真空閥可以根據(jù)其工作原理、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、應(yīng)用領(lǐng)域等多種方式分類。以下是一些常見的分類方法：1.按工作原理分類：o機(jī)械式真空閥：通過機(jī)械運(yùn)動來控制真空環(huán)境的開關(guān)。o電磁式真空閥：利用電磁力來驅(qū)動閥門的開啟和關(guān)閉。o氣動式真空閥：使用壓縮空氣或氣體作為動力源來控制閥門動作。o熱導(dǎo)式真空閥：利用熱導(dǎo)原理，通過加熱或冷卻來控制真空度。2.按結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分類：o直通式真空閥：流體通道為直線型，適用于高真空系統(tǒng)。o角式真空閥：流體通道呈90度彎曲，常用于空間受限的場合。o三通式真空閥：具有三個接口，可以實(shí)現(xiàn)流體的分流或合流。o多通路真空閥：具有多個通道，適用于復(fù)雜的真空系統(tǒng)。3.按應(yīng)用領(lǐng)域分類：o半導(dǎo)體行業(yè)真空閥：用于半導(dǎo)體制造過程中的真空環(huán)境控制。o化工行業(yè)真空閥：適用于化工生產(chǎn)中的真空過濾、蒸餾等過程。o真空鍍膜用真空閥：在真空鍍膜設(shè)備中用于控制真空度。o實(shí)驗(yàn)室真空閥：用于實(shí)驗(yàn)室真空環(huán)境的搭建和維持。4.按控制方式分類：o手動真空閥：通過手動操作來控制閥門的開關(guān)。微泰控制系統(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門。控制系統(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用。UHV閘閥角控制閥

閘閥工作原理：閘閥是只能做全開或者全關(guān)的，不能作為調(diào)節(jié)流量的閥門使用。它的工作原理就是閘板隨閥桿一起作上升和下降做直線運(yùn)動，閥桿上有梯形螺紋，通過閥門頂端的螺母以及閥體上的導(dǎo)槽，來實(shí)現(xiàn)閥桿的上下運(yùn)動，閥桿帶動閘板運(yùn)動。閘板的運(yùn)動方向與管道流體介質(zhì)方向是垂直的。閘閥的開啟：閘閥的完全開啟的狀態(tài)在運(yùn)行時，是無法查看的，尤其是對于暗桿閘閥來說。明桿閘閥的開啟狀態(tài)可以觀察外露出來的閥桿位置來判斷，暗桿閘閥一般則以開不動為止作為完全開啟的標(biāo)志。但考慮到可能因?yàn)闇囟茸兓霈F(xiàn)鎖死，一般閘閥開到頭，即開不動位置時，再回轉(zhuǎn)大概1/2圈，作為閘閥全開的位置。閘閥的關(guān)閉：閘閥在關(guān)閉后，可以有自密封和強(qiáng)制密封兩種形式，自密封就是說密封面可以只依靠介質(zhì)壓力來密封。但大部分閘閥的閘閥還是使用強(qiáng)制密封的，就是說閘閥的閘板關(guān)閉時，要依靠外力將閘板強(qiáng)行壓向閥座，來保證密封面的密封性能。通常閘閥的密封性能是好于蝶閥的。真空閘閥英菲尼亞半導(dǎo)體金屬閥體襯里高壓閥門主要有襯膠閥門、襯氟閥門、襯鉛閥門、襯塑閥門、襯搪瓷閥門。

性能區(qū)別截止閥既可以做截?cái)嗍褂茫梢宰隽髁空{(diào)節(jié)使用。截止閥的流體阻力比較大，啟閉時比較費(fèi)力，但因?yàn)殚y板距離密封面距離短，所以啟閉行程短。閘閥因?yàn)橹荒苋_和全關(guān)，它在完全打開時，閥體通道內(nèi)的介質(zhì)流動阻力幾乎為0，所以閘閥的啟閉會非常省力，但閘板距離密封面距離遠(yuǎn)，啟閉時間長。安裝和流向閘閥流向兩個方向效果都一樣，安裝沒有進(jìn)出口方向的要求，介質(zhì)可以雙向流通。截止閥則需要嚴(yán)格按照閥體箭頭標(biāo)識的方向進(jìn)行安裝，關(guān)于截止閥進(jìn)出口方向還有個明文規(guī)定，我國閥門“三化給”規(guī)定截止閥的流向一律采用自上而下。截止閥是低進(jìn)高出，從外觀看有明顯的管道不在一相水平線上。閘閥流道在一個水平線上。閘閥的行程比截止閥的要大。

