隨著生產(chǎn)工藝對(duì)純水水質(zhì)的不斷提高，甚至到了理論純水的程度，尤其是集成電路的發(fā)展不但對(duì)水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴(yán)格，而且對(duì)細(xì)菌、微粒、有機(jī)物及溶解氧等都有極其嚴(yán)格的要求；醫(yī)藥工業(yè)中要求供應(yīng)的注射用水，對(duì)水中含菌量、熱源均有嚴(yán)格要求。除了嚴(yán)格的純水制造過(guò)程外，純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設(shè)計(jì)是保證使用點(diǎn)水質(zhì)的關(guān)鍵。實(shí)踐證明，采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū)，以減少純水在管道內(nèi)的停留時(shí)間，減少管道材料微量溶出物(即使目前質(zhì)量比較好的管道也會(huì)有微量物質(zhì)溶出)對(duì)超純水水質(zhì)的影響，同時(shí)，基于流水不腐的道理，高的流速也可以防止細(xì)菌微生物的滋生。潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應(yīng)穿越無(wú)關(guān)的房間。江蘇潔凈度潔凈室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)

7.1.1潔凈廠房?jī)?nèi)各潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級(jí)，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū)）空氣潔凈度等級(jí)和電子產(chǎn)品工藝特點(diǎn)的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開(kāi)設(shè)置：1運(yùn)行班次或使用時(shí)間不同；2生產(chǎn)過(guò)程中散發(fā)的物質(zhì)對(duì)其他工序、設(shè)備交叉污染，對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響；3對(duì)溫、濕度控制要求差別大；4潔凈室(區(qū)）內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊；5凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)，6系統(tǒng)風(fēng)量過(guò)大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。無(wú)塵室3Q驗(yàn)證潔凈室檢測(cè)值得推薦無(wú)菌室，亦稱為凈化室或潔凈室，是一種專門設(shè)計(jì)用于控制環(huán)境污染的封閉空間。

9.5.4潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有和火災(zāi)危險(xiǎn)場(chǎng)所的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。9.5.5防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)分別按不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個(gè)房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán)。在防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間電阻值應(yīng)小于0.1Ω2。9.5.6潔凈廠房?jī)?nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應(yīng)單獨(dú)絕緣敷設(shè)，并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜。9.5.7接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時(shí)接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω；選擇分散接地方式時(shí)，各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠(yuǎn)離防雷接地系統(tǒng)的接地體，兩者應(yīng)保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50057的有關(guān)規(guī)定。

潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類生產(chǎn)設(shè)備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型、空氣潔凈度等級(jí)的保持密切相關(guān)，所以本規(guī)范規(guī)定：在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴(yán)格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠(yuǎn)離出人口和可能干擾氣流的場(chǎng)所設(shè)置，并宜布置在上風(fēng)側(cè)；空氣潔凈度等級(jí)要求相同的工序或工作室相對(duì)集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室（區(qū)）內(nèi)布置的基本要求。另外，由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快，電子工廠在實(shí)際生產(chǎn)中，在線維修及調(diào)試、邊生產(chǎn)邊增加設(shè)備擴(kuò)大生產(chǎn)能力的情況很多，因此在做工藝布局時(shí)，應(yīng)根據(jù)具體情況，考慮這些因素，留出相應(yīng)的運(yùn)作空間。為避免不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應(yīng)技術(shù)措施，如人的聯(lián)系應(yīng)采用氣閘室或空氣吹淋室；大物件的運(yùn)送也可以采用氣閘室，一般物件的運(yùn)送可采用傳遞窗；穿越隔墻的管線應(yīng)采用可靠氣密措施等。潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的，潔凈室設(shè)計(jì)必須滿足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求，這是理所當(dāng)然的。

10.3.1潔凈廠房?jī)?nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1供氣規(guī)模應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計(jì)入必要損耗量確定，并應(yīng)設(shè)有一定的備用供氣量；2供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定；3供氣系統(tǒng)可集中設(shè)置在潔凈廠房?jī)?nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動(dòng)力站；4應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備，宜選用無(wú)油潤(rùn)滑空氣壓縮機(jī)，5含水量要求嚴(yán)格時(shí)，宜選用加熱再生吸附干燥裝置。送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。北京排風(fēng)柜潔凈室檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)

管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施。江蘇潔凈度潔凈室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)

C.1.1檢測(cè)目的檢測(cè)的目的是確認(rèn)過(guò)濾系統(tǒng)安裝正確，使用過(guò)程中無(wú)滲漏發(fā)生，不要將已裝過(guò)濾器系統(tǒng)的檢漏與過(guò)濾器出廠時(shí)的效率檢測(cè)混為一談，過(guò)濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過(guò)檢漏雨測(cè)試。此項(xiàng)檢測(cè)用于驗(yàn)證過(guò)濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏；確認(rèn)過(guò)濾系統(tǒng)下風(fēng)向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計(jì)潔凈度。C.1.2檢測(cè)過(guò)程檢測(cè)中，在過(guò)濾器的上風(fēng)向注入氣溶膠，在下風(fēng)向緊靠過(guò)濾器的安裝框架的地方掃描，或在風(fēng)管中的過(guò)濾器下風(fēng)向采樣。檢漏包括濾材、過(guò)濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個(gè)過(guò)濾系統(tǒng)。已裝過(guò)濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進(jìn)行，且該項(xiàng)檢測(cè)是在新建潔凈室調(diào)試時(shí)，或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測(cè)時(shí)，或更換了末端過(guò)濾器之后進(jìn)行。江蘇潔凈度潔凈室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)