中清航科開放6條全自動切割產線,支持從8英寸化合物半導體到12英寸邏輯晶圓的來料加工。云端訂單系統實時追蹤進度,平均交貨周期48小時,良率承諾99.2%。先進封裝RDL層切割易引發銅箔撕裂。中清航科應用超快飛秒激光(脈寬400fs)配合氦氣保護,在銅-硅界面形成納米級熔融區,剝離強度提升5倍。中清航科搭建全球較早切割工藝共享平臺,收錄3000+材料參數組合。客戶輸入晶圓類型/厚度/目標良率,自動生成比較好參數包,工藝開發周期縮短90%。
對于高價值的晶圓產品,切割過程中的追溯性尤為重要。中清航科的切割設備內置二維碼追溯系統,每片晶圓進入設備后都會生成單獨的二維碼標識,全程記錄切割時間、操作人員、工藝參數、檢測結果等信息,可通過掃碼快速查詢全流程數據,為質量追溯與問題分析提供完整依據。在晶圓切割的邊緣處理方面,中清航科突破傳統工藝限制,開發出激光倒角技術。可在切割的同時完成晶圓邊緣的圓弧處理,倒角半徑可精確控制在 5-50μm 范圍內,有效減少邊緣應力集中,提高晶圓的機械強度。該技術特別適用于需要多次搬運與清洗的晶圓加工流程。紹興碳化硅陶瓷晶圓切割寬度晶圓切割后清洗設備中清航科專利設計,殘留顆粒<5個/片。
中清航科創新性推出“激光預劃+機械精切”復合方案:先以激光在晶圓表面形成引導槽,再用超薄刀片完成切割。此工藝結合激光精度與刀切效率,解決化合物半導體(如GaAs、SiC)的脆性開裂問題,加工成本較純激光方案降低35%。大尺寸晶圓切割面臨翹曲變形、應力集中等痛點。中清航科全自動切割機配備多軸聯動補償系統,通過實時監測晶圓形變動態調整切割參數。搭配吸附托盤,將12英寸晶圓平整度誤差控制在±2μm內,支持3D NAND多層堆疊結構加工。
中清航科的晶圓切割設備通過了多項國際認證,包括 CE、FCC、UL 等,符合全球主要半導體市場的準入標準。設備設計嚴格遵循國際安全規范與電磁兼容性要求,可直接出口至歐美、日韓等地區,為客戶拓展國際市場提供設備保障。在晶圓切割的刀具校準方面,中清航科創新采用激光對刀技術。通過高精度激光束掃描刀具輪廓,自動測量刀具直徑、刃口角度等參數,并與標準值對比,自動計算補償值,整個校準過程只需 3 分鐘,較傳統機械對刀方式提升效率 80%,且校準精度更高。采用中清航科激光隱形切割技術,晶圓分片效率提升40%以上。
隨著半導體市場需求的快速變化,產品迭代周期不斷縮短,這對晶圓切割的快速響應能力提出更高要求。中清航科建立了快速工藝開發團隊,承諾在收到客戶新樣品后 72 小時內完成切割工藝驗證,并提供工藝報告與樣品測試數據,幫助客戶加速新產品研發進程,搶占市場先機。晶圓切割設備的操作安全性至關重要,中清航科嚴格遵循 SEMI S2 安全標準,在設備設計中融入多重安全保護機制。包括激光安全聯鎖、急停按鈕、防護門檢測、過載保護等,同時配備安全警示系統,實時顯示設備運行狀態與潛在風險,確保操作人員的人身安全與設備的安全運行。中清航科多軸聯動切割頭,適應曲面晶圓±15°傾角加工。寧波碳化硅陶瓷晶圓切割劃片廠
中清航科推出晶圓切割應力補償算法,翹曲晶圓良率提升至98.5%。泰州晶圓切割劃片
為滿足半導體行業的快速交付需求,中清航科建立了高效的設備生產與交付體系。采用柔性化生產模式,標準型號切割設備可實現 7 天內快速發貨,定制化設備交付周期控制在 30 天以內。同時提供門到門安裝調試服務,配備專業技術團隊全程跟進,確保設備快速投產。在晶圓切割的工藝參數優化方面,中清航科引入實驗設計(DOE)方法。通過多因素正交試驗,系統分析激光功率、切割速度、焦點位置等參數對切割質量的影響,建立參數優化模型,可在 20 組實驗內找到比較好工藝組合,較傳統試錯法減少 60% 的實驗次數,加速新工藝開發進程。泰州晶圓切割劃片
中清航科(江蘇)科技有限公司匯集了大量的優秀人才,集企業奇思,創經濟奇跡,一群有夢想有朝氣的團隊不斷在前進的道路上開創新天地,繪畫新藍圖,在江蘇省等地區的數碼、電腦中始終保持良好的信譽,信奉著“爭取每一個客戶不容易,失去每一個用戶很簡單”的理念,市場是企業的方向,質量是企業的生命,在公司有效方針的領導下,全體上下,團結一致,共同進退,齊心協力把各方面工作做得更好,努力開創工作的新局面,公司的新高度,未來中清航科科技供應和您一起奔向更美好的未來,即使現在有一點小小的成績,也不足以驕傲,過去的種種都已成為昨日我們只有總結經驗,才能繼續上路,讓我們一起點燃新的希望,放飛新的夢想!