1. 類金剛石(diamond-like carbon,DLC)是一類含有金剛石結構(sp3雜化鍵)和石墨結構(sp2雜化鍵)的亞穩態非晶物質，具有高硬度、耐腐蝕、低摩擦因數、耐磨損等優良特性，但也存在著由于制備工藝、沉積參數等不同導致的內應力大、熱穩定性差、摩擦學行為敏感等問題，明顯限制了其產業化應用。類金剛石薄膜的幾種常見制備方法:等離子增強化學氣相沉積法(PECVD)、脈沖激光沉積法(PLD)、磁過濾陰極真空電弧法(FCVA)、磁控濺射法(MS)。類金剛石(Diamond-like Carbon,DLC)薄膜是碳以sp3和sp2雜化鍵結合形成的一種亞穩態非晶材料,具有高硬度、高耐磨性、良好的透明性和生物相容性等獨特的性質。采用不同的工藝方法制備的DLC薄膜具有不同的微觀結構和性質。特別地,作為光學材料,DLC薄膜具有較寬的禁帶寬度和較低的折射率,且折射率可在一定范圍內調控。DLC可適合用于機械、電子、光學、熱學、聲學、醫學等領域，具有良好的應用前景。青島納米DLC加工中心

1. 為提高船用低速柴油機柱塞的耐磨性和柱塞偶件使用壽命，采用離子鍍技術與多弧磁控耦合鍍膜技術分別在柱塞上涂覆了TiN涂層和DLC涂層。利用掃描電鏡(SEM)、輪廓儀和X射線衍射儀(XRD)技術表征了TiN與DLC涂層的微觀形貌、表面粗糙度及物相組成，采用納米壓痕儀檢測了TiN與DLC涂層的納米硬度及彈性模量；運用劃痕法和壓痕法測試了TiN和DLC涂層的結合力，通過往復磨損試驗考察了這2種涂層在空氣中與在重柴油環境下的摩擦系數，同時結合光學顯微鏡定性評判TiN和DLC涂層磨損程度，通過臺架試驗評價了TiN涂層與DLC涂層柱塞的實際磨損情況。結果表明：這2種涂層晶體生長良好、結構連續致密，均未出現分層、開裂及剝離的現象，DLC涂層相對光滑，粗糙度Ra為0.10μm,而TiN涂層Ra為0.16μm; DLC涂層表面納米硬度、彈性模量及泊松比均高于TiN涂層；無論在空氣中還是重油環境下，TiN涂層摩擦系數均高于DLC涂層，耐磨性低于DLC涂層；臺架試驗后TiN涂層柱塞表面出現比較明顯的平行狀溝槽磨痕，而且整體磨損比較嚴重，而DLC涂層柱塞表面的磨痕非常窄并且淺，不易被發現，進一步證明DLC的耐磨損性能更優越。青島鍍鈦DLC生產企業國外采用DLC，提高了模具的壽命和盤片的質量。硬度高，摩擦系數低，耐磨，耐腐蝕，抗粘結性好且環保等。

分析CrN過渡層與不同膜厚對DLC薄膜性能的影響,及涂層模具的成型特性。方法采用PECVD方法在718合金試樣及模具表面沉積Cr N/DLC復合膜,預設Cr N過渡層厚度為0.2μm,DLC膜層厚度為0.5～1.2μm。采用無損設備對不同沉積時間(10、15、20、25、30、35 min)的薄膜厚度進行表征,并使用掃描電子顯微鏡(SEM)觀察薄膜表面及截面結構特征。采用拉曼光譜(Raman)分析不同厚度DLC膜的峰位信息以及sp3-C/sp2-C的比例關系,用納米壓痕儀表征膜層硬度,用硬度計分析膜/基結合力,用輪廓儀表征薄膜表面特征,并探討膜厚對薄膜性能的影響機制。結果薄膜的厚度值在預設范圍以內,該方法制備的薄膜結構致密,表面光滑,無分層、凹坑、液滴粘附等缺陷。隨涂層厚度的增加,薄膜中sp3-C/sp2-C的比例呈先減小后增大的趨勢,G峰也先向D峰靠近,而后遠離。薄膜硬度同樣隨膜層厚度的增加呈先增加后減小的趨勢,1.06μm厚的Cr N/DLC膜的硬度比較高(3600HV)。薄膜的結合力等級比較高可以達到工業級的HF2。表面輪廓無較大量動,表面粗糙度Ra比較低可達0.011μm。1.06μm CrN/DLC涂層模具的成型壽命是未涂層模具的3倍以上。結論對橡膠模具而言,適當厚度的DLC微/納涂層處理可以起到一定的減磨、抗腐蝕效果,降低模具本體表面潤濕性。

類金剛石薄膜(DLC)具有優良的摩擦性能和力學性能，也具有較好的耐腐蝕性、組織相容性和血液相容性，可被廣泛應用于骨科、心血管和牙科等領域，是一種很有前途的生物醫學材料。實驗結論表明DLC有著較好的抗凝血性能，并且與其他醫用材料對比其抗凝血效果也更佳。另外發現DLC抑菌能力并不突出，但可通過摻雜其他元素、改變工藝參數等措施使其成為較為理想的無機抑菌薄膜材料。兩種性能的結合使DLC涂層可能成為人體植入材料的表面鍍層，提高對此類材料的生物學性能DLC涂層在模具上的應用，注塑成形模具：模腔和型芯、頂桿及各類鑲件等。

1. 類金剛石碳膜（diamond-like carbon films，簡稱DLC膜），是含有類似金剛石結構的非晶碳膜，也是我們在這里真正需要介紹的一種。DLC膜的基本成分是碳，由于其碳的來源和制備方法的差異，DLC膜可分為含氫和不含氫兩大類。DLC膜是一種亞穩態長程無序的非晶材料，碳原子間的鍵合方式是共價鍵，主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵，在含氫DLC膜中還存在一定數量的C-H鍵。我們從1996年起開始磁過濾真空弧及沉積DLC膜研究，正在完善工業化技術。如等離子體源沉積法、離子束源沉積法、孿生中頻磁控濺射法、真空陰極電弧沉積法和脈沖高壓放點等。不同的制備方法，DLC膜的成分、結構和性能不同。類金剛石涂層作為質量硬質涂層的材料,在不同領域展現了適合的應用前景,國內外對它的研究一直是熱點問題。重慶納米DLC檢測

涂以DLC的沖壓模具主要應用包括：石墨切削，各種有色金屬切削，非金屬硬質材料切削等。青島納米DLC加工中心

1.通過調節DLC薄膜的沉積工藝可以改變DLC薄膜中sp2雜化碳的含量以及氫的含量,進而影響DLC薄膜的摩擦性能;真空、惰性氣體和低濕環境有利于獲得更好的摩擦效果;過渡層和偏壓有利于提高DLC薄膜與基底之間的附著力,其摩擦性能也會得到提升。

2.類金剛石膜是無定形碳中含sp3鍵的亞穩態結構。由于它的組成、光學透過率、硬度、折射率和在化學腐蝕劑中的惰性以及抗摩擦性能十分相似于金剛石,其應用領域不斷被拓寬,因此對類金剛石的研究也日益成為熱點。 青島納米DLC加工中心

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