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鋁閘閥TRANSFER VALVE

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-08-27

微泰的傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體 PVD CVD 設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門(mén)系統(tǒng),起著將工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的關(guān)鍵作用,就像一條溝槽。這些閥門(mén)能極大程度地減少閘板開(kāi)閉時(shí)造成的真空壓力變化,使腔室內(nèi)的真空壓力得以穩(wěn)定維持。負(fù)責(zé)門(mén)控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥分為 I 型和 L 型兩種。其產(chǎn)品范圍包括多種尺寸規(guī)格,如 32 x 222、46 x 236、50 x 336、56 x 500 等。維護(hù)前使用周期可達(dá) 100 萬(wàn)次,響應(yīng)時(shí)間為 2 秒,并可根據(jù)客戶(hù)要求定制法蘭。這些轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品有鋁制或不銹鋼制兩種,用于傳輸晶圓小于 450 毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室。I 型的特點(diǎn)是葉片能在垂直方向上快速移動(dòng),保證腔室壓力完美維持,它采用具有 LM 導(dǎo)向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機(jī)構(gòu),確保高耐用性和長(zhǎng)壽命。L 型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品則設(shè)計(jì)緊湊,易于維護(hù)。I 型和 L 型轉(zhuǎn)移閥在閘門(mén)開(kāi)啟和關(guān)閉過(guò)程中能極大限度地減少振動(dòng),且對(duì)溫度變化非常穩(wěn)定,能確保較長(zhǎng)的使用壽命。此外,它們即使長(zhǎng)時(shí)間使用,產(chǎn)生的顆粒也很少,能避免晶圓缺陷和主器件污染。微泰不斷創(chuàng)新,在壓力控制和控制閥制造方面持續(xù)努力,專(zhuān)注于真空閘閥的研發(fā)。微泰轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門(mén)系統(tǒng)。鋁閘閥TRANSFER VALVE

閘閥

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥Heating gate valve,加熱插板閥,加熱閘閥,加熱器的加熱溫度為180-200度(可通過(guò)控制器設(shè)置溫度)-規(guī)格:適用雙金屬(達(dá)到200度時(shí),斷電后溫度下降后重新啟動(dòng)),應(yīng)用于去除粉末/氣體設(shè)備。微泰,加熱閘閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating(涂層)? Etch(蝕刻)? Diffusion(擴(kuò)散)?CVD(化學(xué)氣相沉積)等設(shè)備上。加熱閘閥規(guī)格如下:驅(qū)動(dòng)方式:手動(dòng)或氣動(dòng)、法蘭尺寸:1.5英寸~ 12英寸、法蘭類(lèi)型:ISO、JIS、ASA、CF、連接方式:焊接波紋管、閥門(mén)密封:氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封:氟橡膠O型圈、響應(yīng)時(shí)間:≤ 2 sec、操作壓力范圍:1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、開(kāi)始時(shí)的壓差:≤ 30 mbar、閘門(mén)的差動(dòng)壓力:1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 12 ≤ 1200 mbar、泄漏率:< 1×10 -10 Mbar/秒、維護(hù)前可用次數(shù):200,000次、、安裝位置:任意、操作壓力(N2):4 ~ 7 bar。有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)。CVD閘閥蝶閥高壓閘閥按閥桿螺紋的位置分外螺紋式、內(nèi)螺紋式、法蘭、焊接等。按介質(zhì)的流向分,有直通式、直流式和角式。

鋁閘閥TRANSFER VALVE,閘閥

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,步進(jìn)電機(jī)插板閥Stepper Motor Gate Valve,-產(chǎn)品范圍:2.5“~10”-壓力控制-使用步進(jìn)電機(jī)Stepper Motor GV,- Product Range : 2.5” ~ 10”- Pressure Controlled- Using Stepper Motor,用步進(jìn)電機(jī)/控制器操作閥門(mén)-通過(guò)步進(jìn)電機(jī)/控制器精確控制閥門(mén)的壓力-根據(jù)產(chǎn)品的不同,控制器可以安裝在客戶(hù)需要的地方,微泰,步進(jìn)電機(jī)插板閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對(duì)卷)? Coating(涂層)? Etch(蝕刻)? Diffusion(擴(kuò)散)?CVD(化學(xué)氣相沉積)等設(shè)備上。微泰步進(jìn)電機(jī)插板閥Stepper Motor Gate Valve有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,插板閥,氣動(dòng)(鎖定)閘閥和手動(dòng)(鎖定)閘閥-按產(chǎn)品尺寸和法蘭類(lèi)型排列-ID為1.5英寸至30英寸,ISO、CF&JIS和ASA法蘭等-現(xiàn)有手動(dòng)閘閥的鎖定功能(Exist Manual GV of Locking Function)。微泰氣動(dòng)(鎖定)閘閥和手動(dòng)(鎖定)閘閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對(duì)卷)? Coating(涂層)? Etch(蝕刻)? Diffusion(擴(kuò)散)?CVD(化學(xué)氣相沉積)等設(shè)備上。有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)。微泰高壓閘閥的特點(diǎn)是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:隔離泵。

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微泰,多位閘閥,多位置閘閥,多定位閘閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對(duì)卷)? Coating(涂層)? Etch(蝕刻)? Diffusion(擴(kuò)散)?CVD(化學(xué)氣相沉積)等設(shè)備上。可替代VAT閘閥。微泰多位閘閥,多位置閘閥,多定位閘閥其特點(diǎn)是?操作模式:本地和遠(yuǎn)程?緊急情況:自動(dòng)關(guān)閉?慢速泵送功能。多位閘閥,多位置閘閥,多定位閘閥規(guī)格如下:材料:閥體 STS304, 機(jī)制 STS304、法蘭尺寸(內(nèi)徑) 4英寸~10英寸、閘門(mén)密封 FKM(VITON)、開(kāi)/關(guān)振動(dòng) 無(wú)振動(dòng)、He泄漏率1X10-9 mbar.l/sec、閘門(mén)壓差 ≤1.4 bar、分子流動(dòng)電導(dǎo)(ISO100)1891 l/s、閥座 1X10-10 mbar?L/秒、泄漏率閥體 1X10-10 mbar?L/Sec、壓力范圍 1X10-10mbar 至 1.4 bar、閘門(mén)上任一方向的壓差≤1.4 bar、安裝位置:任意。有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),上海安宇泰環(huán)保科技有限公司。 控制系統(tǒng)閘閥。控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,以滑動(dòng)方式操作,可以在高真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制。超高真空閘閥楔式閘閥

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,三重防護(hù)閘閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))等設(shè)備。鋁閘閥TRANSFER VALVE

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對(duì)卷)? Coating(涂層)? Etch(蝕刻)? Diffusion(擴(kuò)散)?CVD(化學(xué)氣相沉積)等設(shè)備上。這節(jié)介紹加熱閘閥、加熱式閘閥護(hù)套、加熱器插入式閥門(mén)。帶加熱器閘閥,加熱器插入閘閥:產(chǎn)品范圍:2~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù):20萬(wàn)次?響應(yīng)時(shí)間:0.2秒~3秒;客戶(hù)指定法蘭,加熱溫度:450℃;蝶形閥;蝶閥:產(chǎn)品范圍:DN40、DN50隔離?泄漏率:1.0E-9mbar·l/秒;有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),可替代HVA閘閥、VAT閘閥。上海安宇泰環(huán)保科技有限公司鋁閘閥TRANSFER VALVE

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