無損熱紅外顯微鏡的非破壞性分析（NDA）技術，為失效分析提供了 “保全樣品” 的重要手段。它在不損傷高價值樣品的前提下，捕捉隱性熱信號以定位內部缺陷，既保障了分析的準確性，又為后續驗證、復盤保留了完整樣本，讓失效分析從 “找到問題” 到 “解決問題” 的閉環更高效、更可靠。

相較于無損熱紅外顯微鏡的非侵入式檢測，這些有損分析方法雖能獲取內部結構信息，但會破壞樣品完整性，更適合無需保留樣品的分析場景，與無損分析形成互補。 量化 SiC、GaN 等寬禁帶半導體的襯底熱阻、結溫分布，優化散熱設計。檢測用熱紅外顯微鏡成像儀

熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI)的突出優勢一：

熱紅外顯微鏡（Thermal emmi ）能夠檢測到極其微弱的熱輻射和光發射信號，其靈敏度通常可以達到微瓦甚至納瓦級別。同時，它還具有高分辨率的特點，能夠分辨出微小的熱點區域，分辨率可以達到微米甚至納米級別。具備極高的探測靈敏度，能夠捕捉微瓦級甚至納瓦級的熱輻射與光發射信號，適用于識別早期故障及微小異常。同時，該技術具有優異的空間分辨能力，能夠準確定位尺寸微小的熱點區域，其分辨率可達微米級，部分系統也已經可實現納米級識別。通過結合熱圖像與光發射信號分析，熱紅外顯微鏡為工程師提供了精細、直觀的診斷工具，大幅提升了故障排查與性能評估的效率和準確性。 科研用熱紅外顯微鏡訂制價格芯片復雜度提升對缺陷定位技術的精度與靈敏度提出更高要求。

致晟光電熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI）系列中的 RTTLIT P20 實時瞬態鎖相熱分析系統，采用鎖相熱成像（Lock-inThermography）技術，通過調制電信號提升特征分辨率與靈敏度，并結合軟件算法優化信噪比，實現顯微成像下超高靈敏度的熱信號測量。RTTLIT P20搭載100Hz高頻深制冷型超高靈敏度顯微熱紅外成像探測器，測溫靈敏度達0.1mK，顯微分辨率低至2μm，具備良好的檢測靈敏度與測試效能。該系統重點應用于對測溫精度和顯微分辨率要求嚴苛的場景，包括半導體器件、晶圓、集成電路、IGBT、功率模塊、第三代半導體、LED及microLED等的失效分析，是電子集成電路與半導體器件失效分析及缺陷定位領域的關鍵工具。

通過大量海量熱圖像數據，催生出更智能的數據分析手段。借助深度學習算法，構建熱圖像識別模型，可快速準確地從復雜熱分布中識別出特定熱異常模式。如在集成電路失效分析中，模型能自動比對正常與異常芯片的熱圖像，定位短路、斷路等故障點，有效縮短分析時間。在數據處理軟件中集成熱傳導數值模擬功能，結合實驗測得的熱數據，反演材料內部熱導率、比熱容等參數，從熱傳導理論層面深入解析熱現象，為材料熱性能研究與器件熱設計提供量化指導。熱紅外顯微鏡支持芯片、電路板等多類電子元件熱檢測。

在選擇 EMMI 微光顯微鏡時，需綜合考量應用需求、預算、技術參數及售后服務等因素。首先明確具體應用場景，例如 LED 檢測可能需要特定波長范圍，而集成電路分析則對分辨率要求更高。預算方面，進口設備系列價格昂貴，但成立年限長、有品牌加持。而選擇國產設備——如致晟光電自主全國產研發的RTTLIT 實時瞬態鎖相熱分析系統在性價比方面更好，且在靈敏度和各種參數功能上已接近進口水平，尤其在垂直芯片等場景中表現穩定，適合預算有限的常規檢測。
熱紅外顯微鏡憑借≤0.001℃的溫度分辨率，助力復雜半導體失效分析 。無損熱紅外顯微鏡品牌

熱紅外顯微技術可透過硅片或封裝材料，實現非接觸式熱斑定位。檢測用熱紅外顯微鏡成像儀

熱紅外顯微鏡在半導體IC裸芯片熱檢測中發揮著關鍵作用。對于半導體IC裸芯片而言，其內部結構精密且集成度高，微小的熱異常都可能影響芯片性能甚至導致失效，因此熱檢測至關重要。熱紅外顯微鏡能夠非接觸式地對裸芯片進行熱分布成像與分析，清晰捕捉芯片工作時的溫度變化情況。它可以定位芯片上的熱點區域，這些熱點往往是由電路設計缺陷、局部電流過大或器件老化等問題引起的。通過對熱點的檢測和分析，工程師能及時發現芯片潛在的故障風險，為優化芯片設計、改進制造工藝提供重要依據。同時，該顯微鏡還能測量裸芯片內部關鍵半導體結點的溫度，也就是結溫。結溫是評估芯片性能和可靠性的重要參數，過高的結溫會縮短芯片壽命，影響其穩定性。熱紅外顯微鏡憑借高空間分辨率的熱成像能力，可實現對結溫的測量，幫助研發人員更好地掌握芯片的熱特性，從而制定合理的散熱方案，提升芯片的整體性能與可靠性。檢測用熱紅外顯微鏡成像儀