晶片缺陷檢測儀是一款基于光學和機械技術的精密分析儀器,主要用于晶圓制造過程中表面顆粒、劃痕、凹坑和微管缺陷的分析檢測 [1]。該設備采用405nm光學系統與多頻道探測器組合技術,可檢測顆粒、劃痕、凹坑及微管等缺陷類型,并配備2至6英寸夾具適配不同規格晶片。其自動化功能包含機械手臂傳輸和自動對焦系統,提升了檢測效率和精度。截至2021年1月,該設備主要技術參數包括 [1]:1.采用405nm波長的光學系統,提升表面微小缺陷的識別能力;檢查是在元件貼放在板上錫膏內之后和PCB送入回流爐之前完成的。虎丘區附近自動化缺陷檢測設備銷售廠
2D x-ray圖8當應用2D x-ray技術時,所有的器件都需要被布置在 PCB的正面。而用2Dx-ray去檢測這些器件時,還必須再定 義出一塊沒有器件的地方為“禁區”。對于有些BGAs,會 推薦使用一種淚滴型的不對稱焊盤設計,這使得焊錫的成 型性質被系統錯誤的判斷為一種幾何的連接形態;此外, 一些特殊的QFN向內或向外的彎月型焊盤設計也同樣有這種情況。QFN 焊盤設計QFN器件的焊盤尺寸、焊膏印 刷面積與它的引腳尺寸是同樣大小 的,而且器件的引腳是交錯排列在 封裝體底部的(圖8)。蘇州銷售自動化缺陷檢測設備銷售價格每塊PCB可以采用光學或者X-ray技術并運用適當 的運算法則來進行檢查。
例如,根據回波信號的特點和探傷現場的干擾狀況,選擇不同的濾波器結構、參數和不同的實時報警策略,這充分體現了虛擬儀器的優點。 [2]高速A /D 及數字檢波技術超聲波缺陷信號時基時間寬度一般為0. 6~2. 0μs,上升測時間為10~ 40ns ,為了達到不失真采樣,對5M Hz工作頻率的超聲波探頭,至少需要40~60M Hz的采樣速度。傳統的數字化探傷設備,由于A /D采樣速度的限制,采樣前需要模擬包絡檢波。這導致了超聲波缺陷回波的細節失真,降低了對缺陷的分辨力。另外,由于全波或半波檢波,導致高增益時出現基線抬高的問題,影響了系統性能指標。
超聲波探傷超聲波在介質中傳播時有多種波型,檢驗中**常用的為縱波、橫波、表面波和板波。用縱波可探測金屬鑄錠、坯料、中厚板、大型鍛件和形狀比較簡單的制件中所存在的夾雜物、裂縫、縮管、白點、分層等缺陷;用橫波可探測管材中的周向和軸向裂縫、劃傷、焊縫中的氣孔、夾渣、裂縫、未焊透等缺陷;用表面波可探測形狀簡單的鑄件上的表面缺陷;用板波可探測薄板中的缺陷。如圖《DAUTD系統組成結構》給出一個基于PC-DSP的數字化超聲波自動探傷系統( DAUTD)的系統結構。整個系統由探頭陣列、機械傳動裝置、傳動控制卡、4× 4模擬通道處理板、電源控制與同步觸發板、數字信號處理板、工控機及其外設組成。決定哪里放置AOI需要認識到元件丟失可能是其它原因下發生的,這些原因必須放在檢查計劃內。
在優化階段,在這方面花時間的原因是為了不讓任何缺陷溜過去。所有已知的缺陷都必須檢查,同時要把允許出現的誤報數量做到**小。在針對減少誤報而對任何程序進行調整時,要檢查一下,看看以前檢查出來的真正缺陷,是否得到維修站的證實。通過綜合的核實,保證檢查程序的質量,用于專門的制造和核查,同時對誤報進行追蹤。無鉛和檢測工藝適應性程序沒有發現轉到無鉛會對焊點質量的檢查帶來什么影響。缺陷看上去還是一樣的。毫無疑問,只需要稍微修改一下數據庫,就足以排除其他誤報可能會帶來的影響。AOI是新興起的一種新型測試技術,但發展迅速,很多廠家都推出了AOI測試設備。張家港直銷自動化缺陷檢測設備銷售價格
這是一個典型地放置檢查機器的位置,因為這里可發現來自錫膏印刷以及機器貼放的大多數缺陷。虎丘區附近自動化缺陷檢測設備銷售廠
系統采用DSP系統可以實現高速數據采集、自動增益控制、實時門限報警、傳動設備控制等問題; 采用標準的工控機,是吸收了虛擬儀器的思想,以便實現多通道的智能化管理,以及波形顯示、數據分析、用戶可視化操作、探傷報告打印。主從機之間通過PC機并口和DSP主機接口實現數據傳輸。 [2]模擬部分DAUTD的模擬部分包括超聲波收發電路、數控放大/衰減器、可控模擬濾波器陣列。超聲波收發電路采用600V、400V負脈沖激勵; 增益控制電路由一級固定20dB 放大, 二級壓控放大器提供- 20~ + 60dB 的衰減和放大, 則整個系統增益設計為80dB, **小步進0. 1dB; 可控濾波器設定為多種寬帶濾波模式, 如0~ 15M Hz、2~ 20M Hz 等, 比較高工作頻段為20M Hz。 [2虎丘區附近自動化缺陷檢測設備銷售廠
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