當電子設備中的某個元件發生故障或異常時，常常伴隨局部溫度升高。熱紅外顯微鏡通過高靈敏度的紅外探測器，能夠捕捉到極其微弱的熱輻射信號。這些探測器通常采用量子級聯激光器等先進技術，或其他高性能紅外傳感方案，具備寬溫區、高分辨率的成像能力。通過對熱輻射信號的精細探測與分析，熱紅外顯微鏡能夠將電子設備表面的溫度分布以高對比度的熱圖像形式呈現，直觀展現熱點區域的位置、尺寸及溫度變化趨勢，從而幫助工程師快速鎖定潛在的故障點，實現高效可靠的故障排查。熱紅外顯微鏡幫助工程師分析電子設備過熱的根本原因 。熱紅外顯微鏡平臺

致晟光電——熱紅外顯微鏡在信號調制技術上的優化升級，以多頻率調制為突破點，構建了更精細的微觀熱信號解析體系。其通過精密算法控制電信號的頻率切換與幅度調節，使不同深度、不同材質的樣品區域產生差異化熱響應 —— 高頻信號可捕捉表層微米級熱點，低頻信號則能穿透材料識別內部隱性感熱缺陷，形成多維度熱特征圖譜。

這種動態調制方式，不僅將特征分辨率提升至納米級，更通過頻率匹配過濾環境噪聲與背景干擾，使檢測靈敏度較傳統單頻調制提高 3-5 倍，即使是 0.1mK 的微小溫度波動也能被捕捉。 無損熱紅外顯微鏡品牌排行熱紅外顯微鏡支持芯片、電路板等多類電子元件熱檢測。

非制冷熱紅外顯微鏡基于微測輻射熱計，無需低溫制冷裝置，具有功耗低、維護成本低等特點，適合長時間動態監測。其通過鎖相熱成像等技術優化后，雖靈敏度（通常 0.01-0.1℃）和分辨率（普遍 5-20μm）略遜于制冷型，但性價比更高，。與制冷型對比，非制冷型無需制冷耗材，適合 PCB、PCBA 等常規電子元件失效分析；而制冷型（如 RTTLIT P20）靈敏度達 0.1mK、分辨率低至 2μm，價格高，多用于半導體晶圓等檢測。非制冷熱紅外顯微鏡在中低端工業檢測領域應用較多。

在電子領域，所有器件都會在不同程度上產生熱量。器件散發一定熱量屬于正常現象，但某些類型的缺陷會增加功耗，進而導致發熱量上升。

在失效分析中，這種額外的熱量能夠為定位缺陷本身提供有用線索。熱紅外顯微鏡可以借助內置攝像系統來測量可見光或近紅外光的實用技術。該相機對波長在3至10微米范圍內的光子十分敏感，而這些波長與熱量相對應，因此相機獲取的圖像可轉化為被測器件的熱分布圖。通常，會先對斷電狀態下的樣品器件進行熱成像，以此建立基準線；隨后通電再次成像。得到的圖像直觀呈現了器件的功耗情況，可用于隔離失效問題。許多不同的缺陷在通電時會因消耗額外電流而產生過多熱量。例如短路、性能不良的晶體管、損壞的靜電放電保護二極管等，通過熱紅外顯微鏡觀察時會顯現出來，從而使我們能夠精細定位存在缺陷的損壞部位。 在半導體制造中，通過逐點熱掃描篩選熱特性不一致的晶圓，提升良率。

在國內失效分析設備領域，專注于原廠研發與生產的企業數量相對較少，尤其在熱紅外檢測這類高精度細分領域，具備自主技術積累的原廠更為稀缺。這一現狀既源于技術門檻 —— 需融合光學、紅外探測、信號處理等多學科技術，也受限于市場需求的專業化程度，導致多數企業傾向于代理或集成方案。

致晟光電正是國內少數深耕該領域的原廠之一。不同于單純的設備組裝，其從中樞技術迭代入手，在傳統熱發射顯微鏡基礎上進化出熱紅外顯微鏡，形成從光學系統設計、信號算法研發到整機制造的完整能力。這種原廠基因使其能深度理解國內半導體、材料等行業的失效分析需求，例如針對先進制程芯片的微小熱信號檢測、國產新材料的熱特性研究等場景，提供更貼合實際應用的設備與技術支持，成為本土失效分析領域不可忽視的自主力量。 熱紅外顯微鏡利用其高分辨率，觀察半導體制造過程中的熱工藝缺陷 。鎖相熱紅外顯微鏡廠家

熱紅外顯微鏡憑借高靈敏度探測器，實現芯片微米級紅外熱分布觀察，鎖定異常熱點 。熱紅外顯微鏡平臺

熱紅外是紅外光譜中波長介于 3–18 微米的譜段，其能量主要來自物體自身的熱輻射，而非對外界光源的反射。該波段可細分為中紅外（3–8?μm）、長波紅外（8–15?μm）和超遠紅外（15–18?μm），其熱感應本質源于分子熱振動產生的電磁波輻射，輻射強度與物體溫度正相關。在應用上，熱紅外利用大氣窗口（3–5?μm、8–14?μm）實現高精度的地表遙感監測，并廣泛應用于熱成像、氣體探測等領域。現代設備如 TIRS-2 和 O-PTIR 等，已將熱紅外技術的空間分辨率提升至納米級水平。

熱紅外顯微鏡平臺