采用垂直單向流與水平單向流混合送風(fēng)模式，在電芯堆疊區(qū)設(shè)置0.45m/s勻速氣流屏障。通過(guò)CFD模擬優(yōu)化送風(fēng)面布局，使≥0.5μm顆粒物濃度始終≤3520個(gè)/m3。電芯注液工序采用隔離操作箱，內(nèi)置氮?dú)獗Ｗo(hù)系統(tǒng)，將氧含量控制在10ppm以下，防止電解液氧化。針對(duì)光刻工序?qū)諝夥肿游廴疚铮ˋMC）的嚴(yán)苛要求，配置化學(xué)過(guò)濾機(jī)組，對(duì)硼、磷、硫等氣態(tài)雜質(zhì)去除效率達(dá)99.999%。采用VOC在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，實(shí)時(shí)檢測(cè)NH3、SO2等關(guān)鍵指標(biāo)，結(jié)合FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元的三級(jí)過(guò)濾體系，確保ISO1級(jí)潔凈環(huán)境。無(wú)塵車間采用防爆設(shè)計(jì)，配備七氟丙烷滅火系統(tǒng)，確保鋰離子電池生產(chǎn)安全。重慶GMP無(wú)塵車間工程

隨著半導(dǎo)體技術(shù)和光學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，半導(dǎo)體與光學(xué)器件的交叉領(lǐng)域越來(lái)越寬。例如，在光電子器件、光通信器件等領(lǐng)域中，半導(dǎo)體和光學(xué)器件的集成度越來(lái)越高。這些交叉領(lǐng)域?qū)o(wú)塵車間的需求也日益增長(zhǎng)。無(wú)塵車間在半導(dǎo)體與光學(xué)器件交叉領(lǐng)域的應(yīng)用主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：一是提供潔凈的生產(chǎn)環(huán)境，滿足半導(dǎo)體和光學(xué)器件制造的高潔凈度要求；二是提供穩(wěn)定的溫濕度環(huán)境，確保半導(dǎo)體和光學(xué)器件的性能和穩(wěn)定性；三是有效控制靜電和電磁干擾，避免對(duì)精密制造和測(cè)試設(shè)備造成影響。通過(guò)無(wú)塵車間的應(yīng)用，半導(dǎo)體與光學(xué)器件的交叉領(lǐng)域可以實(shí)現(xiàn)更高的制造精度和更可靠的器件性能。浙江三十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間服務(wù)防爆型電氣設(shè)備，安全可靠，滿足新能源電池生產(chǎn)需求。

無(wú)塵無(wú)菌車間墻面選用抑制菌群生長(zhǎng)電解鋼板或巖棉彩鋼板，其表面致密性可抑制微生物滋生，接縫處采用圓弧過(guò)渡處理消除衛(wèi)生死角。地面鋪設(shè)2mm厚防靜電PVC同質(zhì)透心地板，該材料具有無(wú)縫拼接、耐化腐蝕特性。這些材料的選擇和應(yīng)用，為車間提供了良好的物理和化學(xué)環(huán)境。無(wú)塵無(wú)菌車間配置FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元集群，通過(guò)初效過(guò)濾器（G4級(jí)）、中效過(guò)濾器（F8級(jí)）和高效過(guò)濾器（H13級(jí)）三級(jí)過(guò)濾系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)ISO 5級(jí)至ISO 8級(jí)潔凈度控制。系統(tǒng)配備智能溫濕度控制器，維持溫度22±2℃、濕度45%±5%的恒定環(huán)境。高效的空氣凈化系統(tǒng)確保了車間內(nèi)空氣的潔凈度和穩(wěn)定性。

鋰電池極片制造對(duì)水分極度敏感，DP需控制在-40℃至-60℃范圍。采用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)組與低溫再生系統(tǒng)組合，可將車間濕度穩(wěn)定在1%RH以下。正極材料涂布工序設(shè)置單獨(dú)微環(huán)境艙，通過(guò)層流罩維持局部百級(jí)潔凈度，配合在線水分檢測(cè)儀實(shí)時(shí)監(jiān)控，確保極片涂層致密性。設(shè)置單獨(dú)溫控區(qū)，通過(guò)液冷機(jī)組實(shí)現(xiàn)±0.5℃溫度波動(dòng)控制。老化架間距按1.5倍電池直徑設(shè)計(jì)，確保自然對(duì)流散熱效率。配置VOC氣體探測(cè)器，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電解液揮發(fā)物濃度，聯(lián)動(dòng)排風(fēng)系統(tǒng)維持負(fù)壓環(huán)境。無(wú)塵車間配備激光干涉儀，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)振動(dòng)，精度達(dá)0.1μm。

千級(jí)無(wú)塵車間換氣次數(shù)有明確標(biāo)準(zhǔn)。GB 550072 - 2001規(guī)定是50 - 60次/s，ISO 14644 - 4規(guī)定的是25 - 56次/s。合理的換氣次數(shù)能夠保證車間內(nèi)空氣的新鮮度和潔凈度，及時(shí)排除污染物，為生產(chǎn)提供良好的空氣環(huán)境。千級(jí)無(wú)塵車間新風(fēng)量和送風(fēng)量標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)車間內(nèi)人員數(shù)量確定。如果車間內(nèi)人員比較多就取最大值。非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10 - 30%；補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量；保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3/h。充足的新風(fēng)量和送風(fēng)量能夠維持車間內(nèi)空氣質(zhì)量，保障人員健康和生產(chǎn)安全。模塊化潔凈棚，快速搭建，靈活適配不同生產(chǎn)需求。浙江薄膜無(wú)塵車間廠家

智能排風(fēng)與應(yīng)急裝置，保障生產(chǎn)安全與人員健康。重慶GMP無(wú)塵車間工程

設(shè)置單獨(dú)防爆墻，采用A級(jí)防火材料。分容柜配置熱電偶陣列，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電芯溫度梯度。當(dāng)溫差超過(guò)5℃時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)冷卻系統(tǒng)，通過(guò)液冷板將電芯溫度控制在25±2℃范圍。采用化學(xué)過(guò)濾機(jī)組與FFU機(jī)組組合方案，對(duì)0.1μm顆粒過(guò)濾效率達(dá)99.9995%。光刻機(jī)臺(tái)設(shè)置單獨(dú)百級(jí)潔凈罩，通過(guò)層流送風(fēng)維持正壓環(huán)境。配置自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS），減少人員干預(yù)。設(shè)置單獨(dú)除濕系統(tǒng)，將濕度控制在35±5%RH范圍。膠合臺(tái)配置顯微鏡，通過(guò)圖像處理系統(tǒng)實(shí)時(shí)檢測(cè)膠層厚度。采用UV固化燈時(shí)，設(shè)置單獨(dú)排風(fēng)系統(tǒng)，將臭氧濃度控制在0.1ppm以下。重慶GMP無(wú)塵車間工程