1管道連接應采用焊接，熱鍍鋅鋼管應采用螺紋連接。2不銹鋼管應采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接；高純氣體管道宜采用內壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設備的連接應符合設備的連接要求。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應符合下列規定：1螺紋或法蘭連接處的密封材料應根據輸送物料性質、設計工況選擇，宜采用聚四氟乙烯等。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應按生產工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套。8.3.4潔凈室(區)內的工業管道應根據管子表面溫度和環境溫度、濕度確定保溫形式和構造。冷管道保溫后的外表面溫度不應低于環境的**溫度。保溫層外表面應采用不產生塵粒、微生物的材料，并應平整、光潔，宜采用金屬外殼保護。管道系統應設必需的吹除口、放凈口和取樣口。氣流潔凈室檢測范圍

隨著生產工藝對純水水質的不斷提高，甚至到了理論純水的程度，尤其是集成電路的發展不但對水中電解質的含量要求極其嚴格，而且對細菌、微粒、有機物及溶解氧等都有極其嚴格的要求；醫藥工業中要求供應的注射用水，對水中含菌量、熱源均有嚴格要求。除了嚴格的純水制造過程外，純水輸送管道的管材選擇和管網設計是保證使用點水質的關鍵。實踐證明，采用循環供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內的流速和盡量減少不循環段的死水區，以減少純水在管道內的停留時間，減少管道材料微量溶出物(即使目前質量比較好的管道也會有微量物質溶出)對超純水水質的影響，同時，基于流水不腐的道理，高的流速也可以防止細菌微生物的滋生。江蘇壓縮空氣檢測潔凈室檢測頻率不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。

1凈鞋的目的在于保護人員凈化用室入口處不致受到嚴重污染。國內多數潔凈廠房人員入口處設有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。為了保護人員凈化用室的清潔，**徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去，換上清潔鞋或鞋**有潔凈廠房工作人員都執行更衣前換鞋的制度，其中不少潔凈廠房對換鞋方式作了周密考慮，換鞋設施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面要有明確的區分，避免了清潔鞋被外出鞋污染，如跨越鞋柜式換鞋，清潔平臺上換鞋等都有很好的效果。

C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統安裝正確，使用過程中無滲漏發生，不要將已裝過濾器系統的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談，過濾器出廠前應經過檢漏雨測試。此項檢測用于驗證過濾系統不存在影響設施潔凈狀況的滲漏；確認過濾系統下風向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中，在過濾器的上風向注入氣溶膠，在下風向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風管中的過濾器下風向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內的整個過濾系統。已裝過濾系統的檢漏只在“空態”或“靜態”下進行，且該項檢測是在新建潔凈室調試時，或現有設施需要再檢測時，或更換了末端過濾器之后進行。設置在同一潔凈室內的高效（亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應相近。

4.2.2因生產工藝的不同，潔凈廠房內常有多種氣體、液體供應管道，如氫、氧、氮、氬、壓縮空氣和純水、上水等管道，以及電氣管線、凈化空調系統的送回風管和局部排風管等，管線交叉復雜。因此，在進行管線綜合布置時，必須在平面和標高上密切配合，綜合考慮，才能做到安裝、調試、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀。對國內已建成的潔凈廠房調研中，了解到為布置各種管道和高效過濾器等一般均設置了技術夾層或技術夾道，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術夾層設計得過高是不經濟的。改建工程由于空間較小，管線布置比較緊湊，但如果布置合理，效果也是不錯的。因此，在進行管線綜合布置設計和確定技術夾層層高時，應進行技術經濟比較，做到技術上可靠，經濟上合理。有足夠的風量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩定的氣流流型。北京半導體凈化車間潔凈室檢測誠信推薦

潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型，以在局部區域（單向流部分）實現高級別的潔凈室。氣流潔凈室檢測范圍

5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)時，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區)內的設備宜選用低噪聲產品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時，應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區)應設置對電子產品生產過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。5.5.5潔凈室（區）內，電子產品生產過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器，應符合下列規定：1制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發污染物、防靜電，并在空氣中不應被氧化；2應密封性能好；3當存放物有嚴格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣；4構造、外形應滿足生產工藝要求，并應方便操作和運送。氣流潔凈室檢測范圍