激光平面干涉儀是基于菲索干涉原理設計的光學精密計量儀器，主要用于檢測光學元件表面面形精度和光學材料的均勻性 [1] [3-4]。該設備測量精度可達到1/10-1/100波長量級，采用半導體激光器（635nm）作為光源，具有防塵效果好、結構緊湊等特點，適用于光學車間、實驗室等場景的批量檢測 [3-4]。上海乾曜光學科技有限公司與北京海富達科技有限公司均具備相關生產能力，其中G150M、G200M及60-LP等型號產品采用標準化測量口徑設計，可滿足不同使用場景需求 [2-4]。截至2025年，相關企業產品已服務國內外科研院所及工業企業 [2]。光纖干涉儀：利用光纖中的光波干涉現象，廣泛應用于傳感器、通信等領域。工業園區通用雙頻激光干涉儀量大從優

邁克爾遜干涉儀，是1881年美國物理學家邁克爾遜和莫雷合作，為研究“以太”漂移而設計制造出來的精密光學儀器。它是利用分振幅法產生雙光束以實現干涉。通過調整該干涉儀，可以產生等厚干涉條紋，也可以產生等傾干涉條紋。主要用于長度和折射率的測量，若觀察到干涉條紋移動一條，便是M2的動臂移動量為λ/2，等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變λ/2。在近代物理和近代計量技術中，如在光譜線精細結構的研究和用光波標定標準米尺等實驗中都有著重要的應用。利用該儀器的原理，研制出多種**干涉儀。 [1]高新區通用雙頻激光干涉儀單價抗干擾能力強：由于使用了兩種不同頻率的激光，干涉儀對環境噪聲和振動的抗干擾能力較強。

邁克爾遜干涉儀的*****應用即是它在邁克爾遜-莫雷實驗中對以太風觀測中所得到的零結果，這朵十九世紀末經典物理學天空中的烏云為狹義相對論的基本假設提供了實驗依據。除此之外，由于激光干涉儀能夠非常精確地測量干涉中的光程差，在當今的引力波探測中邁克爾遜干涉儀以及其他種類的干涉儀都得到了相當廣泛的應用。激光干涉引力波天文臺（LIGO）等諸多地面激光干涉引力波探測器的基本原理就是通過邁克爾遜干涉儀來測量由引力波引起的激光的光程變化，而在計劃中的激光干涉空間天線（LISA）中，應用邁克爾遜干涉儀原理的基本構想也已經被提出。邁克爾遜干涉儀還被應用于尋找太陽系外行星的探測中，雖然在這種探測中馬赫-曾特干涉儀的應用更加***。邁克爾遜干涉儀還在延遲干涉儀，即光學差分相移鍵控解調器（Optical DPSK）的制造中有所應用，這種解調器可以在波分復用網絡中將相位調制轉換成振幅調制。

但是這種單頻的激光儀并非完美，它的一個根本弱點就是受環境影響嚴重，在測試環境惡劣，測量距離較長時，這一缺點十分突出。其原因在于它是一種直流測量系統，必然具有直流光平和電平零漂的弊端。激光干涉儀可動反光鏡移動時，光電接收器會輸出信號，如果信號超過了計數器的觸發電平則就會被記錄下來，而如果激光束強度發生變化，就有可能使光電信號低于計數器的觸發電平而使計數器停止計數，使激光器強度或干涉信號強度變化的主要原因是空氣湍流，機床油霧，切削屑對光束的影響，結果光束發生偏移或波面扭曲。通過分析干涉條紋的變化，可以得到被測物體的位移信息。

機床與加工設備：應用于數控機床、磨床、鏜床、加工中心等設備的定位系統校準及誤差修正，以提升加工精度。集成電路制造：支持半導體光刻技術的工件臺的精密定位。物理實驗：測量位移、速度、加速度等動力學參數。在線監測控制：在大規模集成電路加工設備、精密機床中實現誤差的在線測量，以提升生產穩定性。檢測儀器校準：用于線性位移傳感器、角度傳感器、直線度檢測儀等幾何檢測儀器的標定。雙頻激光干涉儀憑借其高精度、強環境適應力、高實時動態測速以及廣泛的應用領域，在精密制造、科研創新以及標準化檢測等方面發揮著關鍵作用。干涉儀是一種用于測量光波或其他波動現象的儀器，利用干涉原理來分析波的特性?；⑶饏^附近雙頻激光干涉儀哪家好

雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等。工業園區通用雙頻激光干涉儀量大從優

（3）數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償 現在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統用自準直儀和多面體的方法不僅節約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉軸精度曲線，知曉其精度的每一細節，并給出按相關標準處理的統計結果。（4）雙軸定位精度的檢測及其自動補償 雷尼紹雙激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床，由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。工業園區通用雙頻激光干涉儀量大從優

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