達現場(長三角地區)。售后團隊通過遠程診斷系統(接入軸承傳感器數據),實時監測分子泵軸承的運行狀態,提前預警潛在風險。定期舉辦機械維護培訓(每年 4-6 場),內容涵蓋軸承安裝、潤滑、故障判斷等,幫助用戶提升維護技能,降低機械停機損失。這種多方面的服務體系,使新巴頓在機械行業用戶中建立了良好的口碑。楊浦區巴頓C1608X205Y32分子泵軸承

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