8 英寸晶圓在功率半導(dǎo)體、MEMS 等領(lǐng)域仍占據(jù)重要市場(chǎng)份額，中清航科針對(duì)這類成熟制程開發(fā)的切割設(shè)備，兼顧效率與性價(jià)比。設(shè)備采用雙主軸并行切割設(shè)計(jì)，每小時(shí)可加工 40 片 8 英寸晶圓，且通過優(yōu)化機(jī)械結(jié)構(gòu)降低振動(dòng)噪聲至 65 分貝以下，為車間創(chuàng)造更友好的工作環(huán)境，深受中小半導(dǎo)體企業(yè)的青睞。晶圓切割工藝的數(shù)字化轉(zhuǎn)型是智能制造的重要組成部分。中清航科的切割設(shè)備內(nèi)置工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)模塊，可實(shí)時(shí)采集切割壓力、溫度、速度等 100 余項(xiàng)工藝參數(shù)，通過邊緣計(jì)算節(jié)點(diǎn)進(jìn)行實(shí)時(shí)分析，生成工藝優(yōu)化建議。客戶可通過云端平臺(tái)查看生產(chǎn)報(bào)表與趨勢(shì)分析，實(shí)現(xiàn)基于數(shù)據(jù)的精細(xì)化管理。8小時(shí)連續(xù)切割驗(yàn)證：中清航科設(shè)備溫度波動(dòng)≤±0.5℃。寧波碳化硅線晶圓切割企業(yè)

中清航科飛秒激光雙光子聚合技術(shù)：在PDMS基板上直寫三維微流道（最小寬度15μm），切割精度達(dá)±0.25μm，替代傳統(tǒng)光刻工藝，開發(fā)成本降低80%。中清航科推出“切割即服務(wù)”（DaaS）：客戶按實(shí)際切割面積付費(fèi)（$0.35/英寸），包含設(shè)備/耗材/維護(hù)全包。初始投入降低90%，產(chǎn)能彈性伸縮±50%，適配訂單波動(dòng)。中清航科共聚焦激光測(cè)距系統(tǒng)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)切割深度（分辨率0.1μm），閉環(huán)控制切入量。將150μm晶圓切割深度誤差壓縮至±2μm，背面研磨時(shí)間減少40%。

中清航科動(dòng)態(tài)線寬控制系統(tǒng)利用實(shí)時(shí)共焦傳感器監(jiān)測(cè)切割槽形貌，通過AI算法自動(dòng)補(bǔ)償?shù)毒吣p導(dǎo)致的線寬偏差（精度±0.8μm）。該技術(shù)使12英寸晶圓切割道均勻性提升至97%，芯片產(chǎn)出量增加5.3%，年節(jié)省材料成本超$150萬。針對(duì)消費(fèi)電子量產(chǎn)需求，中清航科開發(fā)多光束并行切割引擎。6路紫外激光（波長(zhǎng)355nm）通過衍射光學(xué)元件分束，同步切割效率提升400%，UPH突破300片（12英寸），單顆芯片加工成本下降至$0.003。先進(jìn)制程芯片的低k介質(zhì)層易在切割中剝落。中清航科采用局部真空吸附+低溫氮?dú)饽患夹g(shù)，在切割區(qū)形成-30℃微環(huán)境，結(jié)合納米涂層刀具，介質(zhì)層破損率降低至0.01ppm，通過3nm芯片可靠性驗(yàn)證。

高速切割產(chǎn)生的局部高溫易導(dǎo)致材料熱變形。中清航科開發(fā)微通道冷卻刀柄技術(shù)，在刀片內(nèi)部嵌入毛細(xì)管網(wǎng)，通過相變傳熱將溫度控制在±1℃內(nèi)。該方案解決5G毫米波芯片的熱敏樹脂層脫層問題，切割穩(wěn)定性提升90%。針對(duì)2.5D/3D封裝中的硅中介層（Interposer）切割，中清航科采用階梯式激光能量控制技術(shù)。通過調(diào)節(jié)脈沖頻率（1-200kHz）與焦點(diǎn)深度，實(shí)現(xiàn)TSV（硅通孔）區(qū)域低能量切割與非TSV區(qū)高效切割的協(xié)同，加工效率提升3倍。傳統(tǒng)刀片磨損需停機(jī)檢測(cè)。中清航科在切割頭集成光纖傳感器，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)刀片直徑變化并自動(dòng)補(bǔ)償Z軸高度。結(jié)合大數(shù)據(jù)預(yù)測(cè)模型，刀片利用率提升40%，每年減少停機(jī)損失超200小時(shí)。中清航科切割耗材全球供應(yīng)鏈，保障客戶生產(chǎn)連續(xù)性。

通過拉曼光譜掃描切割道，中清航科提供殘余應(yīng)力分布云圖（分辨率5μm），并推薦退火工藝參數(shù)。幫助客戶將芯片翹曲風(fēng)險(xiǎn)降低70%，服務(wù)已用于10家頭部IDM企業(yè)。中清航科技術(shù)結(jié)合機(jī)械切割速度與激光切割精度：對(duì)硬質(zhì)區(qū)采用刀切，對(duì)脆弱區(qū)域切換激光加工。動(dòng)態(tài)切換時(shí)間<0.1秒，兼容復(fù)雜芯片結(jié)構(gòu)，加工成本降低28%。舊設(shè)備切割精度不足？中清航科提供主軸/視覺/控制系統(tǒng)三大模塊升級(jí)包。更換高剛性主軸（跳動(dòng)<0.5μm）+12MP智能相機(jī)，精度從±10μm提升至±2μm，改造成本只為新機(jī)30%。中清航科多軸聯(lián)動(dòng)切割頭，適應(yīng)曲面晶圓±15°傾角加工。杭州藍(lán)寶石晶圓切割劃片廠

中清航科晶圓切割代工廠通過ISO14644潔凈認(rèn)證，量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)足。寧波碳化硅線晶圓切割企業(yè)

中清航科CutSim軟件建立熱-力-流體耦合模型，預(yù)測(cè)切割溫度場(chǎng)/應(yīng)力場(chǎng)分布。輸入材料參數(shù)即可優(yōu)化工藝，客戶開發(fā)周期縮短70%，試錯(cuò)成本下降$50萬/項(xiàng)目。針對(duì)MEMS陀螺儀等真空封裝器件，中清航科提供10??Pa級(jí)真空切割艙。消除空氣阻尼影響，切割后器件Q值保持率>99.8%，良率提升至98.5%。中清航科AI排程引擎分析晶圓MAP圖，自動(dòng)規(guī)劃切割路徑與順序。材料利用率提升7%，設(shè)備空閑率下降至8%，支持動(dòng)態(tài)插單響應(yīng)（切換時(shí)間<5分鐘）。寧波碳化硅線晶圓切割企業(yè)