B.4.2.2送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)速測(cè)點(diǎn)距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm。測(cè)點(diǎn)數(shù)量應(yīng)足以測(cè)定潔凈室和潔凈區(qū)的送風(fēng)量，測(cè)點(diǎn)數(shù)量取測(cè)量面積(以平方米計(jì))10倍的平方根,且不少于4個(gè)測(cè)點(diǎn)。每只過濾器或每臺(tái)風(fēng)機(jī)-過濾單元(FFU)的出風(fēng)面上至少要有一個(gè)測(cè)點(diǎn)。可使用軟簾阻擋對(duì)單向流的干擾。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點(diǎn)的測(cè)量時(shí)間應(yīng)足夠長。對(duì)多個(gè)測(cè)點(diǎn)而言,應(yīng)記錄風(fēng)速測(cè)量平均時(shí)間。B.4.2.2送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)速測(cè)點(diǎn)距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm。測(cè)點(diǎn)數(shù)量應(yīng)足以測(cè)定潔凈室和潔凈區(qū)的送風(fēng)量，測(cè)點(diǎn)數(shù)量取測(cè)量面積(以平方米計(jì))10倍的平方根,且不少于4個(gè)測(cè)點(diǎn)。每只過濾器或每臺(tái)風(fēng)機(jī)-過濾單元(FFU)的出風(fēng)面上至少要有一個(gè)測(cè)點(diǎn)。可使用軟簾阻擋對(duì)單向流的干擾。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點(diǎn)的測(cè)量時(shí)間應(yīng)足夠長。對(duì)多個(gè)測(cè)點(diǎn)而言,應(yīng)記錄風(fēng)速測(cè)量平均時(shí)間。溫濕度波動(dòng)范圍的控制對(duì)于某些敏感產(chǎn)品的生產(chǎn)至關(guān)重要。廣東實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)

(1)凈化處理原則：能用局部?jī)艋膱?chǎng)合，就盡可能不用凈化；或低級(jí)別的凈化高級(jí)別的局部?jī)艋嘟Y(jié)合。避免把需要凈化的環(huán)境分割成較小的空間，這樣做雖然有利于控制污染，但這也造成平面復(fù)雜化、增加造價(jià)、作業(yè)程序不易改變、人員流動(dòng)不方便，以及小房間造成人們心理上的不快。(2)由于氣流分布的不均勻和塵粒分布等不均勻性，潔凈室的微粒實(shí)際上是不均勻分布的，較為典型的三區(qū)不均勻分布模型，即分為主流區(qū)、渦流區(qū)和回風(fēng)口區(qū)。主流區(qū)含區(qū)含塵濃度可比室平均濃度低30%到一半。建議把工藝布置在主流區(qū)內(nèi)。(3)主要工藝可盡量布置于送風(fēng)管上風(fēng)段，上風(fēng)段相對(duì)來說，潔凈程度比下風(fēng)段要好表2為某10萬級(jí)潔凈車間內(nèi)沿一條送風(fēng)管走向設(shè)置的六個(gè)測(cè)點(diǎn)檢測(cè)結(jié)果(空態(tài)下)，測(cè)點(diǎn)l~6由上風(fēng)段依次向下，可以看出，各點(diǎn)塵粒數(shù)有較大區(qū)別當(dāng)然，其中也有送風(fēng)管上各送風(fēng)口風(fēng)量沒有較好調(diào)節(jié)的原因，但這種較大區(qū)別的可能還是不可忽視。浙江生物安全柜檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)檢測(cè)報(bào)告應(yīng)包括檢測(cè)結(jié)果、問題分析、改進(jìn)措施及建議等內(nèi)容。

4.2.2潔凈廠房的平面和空間設(shè)計(jì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)要求。潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房應(yīng)分區(qū)布置,并應(yīng)與生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施進(jìn)行綜合協(xié)調(diào)。4.2.3潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)少設(shè)隔間,但在下列情況下應(yīng)進(jìn)行分隔:1按生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類,甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間,或有防火分隔要求者。2按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝需要有分隔要求時(shí)。3生產(chǎn)聯(lián)系少,并經(jīng)常不同時(shí)使用的兩個(gè)生產(chǎn)區(qū)段之間。4.2.4在滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)要求的條件下,潔凈廠房?jī)?nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施的布置,應(yīng)優(yōu)先考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求。固定技術(shù)設(shè)施包括送風(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、各種管線等。

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對(duì)于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。潔凈室檢測(cè)數(shù)據(jù)應(yīng)與其他質(zhì)量控制數(shù)據(jù)相結(jié)合，綜合分析。

a.首先應(yīng)對(duì)測(cè)試儀器、培養(yǎng)皿表面進(jìn)行嚴(yán)格消毒，采樣器進(jìn)入被測(cè)房間時(shí)，先用消毒房間的消毒劑滅菌。用于5級(jí)潔凈房間的采樣器宜一直放在潔凈房間。b.采樣者應(yīng)穿戴潔凈服雙手要消毒。c.開動(dòng)真空泵抽氣使儀器中的殘余消毒劑蒸發(fā)時(shí)間不少于5min，并調(diào)好流量轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速。關(guān)閉真空泵放入培養(yǎng)皿蓋好蓋子后調(diào)節(jié)采樣器。d.置采樣口于采樣點(diǎn)后依次開啟采樣器、真空泵、轉(zhuǎn)動(dòng)定時(shí)器、根據(jù)采樣量選定采樣時(shí)間。全部采樣結(jié)束后，將培養(yǎng)皿倒置于30-35℃恒溫培養(yǎng)箱中，培養(yǎng)時(shí)間不少于48h。e.用肉眼直接計(jì)數(shù)，然后用5-10倍放大鏡檢查是否有遺漏，若平板上有兩個(gè)或兩個(gè)以上的菌落重疊分辨時(shí)，仍以兩個(gè)或兩個(gè)以上菌落計(jì)數(shù)。主要工作室一般照明的照度值宜為3001x。廣東實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)

根據(jù)潔凈室的等級(jí)，合理選擇潔凈室的氣流分布流型。廣東實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)

單向流潔凈室的流動(dòng)狀態(tài)從雷諾數(shù)看是湍流，所以所謂層流潔凈室中的層流和流體力學(xué)中的層流是完全不同的概念。因此，層流潔凈室一詞是不恰當(dāng)?shù)模瑖獾囊恍?biāo)準(zhǔn)和文章也指出了這一點(diǎn)。例如，英國標(biāo)準(zhǔn)BS-5295曾將所謂的層流潔凈室定義為單向流潔凈室。層流在括號(hào)中表示。原聯(lián)邦德國標(biāo)準(zhǔn)VDl-2083使用“非湍流置換流”一詞，并在注釋中指出層流的概念只是為了區(qū)分比層流更早出現(xiàn)的湍流(turbulent)流潔凈室整理房間。在當(dāng)時(shí)使用的成語中，“層流系統(tǒng)”的確切含義不是分層流，而是湍流的置換流。本章提到的概念是湍流的漸進(jìn)流。在流體力學(xué)中，這種流動(dòng)狀態(tài)也可以稱為平行流動(dòng)或單向流動(dòng)。1977年，我國在《清潔空氣技術(shù)措施》中選擇了“平行流”一詞，并指出習(xí)慣上在該詞后稱其為“層流”。廣東實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)