面向磁傳感器制造,中清航科開發超導磁懸浮切割臺。晶圓在強磁場(0.5T)下懸浮,消除機械接觸應力,切割后磁疇結構畸變率<0.3%,靈敏度波動控制在±0.5%。中清航科電化學回收裝置從切割廢水中提取金/銅/錫等金屬,純度達99.95%。單條產線年回收貴金屬價值超$80萬,回收水符合SEMI F78標準,實現零廢液排放。針對HJT電池脆弱電極層,中清航科采用熱激光控制技術(LCT)。紅外激光精確加熱切割區至200℃,降低材料脆性,電池效率損失<0.1%,碎片率控制在0.2%以內。
在晶圓切割的批量一致性控制方面,中清航科采用統計過程控制(SPC)技術。設備實時采集每片晶圓的切割尺寸數據,通過 SPC 軟件進行分析,繪制控制圖,及時發現過程中的異常波動,并自動調整相關參數,使切割尺寸的標準差控制在 1μm 以內,確保批量產品的一致性。針對薄晶圓切割后的搬運難題,中清航科開發了無損搬運系統。采用特制的真空吸盤與輕柔的取放機構,配合視覺引導,實現薄晶圓的平穩搬運,避免搬運過程中的彎曲與破損。該系統可集成到切割設備中,也可作為單獨模塊與其他設備對接,提高薄晶圓的處理能力。南京晶圓切割代工廠晶圓切割MES系統中清航科定制,實時追蹤每片切割工藝參數。
中清航科兆聲波清洗技術結合納米氣泡噴淋,去除切割道深槽內的微顆粒。流體仿真設計使清洗液均勻覆蓋15:1深寬比結構,殘留物<5ppb,電鏡檢測達標率100%。中清航科推出刀片/激光器租賃服務:通過云平臺監控耗材使用狀態,按實際切割長度計費。客戶CAPEX(資本支出)降低40%,并享受技術升級,實現輕資產運營。中清航科VirtualCut軟件構建切割過程3D物理模型,輸入材料參數即可預測崩邊尺寸、應力分布。虛擬調試功能將新工藝驗證周期從3周壓縮至72小時,加速客戶產品上市。中清航科綠色切割方案:冷卻液循環利用率達95%,激光系統能耗降低30%(對比行業均值)。碳足跡追蹤平臺量化每片晶圓加工排放,助力客戶達成ESG目標,已獲ISO 14064認證。
為提升芯片產出量,中清航科通過刀片動態平衡控制+激光輔助定位,將切割道寬度從50μm壓縮至15μm。導槽設計減少材料浪費,使12英寸晶圓有效芯片數增加18%,明顯降低單顆芯片制造成本。切割產生的亞微米級粉塵是電路短路的元兇。中清航科集成靜電吸附除塵裝置,在切割點10mm范圍內形成負壓場,配合離子風刀清理殘留顆粒,潔凈度達Class 1標準(>0.3μm顆粒<1個/立方英尺)。中清航科設備內置AOI(自動光學檢測)模塊,采用多光譜成像技術實時識別崩邊、微裂紋等缺陷。AI算法在0.5秒內完成芯片級判定,不良品自動標記,避免后續封裝資源浪費,每年可為客戶節省品質成本超百萬。中清航科推出切割廢料回收服務,晶圓利用率提升至99.1%。
在晶圓切割的產能規劃方面,中清航科為客戶提供專業的產能評估服務。通過產能模擬軟件,根據客戶的晶圓規格、日產量需求、設備利用率等參數,精確計算所需設備數量與配置方案,并提供投資回報分析,幫助客戶優化設備采購決策,避免產能過剩或不足的問題。針對晶圓切割過程中可能出現的異常情況,中清航科開發了智能應急處理系統。設備可自動識別切割偏差過大、晶圓破裂等異常狀態,并根據預設方案采取緊急停機、廢料處理等措施,同時自動保存異常發生前的工藝數據,為后續問題分析提供依據,比較大限度減少損失。晶圓切割全流程追溯系統中清航科開發,實現單芯片級質量管理。砷化鎵晶圓切割刀片
中清航科聯合高校成立切割技術研究院,突破納米級切割瓶頸。上海sic晶圓切割寬度
中清航科原子層精切技術:采用氬離子束定位轟擊(束斑直徑2nm),實現石墨烯晶圓無損傷分離。邊緣鋸齒度<5nm,電導率波動控制在±0.5%,滿足量子芯片基材需求。中清航科SmartCool系統通過在線粘度計與pH傳感器,實時調整冷卻液濃度(精度±0.1%)。延長刀具壽命40%,減少化學品消耗30%,單線年省成本$12萬。中清航科開發振動指紋庫:采集設備運行特征頻譜,AI定位振動源(如電機偏心/軸承磨損)。主動抑制系統將振動能量降低20dB,切割線寬波動<±0.5μm。