閥門是在流體系統(tǒng)中，用來控制流體的方向、壓力、流量的裝置，是使配管和設(shè)備內(nèi)的介質(zhì)（液體、氣體、粉末）流動或停止并能控制其流量的裝置。 閥門是管路流體輸送系統(tǒng)中控制部件，用來改變通路斷面和介質(zhì)流動方向，具有導(dǎo)流、截止、節(jié)流、止回、分流或溢流卸壓等功能。用于流體控制的閥門，從簡單的截止閥到極為復(fù)雜的自控系統(tǒng)中所用的各種閥門，其品種和規(guī)格繁多， 閥門的公稱通徑從極微小的儀表閥大至通徑達(dá)10m的工業(yè)管路用閥。可用于控制水、蒸汽、油品、氣體、泥漿、各種腐蝕性介質(zhì)、 液態(tài)金屬和放射性流體等各種類型流體地流動 ，閥門的工作壓力可以從0.0013MPa到1000MPa 的超高壓，工作溫度可以c-270℃到1430℃的高溫。控制系統(tǒng)閘閥。控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥，以滑動方式操作，可以在高真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制。

真空閘閥的工作原理真空閘閥的工作原理是通過旋轉(zhuǎn)閥桿來驅(qū)動閥瓣的開啟和關(guān)閉，從而控制流體介質(zhì)的流通。在關(guān)閉狀態(tài)下，閥瓣緊密貼合閥座，形成真空密封，防止氣體泄漏。在開啟狀態(tài)下，閥瓣離開閥座，流體介質(zhì)得以通過。真空閘閥的開關(guān)動作通常通過手動、電動或氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)，以滿足不同應(yīng)用場景的需求。真空閘閥的應(yīng)用領(lǐng)域真空閘閥廣泛應(yīng)用于各種真空系統(tǒng)和工藝過程中，如半導(dǎo)體生產(chǎn)、電子設(shè)備制造、科研實(shí)驗(yàn)、航空航天等領(lǐng)域。在這些領(lǐng)域中，真空閘閥發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，能夠確保真空系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性，提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。這些真空閥可以手動、氣動或電子方式驅(qū)動，從而可以根據(jù)具體應(yīng)用進(jìn)行多功能控制。UHV閘閥HV GATE VALVE

高壓閘閥按閥桿螺紋的位置分外螺紋式、內(nèi)螺紋式、法蘭、焊接等。按介質(zhì)的流向分，有直通式、直流式和角式。UHV閘閥角控制閥

閘閥的優(yōu)點(diǎn)（1）流體阻力小因?yàn)殚l閥閥體內(nèi)部介質(zhì)通道是直通的，介質(zhì)流經(jīng)閘閥時不改變其流動方向，所以流體阻力小。（2）啟閉力矩小，開閉較省力因?yàn)殚l閥啟閉時閘板運(yùn)動方向與介質(zhì)流動方向相垂直、與截止閥相比，閘閥的啟閉較省力。（3）介質(zhì)流動方向不受限制，不擾流、不降低壓力介質(zhì)可從閘閥兩側(cè)任意方向流過、均能達(dá)到使用的目的。更適用于介質(zhì)的流動方向可能改變的管路中。（4）結(jié)構(gòu)長度較短因?yàn)殚l閥的閘板是垂直置于閥體內(nèi)的，而截止閥閥瓣是水平置于閥體內(nèi)的，因而結(jié)構(gòu)長度比截止閥短。（5）密封性能好全開時密封面受沖蝕較小。（6）全開時，密封面受工作介質(zhì)的沖蝕比截止閥小。（7）體形比較簡單，鑄造工藝性較好，適用范圍廣。UHV閘閥角控制閥