諧振式氣敏傳感器不需要對器件進行加熱，且輸出信號為頻率量，是硅微氣敏傳感器發(fā)展的重要方向之一。北京大學(xué)微電子所提出的1種微結(jié)構(gòu)氣體傳感器，由硅梁、激振元件、測振元件和氣體敏感膜組成。硅梁被置于被測氣體中后，表面的敏感膜吸附氣體分子而使梁的質(zhì)量增加，使梁的諧振頻率減小。這樣通過測量硅梁的諧振頻率可得到氣體的濃度值。對NO2氣體濃度的檢測實驗表明，在0×10～1×10的范圍內(nèi)有較好的線性，濃度檢測極限達到1×10，當工作頻率是19kHz時，靈敏度是1.3Hz/10。德國的M.Maute等人在SiNx懸臂梁表面涂敷聚合物PDMS來檢測己烷氣體，得到－0.099Hz/10的靈敏度。轉(zhuǎn)換元件將敏感元件輸出的物理量信號轉(zhuǎn)換為電信號；青浦區(qū)常見傳感器現(xiàn)貨

應(yīng)用領(lǐng)域：視覺傳感器的低成本和易用性已吸引機器設(shè)計師和工藝工程師將其集成入各類曾經(jīng)依賴人工、多個光電傳感器，或根本不檢驗的應(yīng)用。視覺傳感器的工業(yè)應(yīng)用包括檢驗、計量、測量、定向、瑕疵檢測和分撿。以下只是一些應(yīng)用范例：在汽車組裝廠，檢驗由機器人涂抹到車門邊框的膠珠是否連續(xù)，是否有正確的寬度；在瓶裝廠，校驗瓶蓋是否正確密封、裝灌液位是否正確，以及在封蓋之前沒有異物掉入瓶中；在包裝生產(chǎn)線，確保在正確的位置粘貼正確的包裝標簽；長寧區(qū)出口傳感器特點該類傳感器為正溫度系數(shù)傳感器，即傳感器阻值隨溫度的升高而增大。

在藥品包裝生產(chǎn)線，檢驗阿斯匹林藥片的泡罩式包裝中是否有破損或缺失的藥片；在金屬沖壓公司，以每分鐘逾150片的速度檢驗沖壓部件，比人工檢驗快13倍以上。位移傳感器（圖13）位移傳感器又稱為線性傳感器，把位移轉(zhuǎn)換為電量的傳感器。位移傳感器是一種屬于金屬感應(yīng)的線性器件，傳感器的作用是把各種被測物理量轉(zhuǎn)換為電量它分為電感式位移傳感器，電容式位移傳感器，光電式位移傳感器，超聲波式位移傳感器，霍爾式位移傳感器。在這種轉(zhuǎn)換過程中有許多物理量（例如壓力、流量、加速度等）常常需要先變換為位移，然后再將位移變換成電量。因此位移傳感器是一類重要的基本傳感器。

24GHz雷達RFbeam 24GHz雷達傳感器24GHz雷達傳感器采用高頻微波來測量物體運動速度、距離、運動方向、方位角度信息，采用平面微帶天線設(shè)計，具有體積小、質(zhì)量輕、靈敏度高、穩(wěn)定強等特點，***運用于智能交通、工業(yè)控制、安防、體育運動、智能家居等行業(yè)。工業(yè)和信息化部2012年11月19日正式發(fā)布了《工業(yè)和信息化部關(guān)于發(fā)布24GHz頻段短距離車載雷達設(shè)備使用頻率的通知》（工信部無〔2012〕548號），明確提出24GHz頻段短距離車載雷達設(shè)備作為車載雷達設(shè)備的規(guī)范。微型化是建立在微電子機械系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)基礎(chǔ)上的，已成功應(yīng)用在硅器件上做成硅壓力傳感器。

例如，基于半導(dǎo)體硅材料壓阻效應(yīng)的壓力傳感器、基于石英材料壓電效應(yīng)的微加速度傳感器、基于磁致伸縮材料伸縮效應(yīng)的微位移傳感器等。1.應(yīng)用于醫(yī)療MEMS傳感器應(yīng)用于無創(chuàng)胎心檢測，檢測胎兒心率是一項技術(shù)性很強的工作，由于胎兒心率很快，在每分鐘l20～160次之間，用傳統(tǒng)的聽診器甚至只有放大作用的超聲多普勒儀，用人工計數(shù)很難測量準確。而具有數(shù)字顯示功能的超聲多普勒胎心監(jiān)護儀，價格昂貴，*為少數(shù)大醫(yī)院使用，在中、小型醫(yī)院及廣大的農(nóng)村地區(qū)無法普及。此外，超聲振動波作用于胎兒，會對胎兒產(chǎn)生很大的不利作用。盡管檢測劑量很低，也屬于有損探測范疇，不適于經(jīng)常性、重復(fù)性的檢查及家庭使用。在溫度檢測精度要求比較高的場合，這種傳感器比較適用。崇明區(qū)常見傳感器推薦貨源

部分散射光返回到傳感器接收器，被光學(xué)系統(tǒng)接收后成像到雪崩光電二極管上。青浦區(qū)常見傳感器現(xiàn)貨

手機拍照帶給我們隨時隨地的便捷，但是面對復(fù)雜的環(huán)境、多樣的拍照場景，人手拍照有無法避免的抖動，像是走著跑著躺著拍照，或者把手伸長、手握自拍桿自拍，無論哪種抖動，憑借MEMS DRIVE馬達獨有的五軸防抖，和快速、精細控制的技術(shù)優(yōu)勢，都能呈現(xiàn)出更清晰更銳麗的圖片 [1]。1、微機械壓力傳感器微機械壓力傳感器是**早開始研制的微機械產(chǎn)品，也是微機械技術(shù)中**成熟、**早開始產(chǎn)業(yè)化的產(chǎn)品。從信號檢測方式來看，微機械壓力傳感器分為壓阻式和電容式兩類，分別以體微機械加工技術(shù)和**層技術(shù)為基礎(chǔ)制造。從敏感膜結(jié)構(gòu)來看，有圓形、方形、矩形、E形等多種結(jié)構(gòu)。壓阻式壓力傳感器的精度可達0.05%～0.01%,年穩(wěn)定性達0.1%/F.S，溫度誤差為0.0002%,耐壓可達幾百兆帕,過壓保護范圍可達傳感器量程的20倍以上,并能進行大范圍下的全溫補償?，F(xiàn)階段微機械壓力傳感器的主要發(fā)展方向有以下幾個方面。青浦區(qū)常見傳感器現(xiàn)貨

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