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CVD閘閥插板閥

來源: 發布時間:2024-10-12

微泰半導體主加工設備腔內精確壓力控制的閘閥,控制系統閘閥,控制閘閥、控制系統插板閥、控制系統閘閥具有可隔離的閘閥,以滑動方式操作,可以在高真空環境中實現精確的壓力控制。如半導體等高真空工藝應用。控制系統閘閥是自動控制到用戶指定的值,通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力。微泰半導體閘閥被廣泛應用于 Evaporation(蒸發)、Sputtering(濺射)、Diamond growth by MW-PACVD(通過 MW-PACVD 生長金剛石)、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對卷)、Coating(涂層)、Etch(蝕刻)、Diffusion(擴散)、CVD(化學氣相沉積)等設備上,可替代 HVA 閘閥、VA T閘閥。有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業績。該閘閥由上海安宇泰環保科技有限公司提供。正確安裝、定期維護以及遵守制造商指南對于這些閥門的性能發揮和使用壽命至關重要。CVD閘閥插板閥

閘閥

微泰,專門用閘閥應用于? Evaporation? Sputtering? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating? Etch? Diffusion(擴散)?CVD等設備上。可替代VAT閘閥。期特點是*使用維修配件工具包易于維護*將電磁閥和位置傳感器連接到15針D-Sub*鎖定功能*限位開關*?速度控制器&電磁閥(2Port+N2Port)用不銹鋼管連接(φ6)*應用:泵隔離,產品工藝水平要求高的地方。專門用閘閥規格如下:驅動方式:氣動、法蘭尺寸:4英寸~ 8英寸、法蘭類型:ISO, JIS, ASA, CF、連接方式:焊接波紋管、閥門密封:氟橡膠O型圈/Kalrez O型環/EPDM、閥蓋密封:Viton O型圈、響應時間:≤ 0.3 sec ~2 sec、操作壓力范圍:1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、開始時的壓差:≤ 30 mbar、閘門的差動壓力:4? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar、泄漏率:< 1×10 -10 Mbar/秒、初次維護前可用次數:200,000次、閥體溫度≤ 200 °、CTemperature for Actuator≤ 80 °C、烤爐溫度≤ 150 °C、材料:閥體(不銹鋼304)/驅動器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置:任意、操作壓力(N2):4 ~ 7 bar。有中國臺灣Micron、UMC、AKT、Micron,Global Foundries、英菲尼亞半導體、日本Micron、三星半導體業績。


極高真空閘閥法蘭閘閥真空閘閥的密封裝置確保關閉時的高真空完整性,防止泄漏并維持腔室內的真空壓力。

CVD閘閥插板閥,閘閥

真空閥可以根據其工作原理、結構特點、應用領域等多種方式分類。以下是一些常見的分類方法:1.按工作原理分類:o機械式真空閥:通過機械運動來控制真空環境的開關。o電磁式真空閥:利用電磁力來驅動閥門的開啟和關閉。o氣動式真空閥:使用壓縮空氣或氣體作為動力源來控制閥門動作。o熱導式真空閥:利用熱導原理,通過加熱或冷卻來控制真空度。2.按結構特點分類:o直通式真空閥:流體通道為直線型,適用于高真空系統。o角式真空閥:流體通道呈90度彎曲,常用于空間受限的場合。o三通式真空閥:具有三個接口,可以實現流體的分流或合流。o多通路真空閥:具有多個通道,適用于復雜的真空系統。3.按應用領域分類:o半導體行業真空閥:用于半導體制造過程中的真空環境控制。o化工行業真空閥:適用于化工生產中的真空過濾、蒸餾等過程。o真空鍍膜用真空閥:在真空鍍膜設備中用于控制真空度。o實驗室真空閥:用于實驗室真空環境的搭建和維持。4.按控制方式分類:o手動真空閥:通過手動操作來控制閥門的開關。

微泰,三重防護閘閥、三防閘閥,應用于? Evaporation? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過MW-PACVD生長金剛石)? PECV? PVD? 涂層? Etch? Diffusion?CVD(化學氣相沉積)等設備上。可替代VAT閘閥。微泰三重防護閘閥、三防閘閥其特點是? 閥門控制器(1CH ~ 4CH)? 應用:半導體生產線中粉末和氣體等副產品的處理,防止回流。三重防護閘閥、三防閘閥規格如下:操作:氣動、法蘭尺寸(內徑) 2.5? ~ 10?、法蘭類型ISO,KF、連接方式:焊接波紋管、閥門密封:氟橡膠O型環/Kalrez O型環、閥蓋密封:Viton O型圈、響應時間:≤ 0.3 sec ~ 0.6 sec、操作壓力范圍: 1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar 8? ~ 10? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar、閘門上的壓差; 1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 10? ≤ 1200 mbar、泄漏率:< 1×10-10 mbar ?/sec、維護前可用次數:200,000次、閥體溫度≤ 200 °、機構溫度≤ 80 °C、烤爐溫度≤ 150 °C、材料:閥體(不銹鋼304)/驅動器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置:任意、操作壓力(N2):4 ~ 7 bar。有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業績,上海安宇泰環保科技有限公司。閘閥通過閥座和閘板接觸進行密封,通常密封面會堆焊金屬材料以增加耐磨性。

CVD閘閥插板閥,閘閥

微泰半導體閘閥的特點:插板閥主滑閥的球機構方式-在量產工藝設備上的性能驗證-由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成,陶瓷和金屬觸摸驅動無顆粒-已向中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron、三星半導體和其它的設備,設備廠批量供貨,已得到品質認可,已完成對半導體Utility設備和批量生產設備的驗證,而其他廠家閘閥金屬和金屬觸摸驅動產生大量顆粒。使用鋼陶瓷球,與金屬摩擦時不會損壞,金屬與陶瓷球之間不會產生Particle,半永久板簧(SUS鋼板)的應用確保閥門驅動同步性,采用了固定球導向器和鋼陶瓷。微泰半導體閘閥應用于? Evaporation(蒸發)? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過MW-PACVD生長金剛石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對卷)? Coating(涂層)? Etch(蝕刻)? Diffusion(擴散)?CVD(化學氣相沉積)等設備上。可替代HVA閘閥、VAT閘閥。上海安宇泰環保科技有限公司。高壓閘閥只許介質單向流動,安裝時有方向性。它的結構長度大于閘閥,同時流體阻力大。PVD閘閥UMC

真空閘閥屬于真空隔離閥類別。但是,它也有可用于控制氣流。CVD閘閥插板閥

微泰半導體主加工設備腔內精確壓力控制的閘閥,有氣動多位置閘閥(氣動多定位閘閥、多定位插板閥、Pneumatic Multi Position)、氣動(鎖定)閘閥和手動(鎖定)閘閥,蝶閥,Butterfly Valve,步進電機插板閥Stepper Motor Gate Valve,加熱插板閥(加熱閘閥Heating gate valve),鋁閘閥(AL Gate Valve),三重防護閘閥,應用于? Evaporation(蒸發)? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過MW-PACVD生長金剛石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對卷)? Coating(涂層)? Etch(蝕刻)? Diffusion(擴散)?CVD(化學氣相沉積)等設備上。有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業績。CVD閘閥插板閥

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